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    • 10. 发明授权
    • 비접촉식 발광다이오드 검사장치
    • 发光二极管非接触式检测装置
    • KR101303602B1
    • 2013-09-11
    • KR1020110118907
    • 2011-11-15
    • 주식회사 미르기술
    • 이동호안보혁
    • H01L21/66
    • G01R31/265G01R31/2635
    • 본 발명의 일 실시예에 따른 비접촉식 발광다이오드 검사장치는 발광다이오드를 카메라로 촬영한 후 촬영된 이미지를 미리 입력된 대상 이미지와 비교하여 발광다이오드의 양호 또는 불량을 판별하기 위한 장치로서, 상기 발광다이오드를 탑재하고, 상기 발광다이오드를 검사위치에 고정 또는 이송시키는 스테이지부; 상기 스테이지부의 상부에 위치하며, 상기 발광다이오드에 청색 이하 파장 영역의 가시광을 조사하는 제1 조명부와 상기 제1 조명부 상부에 위치하고 상기 발광다이오드에 녹색 파장 영역의 가시광을 조사하는 제2 조명부를 구비하는 조명부; 상기 조명부의 상부에 위치하여, 상기 발광다이오드의 영상을 촬영하는 카메라; 상기 카메라에서 촬영된 영상을 판독하여 상기 발광다이오드의 양호 또는 불량을 판별하는 비전처리부; 및 상기 스테이지부 및 상기 카메라부를 제어하는 모션 컨트롤러를 포함하는 제어부를 포함한다.