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1. 发明公开

KR1020140094651A 광학 측정 센서 有权
标题翻译：光学测量传感器
公开(公告)号：KR1020140094651A
公开(公告)日：2014-07-30
申请号：KR1020147017597
申请日：2012-11-29
申请人： 아나로그 디바이시즈 인코포레이티드
发明人： 델리와라쉬레니크
IPC分类号： G01B11/26 , G01B11/14 , G01J1/42 , G01M11/00
CPC分类号： G01B11/14 , G01B11/26 , G01J1/0242 , G01J1/0437 , G01J1/1626 , G01J1/42 , G01M11/00
摘要： 광학 검출기는 애퍼처, 적어도 2개의 광검출기들, 및 렌즈를 필요로 함이 없이 애퍼처를 통과한 후에 광검출기들에서 검출되는 광을 정량화하기 위한 측정 장치을 포함할 수 있다. 애퍼처는 광원으로부터의 광이 애퍼처를 통해 광검출기들로 통과할 수 있게 광원과 2개의 광검출기들 사이에 위치될 수 있다. 광검출기들은 PIN 접합 광다이오드들을 포함할 수 있고, 서로로부터 전기적으로 격리되고, 나란한 구성으로 서로 옆에 위치되고, 이어 애퍼처에 입사하는 광원으로부터의 광의 각도가 변함에 따라 광검출기들에서 검출되는 정량화된 광의 비율이 변하도록 애퍼처와 정렬될 수 있다. 광학 검출기들 및 방법들이 제공된다.
摘要翻译：光学检测器可以包括孔径，至少两个光电检测器和测量装置，以量化通过孔径之后在光电检测器处检测的光，而不需要透镜。孔可以位于光源和两个光电检测器之间，以允许来自光源的光通过孔径到达光电检测器。光电检测器可以包括PIN结光电二极管，并且可以彼此电隔离，并排布置成彼此相邻，然后与孔对准，使得在光电探测器处检测到的量化光的一部分变化为来自入射到孔的光源的光的角度改变。提供光学检测器和方法。

2. 发明公开

KR1020130125905A 곡면형 적외선 차단 필터를 구비한 이미지 센서 모듈 无效
标题翻译：具有弯曲红外切割过滤器的图像传感器模块
公开(公告)号：KR1020130125905A
公开(公告)日：2013-11-20
申请号：KR1020120049526
申请日：2012-05-10
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 최성욱
IPC分类号： H01L27/14
CPC分类号： G01J1/0437 , G02B5/282 , G02B13/004 , G02B13/18
摘要： An image sensor module according to an embodiment of the present invention includes an image sensor having an upper surface; a plurality of lenses successively arranged on the upper surface and refracting incident light; and at least one infrared filter blocking the infrared component of the incident light. At least one surface of the infrared filter has a curved shape with regard to an object.
摘要翻译：根据本发明实施例的图像传感器模块包括具有上表面的图像传感器; 多个透镜，连续地布置在上表面上并折射入射光; 以及阻挡入射光的红外分量的至少一个红外滤光器。红外线过滤器的至少一个表面相对于物体具有弯曲的形状。

3. 发明公开

KR1020090112663A 조사 강도 분포 측정 장치 및 측정 방법 有权
标题翻译：照射强度分布测量装置及测量方法
公开(公告)号：KR1020090112663A
公开(公告)日：2009-10-28
申请号：KR1020097015327
申请日：2008-01-15
申请人： 칼 짜이스 에스엠테 게엠베하
发明人： 프라이만롤프
IPC分类号： G01J1/30
CPC分类号： G03F7/70941 , G01J1/04 , G01J1/0411 , G01J1/0437 , G01J1/4228 , G01J1/4257 , G03F7/70133 , G03F7/70591 , G03F7/706 , G03F7/7085
摘要： A projection exposure tool (10) for microlithography with a measuring apparatus (36) disposed in an optical path (28) of the projection exposure tool (10) for the locally and angularly resolved measurement of an irradiation strength distribution is provided. Here the measuring apparatus (36) comprises a measuring field with an arrangement (56) of focussing optical elements (42) disposed at individual points (Xi, yj) of the measuring field (41), a common image plane (44) for the focussing optical elements (42), a locally resolving radiation detector (46) with a recording surface (48) for the locally resolved recording of a radiation intensity, the recording surface (48) being disposed in the common image plane (44), and an evaluation device (60) which is set up to establish a respective angularly resolved irradiation strength distribution for each individual measuring field point (Xi, yj) from the recorded radiation intensity.
摘要翻译：提供一种用于微光刻的投影曝光工具（10），其具有设置在投影曝光工具（10）的光路（28）中的用于局部和角度分辨的辐射强度分布测量的测量装置（36）。这里，测量装置（36）包括具有设置在测量场（41）的各个点（Xi，yj）处的聚焦光学元件（42）的布置（56）的测量区域，用于聚焦光学元件（42），具有用于局部分辨记录辐射强度的记录表面（48）的局部分辨放射线检测器（46），记录表面（48）设置在公共图像平面（44）中，以及评估装置（60）被设置成根据记录的辐射强度为每个单独的测量场点（Xi，yj）建立各自的角度分辨的照射强度分布。

4. 发明授权

KR100873422B1 광센서 失效
标题翻译：光传感器
公开(公告)号：KR100873422B1
公开(公告)日：2008-12-11
申请号：KR1020060045842
申请日：2006-05-22
申请人： 가부시키가이샤 덴소
发明人： 미치야마가츠노리 , 츠카모토다케시
IPC分类号： G01D5/26
CPC分类号： G01J1/22 , G01J1/04 , G01J1/0403 , G01J1/0418 , G01J1/0437 , G01J1/044 , G01J1/0448 , G01J1/0462
摘要： 본 발명의 광센서는 하우징에 배치되는 수광소자, 상기 하우징의 부착면에 회전가능하도록 탑재되는 외부필터, 및 수광소자의 수광면에 입사되는 광량을 조절하기 위해 외부필터의 회전을 따라 회전하는 차광부재를 포함한다. 상기 광센서에 있어, 상기 차광부재는 중앙에 고정되는 회전샤프트를 구비하고, 상기 회전샤프트가 중심인 회전방향으로 수광소자의 수광면에 입사되는 광량을 조절하기 위한 조광기구를 구비한다. 따라서, 광센서의 감도는 높은 정확성으로 자유롭게 조절될 수 있다.
광센서, 조광기구, 수광조절장치

5. 发明公开

KR1020080100433A 순차 파면 센서 有权
标题翻译：顺序波形传感器
公开(公告)号：KR1020080100433A
公开(公告)日：2008-11-18
申请号：KR1020087020303
申请日：2006-12-21
申请人： 클레러티 메디칼 시스템즈 인코포레이티드
发明人： 쥬얀 , 짜오큉춘 , 웨이수 , 웨이수
IPC分类号： G01J9/00 , G01J3/06 , A61B3/12
CPC分类号： G01J9/00 , A61B3/1015 , A61B3/14 , G01J1/0414 , G01J1/0437
摘要： A sequential wavefront sensor comprises a light beam scanning module (212), a sub-wavef ront focusing lens (220), a detector (222) with more than one photosensitive area and a processor for calculating the sequentially obtained centroids of a number focused light spots from the sub-wavefront s to determine the aberration of the input wavefront. A sequential wavefront sensing method comprises the steps of ; sequentially projecting a number of sub-wavefronts onto a sub-wavefront focusing lens and a detector with more than one photosensitive areas, calculating the centroid of the focused light spot from each sub-wavefront, and processing the centroid information to determine the aberration of the wavefront. In particular, a method for auto-focusing and/or auto-astigmatism-correction comprises the steps of sequentially projecting a number of sub-wavef ronts around an annular ring of a wavefront to a sub-wavefront focusing lens and a detector, calculating the centroid of focused light spot from each sub-wavefront to figure out the centroid trace and hence the defocus and/or astigmatism, adjusting the focus and/or astigmatism of the optical imaging system before the wavefront sensor so that the measured defocus and/or astigmatism is minimized.
摘要翻译：顺序波前传感器包括光束扫描模块（212），子波聚焦透镜（220），具有多于一个感光区域的检测器（222）和用于计算顺序获得的聚焦光的重心的处理器来自子波前的点以确定输入波前的像差。顺序波前感测方法包括以下步骤：顺序地将多个子波前投影到子波前聚焦透镜和具有多于一个感光区域的检测器，计算来自每个子波前的聚焦光点的质心，以及处理质心信息以确定波前。特别地，一种用于自动聚焦和/或自动像散校正的方法包括以下步骤：将多个子波场围绕波前的环形环连续投影到子波前聚焦透镜和检测器，计算从每个子波前聚焦的光斑的重心，以计算出质心轨迹，从而计算散焦和/或散光，调整光学成像系统在波前传感器之前的焦点和/或散光，使得测量的散焦和/或散光被最小化。

6. 实用新型

KR2020080002101U 감지센서 无效
标题翻译：感应传感器
公开(公告)号：KR2020080002101U
公开(公告)日：2008-06-25
申请号：KR2020060032155
申请日：2006-12-20
申请人： 한성현
发明人： 한성현 , 한경호 , 한경지
IPC分类号： G01J1/02
CPC分类号： G01J1/0219 , G01J1/0437 , G01J1/44 , G01J2001/446
摘要： 본 고안은 감지센서에 관한 것으로서, 분말이나 덩어리의 레벨 감지에 있어서 광센서를 이용하여 직접 접촉방식으로 분말이나 덩어리의 실제 잔존 여부를 감지하여 신호를 보내도록 한 것이다. 이를 위하여 직접 반사형 광센서를 투명하고 표면이 매끄러운 아크릴에 삽입하여 분말이 광센서에 직접 접촉하지 않도록 하여주고 전도성 분말이나 감지센서에 코팅되는 분말이 감지센서 렌즈 쪽 아크릴에 코팅되지 않도록 하고 감지센서 렌즈 쪽에 스테인레스 스틸 재질의 반사판을 두어 평상시에 반사판을 감지하고 분말이나 덩어리 제품이 있을 때 반사판을 감지하지 못하도록 설정하여 분말이나 덩어리의 실제 여부를 감지하도록 한 것이다.
감지기, 센서, 광센서, 분말(粉末), 덩어리, 전도성(傳導性), 코팅, 렌즈, 아크릴, 반사판, 스테인레스 스틸, 직접 반사형,

7. 发明授权

KR101887259B1 자외선 반도체 센서 장치 및 자외선 방사 측정 방법 有权
公开(公告)号：KR101887259B1
公开(公告)日：2018-08-09
申请号：KR1020157027616
申请日：2014-03-07
申请人： 에이엠에스 아게
发明人： 디르슈케,유진쥐. , 비숍,토드 , 매닝거,마리오
IPC分类号： G01J1/42
CPC分类号： G01J1/429 , G01J1/0437 , G01J1/4228 , H01L31/02327 , H01L31/09 , H01L2224/02372 , H01L2224/0401 , H01L2224/05548 , H01L2224/13024
摘要： 포토다이오드(2) 및추가포토다이오드(3)는주 표면(10)에서또는그 근방에서기판(1)에마련된다. 포토다이오드들은입사자외선방사(26)의경우, 포토다이오드(2)로부터의전기신호가추가포토다이오드(3)로부터의추가전기신호보다큰 방식으로형성및 마련된다. 특히제1포토다이오드는추가포토다이오드보다자외선방사에더 민감할수 있다. 포토다이오드로부터의전기신호는추가전기신호에의해감쇄되어입사자외선방사를 1차로측정한전기신호를생성한다. 제1포토다이오드로부터의전기신호의감쇄는집적회로(25)를사용하여내부적으로또는별도의장치를사용하여외부적으로달성될수 있다.

8. 发明公开

KR20180051185A 색 분리요소를 포함하는 이미지 센서와 그 동작방법 审中-公开
公开(公告)号：KR20180051185A
公开(公告)日：2018-05-16
申请号：KR20160148182
申请日：2016-11-08
申请人： SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD
发明人： NAM SUNG HYUN , ROH SOOK YOUNG , YUN SEOK HO
IPC分类号： H04N9/04 , G02B5/20 , H04N5/225 , H04N5/235 , H04N5/335
CPC分类号： H04N5/355 , G01J1/0437 , G01J1/0477 , G01J1/44 , H04N5/369
摘要： 색분리요소를포함하는이미지센서와그 동작방법에관해개시되어있다. 개시된이미지센서에서단위화소는칼라서브화소를 2개만포함하고, 상기 2개의칼라서브화소중 하나에제1 색분리요소가배치되어있다. 상기단위화소는 2개의클리어서브화소를포함할수 있다. 상기 2개의칼라서브화소는적색(R) 서브화소와청색(B) 서브화소일수 있다. 상기단위화소는 4개의서브화소를포함하고, 상기 4개의서브화소는 2개의제1 칼라서브화소와 2개의제2 칼라서브화소로이루어질수 있다. 상기이미지센서는가시광차단필터를더 포함할수 있고, 상기제1 및제2 칼라서브화소는적외선영역의광에대한흡수가상대적으로높은서브화소일수 있다.

9. 发明公开

KR1020150122797A 자외선 반도체 센서 장치 및 자외선 방사 측정 방법 审中-实审
标题翻译：超紫外线半导体传感器装置及测量超紫外线辐射的方法
公开(公告)号：KR1020150122797A
公开(公告)日：2015-11-02
申请号：KR1020157027616
申请日：2014-03-07
申请人： 에이엠에스 아게
发明人： 디르슈케,유진쥐. , 비숍,토드 , 매닝거,마리오
IPC分类号： G01J1/42
CPC分类号： G01J1/429 , G01J1/0437 , G01J1/4228 , H01L31/02327 , H01L31/09 , H01L2224/02372 , H01L2224/0401 , H01L2224/05548 , H01L2224/13024
摘要： 포토다이오드(2) 및추가포토다이오드(3)는주 표면(10)에서또는그 근방에서기판(1)에마련된다. 포토다이오드들은입사자외선방사(26)의경우, 포토다이오드(2)로부터의전기신호가추가포토다이오드(3)로부터의추가전기신호보다큰 방식으로형성및 마련된다. 특히제1포토다이오드는추가포토다이오드보다자외선방사에더 민감할수 있다. 포토다이오드로부터의전기신호는추가전기신호에의해감쇄되어입사자외선방사를 1차로측정한전기신호를생성한다. 제1포토다이오드로부터의전기신호의감쇄는집적회로(25)를사용하여내부적으로또는별도의장치를사용하여외부적으로달성될수 있다.
摘要翻译：在主表面（10）处或附近，在基板（1）中布置光电二极管（2）和另外的光电二极管（3）。以这样的方式形成和布置光电二极管：在入射紫外线辐射（26）的情况下，来自光电二极管（2）的电信号大于来自另外的光电二极管（3）的另外的电信号。特别地，第一光电二极管可能比其他光电二极管对紫外线辐射更敏感。来自光电二极管的电信号被进一步的电信号衰减，从而产生主要测量入射的紫外线辐射的电信号。来自第一光电二极管的电信号的衰减可以在内部使用集成电路（25）或在外部使用单独的器件实现。

10. 发明公开

KR1020150030748A 대화형 제어 시스템, 그 제조 방법 및 그 편입 디바이스 审中-实审
标题翻译：互动控制系统及其制造方法，以及与其相同的装置
公开(公告)号：KR1020150030748A
公开(公告)日：2015-03-20
申请号：KR1020157002685
申请日：2013-07-09
申请人： 일렉트로 싸이언티픽 인더스트리이즈 인코포레이티드
发明人： 레이첸바크로베르트 , 알페이메흐멧 , 다윈미첼 , 하워튼제프리
IPC分类号： G06F3/042 , G06F3/03 , G02B27/00 , G01J1/04
CPC分类号： G01J1/0437 , B23K26/38 , B23K26/40 , B23K2203/50 , G01J1/0411 , G02B27/00 , G02B27/0093 , G02B27/46 , G06F1/1684 , G06F1/1686 , G06F1/169 , G06F3/0304 , G06F3/0425 , G06F3/04847 , G06F2203/0339
摘要： 대화형 제어 시스템, 그 제조 방법, 및 그 편입 디바이스의 수많은 실시예가 개시된다. 일 실시예에 있어서, 시스템은 내광성 재료; 내광성 재료를 통해 광-전달 패턴으로 관통하는 광-전달 홀들; 및 광-전달 패턴에 인접하여 배치된 렌즈를 포함한다.
摘要翻译：公开了交互式控制系统，其制造方法和结合其的装置的许多实施例。在一个实施例中，系统包括耐光材料; 通过耐光材料穿透透光图案的透光孔; 以及与透光图案相邻设置的透镜。

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