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21. 发明公开

KR1020030015208A 기판 세정방법 및 세정장치 无效
标题翻译：基材清洁方法和清洁装置
公开(公告)号：KR1020030015208A
公开(公告)日：2003-02-20
申请号：KR1020027011888
申请日：2002-04-08
申请人： 스미토모 세이미츠 고교 가부시키가이샤
发明人： 미즈카와시게루 , 나카타가츠토시 , 마츠모토순지
IPC分类号： B08B3/12
CPC分类号： B08B3/123
摘要： 본 발명은 액정 표시기, 포토마스크 등의 유리 기판, 프린트 배선기판이나 반도체 웨이퍼 등의 각종 기판을 초음파 세정하는 기판 세정방법 및 세정장치에 관한 것이다. 내부에 세정수를 저류한 저수조(3)와, 수평 이동 가능하고, 또한 이면이 저수조(3)내의 세정수와 접촉하도록 기판(W)을 지지하는 지지 수단(6)과, 기판(W)의 표면에, 초음파 진동을 부여한 세정수를 공급하는 세정수 공급수단(1)과, 저수조(3)와 세정수 공급수단(1)과의 사이에 기판(W)을 반송하는 반송 수단(R, r)을 형성한다. 기판(W)의 표면에 공급되는 세정수에 부여된 초음파 진동이, 기판(W)을 통해 그 이면에 접촉하는 세정수에 전파되어, 이면에 접촉하는 세정수에 초음파 진동이 부여된다. 기판(W)의 표리 양면 모두 초음파 진동이 부여된 세정수에 의해 효과적으로 정화된다.

22. 发明公开

KR1020020020267A 초음파 진동자 및 웨트처리용 노즐 및 웨트처리장치 失效
标题翻译：超声波振动器，湿度处理和湿度处理装置喷嘴
公开(公告)号：KR1020020020267A
公开(公告)日：2002-03-14
申请号：KR1020010055087
申请日：2001-09-07
申请人： 알프스 덴키 가부시키가이샤
发明人： 미쯔모리겐이찌 , 하가노부아끼 , 오노쇼이찌
IPC分类号： H01L21/304
CPC分类号： H01L21/67057 , B08B3/12 , B08B3/123 , G10K9/122 , G10K9/20 , H01L21/67051
摘要： PURPOSE: To provide an ultrasonic vibrator with which the ultrasonic vibration given to a vibration part from an ultrasonic vibrator body can be prevented from going away from a side wall part, and to provide a nozzle for wet treatment with which the radiation efficiency of the ultrasonic vibration from the vibration part to a treating liquid can be enhanced. CONSTITUTION: The ultrasonic vibrator 40 is provided with a vibration plate 46, a side plate 47 erecting from the main surface of the vibration plate 46 and the ultrasonic vibrator body 48 provided on the upper surface of the vibration plate 46 inside the side plate 47 and on the vibration plate 46, and a thin part 49 is formed at least at a part of the surroundings of a region, where the ultrasonic vibration body 48 is arranged. The nozzle 1 for wet treatment is provided with an introducing pipe 21 having an introducing port for introducing the treating liquid at one end, a discharge pipe 22 having a discharge port for discharging a liquid to be discharged at one end after the wet treatment, and the ultrasonic vibrator 40 at a connection part 23 for connecting the ends of the introducing pipe 21 and the discharge pipe 22 and opposed to a material to be treated.
摘要翻译：目的：提供一种超声波振动器，通过该超声波振动器可以防止来自超声波振动体的振动部分的超声振动远离侧壁部分，并提供用于湿处理的喷嘴，利用该喷嘴的超声波的辐射效率可以提高从振动部到处理液的振动。构成：超声波振子40设置有振动板46，从振动板46的主面竖立的侧板47和设置在侧板47内的振动板46的上表面的超声波振子体48，在振动板46上形成有薄壁部49，至少在配置有超声波振动体48的区域的周围的一部分。用于湿处理的喷嘴1设置有具有用于在一端引入处理液的引入口的引入管21，具有用于在湿处理后的一端排出待排出的液体的排出口的排出管22，以及在连接部23的超声波振子40，其连接导入管21的端部和排出管22，并与被处理材料相对。

23. 发明公开

KR1020000064836A 실또는띠형상의물품특히와이어를세정하는방법 有权
标题翻译：清洁室或制品，特别是电线的方法，带状
公开(公告)号：KR1020000064836A
公开(公告)日：2000-11-06
申请号：KR1019980707842
申请日：1998-02-09
申请人： 독토르 힐셔 게엠베하
发明人： 힐셔,하랄드
IPC分类号： B08B3/12 , B21C43/04
CPC分类号： B08B3/123
摘要： 본발명은초음파변환기에의해발생되는초음파와독일특허공고 196 02 917.1-15 호에따른유체를이용하여실 또는띠 형상의물품특히와이어를세정하는방법에관한것이다. 본발명의목적은세정될물품에초음파가직접작용하게하는타입의방법을개선하기위한것이다. 이러한목적은, 상기세정될물품이, 상기물품의직경에적합하고, 길이방향축선을따라연장하는적어도하나의구멍(2)을통하여및/또는상기길이방향축선에가로방향으로연장하고, 상기구멍들(2) 내에강한진공계를형성하기위하여매우높은진폭으로대기중에서진동하는특정굴곡진동기(3)의최대진동점상에각각형성되는적어도하나의구멍을통하여안내되게하므로서이루어진다. 상기굴곡진동기(3)는일정한진폭라인의점 또는선 형상내에서상기초음파변환기(1)에의해서여기된다. 상기세정유체는상기구멍(2)을완전히채우도록공급되고, 상기구멍(2)을통하여상기굴곡진동기(3)로부터배출된다.
摘要翻译：本发明涉及一种用于清洁房间或制品，特别是使用根据美国和德国专利公开号196 02 917.1由超声换能器产生15的流体的条带的线的方法。本发明的一个目的是改善待清洁该超声波被直接施加到物品上的类型的方法。该目的是，这是清洁制品，适用于制品的直径，并通过沿着所述纵向轴线延伸和/或在横向方向上延伸到所述纵向轴线的至少一个孔（2），孔（2）它发生在hameuroseo通过形成在每一个特定的弯曲振子（3）的最大振动点图像中的至少一个孔被引导以非常高的振幅在空气振动，以便形成一个强有力的真空系统。弯曲振动（3）通过由超声换能器激励（1）中的一个点或一个恒定幅度的线状线。清洗液被供给，以便完全填充孔2，并通过所述孔（2）从所述弯曲振子（3）排出。

24. 发明授权

KR101766566B1 무단부 금속 링의 제조 방법 및 무단부 금속 링 수지 제거 장치 有权
标题翻译：制备连续可变部的金属环和所述金属环部无端树脂去除装置的方法
公开(公告)号：KR101766566B1
公开(公告)日：2017-08-08
申请号：KR1020157022245
申请日：2013-05-13
申请人： 도요타지도샤가부시키가이샤
发明人： 고가미츠에 , 니시야마도모히코
IPC分类号： F16G5/16 , B21D53/14 , C21D9/00
CPC分类号： B21B45/0275 , B08B3/123 , B21D53/14 , B21H1/06 , C21D1/06 , C21D1/72 , C21D1/74 , C21D8/10 , C21D9/40 , C23C8/24 , F16G5/16
摘要： 수지를재료로하는배럴을사용하여무단부금속링(110)을연마하는배럴연마공정(pr5)과, 세정된무단부금속링(110)을압연하는압연공정(pr7)과, 압연된무단부금속링(110)을질화처리하는질화처리공정(pr10)을거쳐, 무단부금속링(110)을제조하는무단부금속링의제조방법에있어서, 배럴연마공정(pr5) 후이며압연공정(pr7) 전에, 무단부금속링(110)에부착된수지를제거하는수지제거공정(pr6)을구비한다.
摘要翻译：和轧制使用抛光的无级变速部的金属环110，滚筒抛光处理（PR5），轧制金属环110的洗涤可变部和轧制可变部的材料的筒体步骤（PR7）与树脂通过金属环110的氮化处理工序（PR10），用于氮化用于产生连续可变的部分金属环110的无级变速部的金属环的制造方法，和滚筒抛光步骤（PR5）轧制步骤（PR7后）之前，设置有树脂去除步骤（PR6），以除去附着在环形金属环部分110的树脂

25. 发明公开

KR1020160066382A 초음파 세정 시스템 审中-实审
标题翻译：超声波清洗系统
公开(公告)号：KR1020160066382A
公开(公告)日：2016-06-10
申请号：KR1020140170702
申请日：2014-12-02
申请人： 주식회사 듀라소닉
发明人： 이희명 , 서동원 , 황봉길
IPC分类号： B08B3/12 , B08B1/02
CPC分类号： B08B3/12 , B08B1/02 , B08B3/123
摘要： 초음파세정시스템이개시된다. 본발명의초음파세정시스템은, 제조부품의오염을세정하는시스템으로서, 수평방향으로길게형성되고내부에세정액을저장하는저장공간을형성하는베이스; 상기베이스의상단부에설치되는세정모듈; 및상기세정모듈을통과하며제조부품을이동시키는컨베이어유닛을포함하고, 상기세정모듈은, 상기컨베이어유닛을향해세정액의이류체를분사하는분사유닛, 내부에세정액이채워지고상기컨베이어유닛을향해초음파를발진하는세정유닛및 상기컨베이어유닛을향해열풍을공급하는건조유닛을포함하며, 상기분사유닛, 세정유닛및 건조유닛은, 제조부품의상측및 하측각각에이류체, 초음파및 열풍을전달하는것을특징으로한다. 본발명에의하면, 제조부품의양쪽면에균일한세정이이루어지고, 다단계로세정되는과정에서제조부품의유동이방지되며, 고장이발생하더라도세정과정을신속하게재개할수 있도록이루어지는초음파세정시스템을제공할수 있게된다.
摘要翻译：公开了一种超声波清洗系统。本发明的超声波清洗系统是清洗制造部件的污染物的系统，其特征在于，包括：水平长的基部，在其内容纳有清洗液的储存空间; 安装在基座的上端单元上的清洁模块; 以及穿过清洁模块并移动所制造的部件的输送机单元。清洁模块包括：喷射单元，将清洁液体的双流体主体喷向输送单元; 清洁单元，其具有填充在其中的清洁液体并且朝向输送单元振动超声波; 以及向输送单元供应热空气的干燥单元，其中喷射单元，清洁单元和干燥单元将双流体，超声波和热空气传送到制造的部件的相应的上侧和下侧。根据本发明，提供了具有如下效果的超声波清洗系统：均匀地清洁所制造的部件的两个表面; 防止在多个清洁步骤中清洁制造的部件浮动; 即使发生机械故障，也能立即恢复清洗过程。

26. 发明授权

KR100718484B1 전자 부품 세정 방법 및 장치 有权
标题翻译：用于清洁电子部件的装置和方法
公开(公告)号：KR100718484B1
公开(公告)日：2007-05-16
申请号：KR1020030088972
申请日：2003-12-09
申请人： 에이에스엠 어쌤블리 오토메이션 리미티드
发明人： 쳉치와 , 웡위코 , 막팀와이
IPC分类号： H01L21/304
CPC分类号： B08B3/12 , B08B3/123 , H01L21/481 , H01L21/67051
摘要： 본 발명은 복수의 전자 패키지를 세정하기 위한 방법 및 장치를 제공한다. 세정 유체를 수납하는 탱크가 제공되고, 초음파 공진기가 세정 유체에 초음파 에너지를 충전하도록 세정 유체와 교류하도록 장착된다. 세정 유체의 상단면 위에 위치될 수 있는 지지 플랫폼은 전자 부품을 전자 부품이 사용중에 세정 유체의 상단면과 접촉하도록 지지한다. 또한, 세정 유체의 상단면과 접촉하는 전자 부품을 세정하기 위해 탱크네에 세정 유체의 연속 유동을 생성하도록 세정 유체 공급 시스템이 구성된다.
전자 부품, 세정 유체, 초음파 공진기, 지지 플랫폼, 분무

27. 发明公开

KR1020060094921A 테이프재 세정 장치 및 테이프재 세정 방법 无效
标题翻译：胶带清洁装置和胶带清洗方法
公开(公告)号：KR1020060094921A
公开(公告)日：2006-08-30
申请号：KR1020060018342
申请日：2006-02-24
申请人： 심팔 일렉트로닉스 컴퍼니 리미티드
发明人： 나라바야시,테츠유키 , 쿠니모토,신지 , 아쯔우미,히로유키
IPC分类号： B08B3/12 , B08B3/04 , B08B1/02
CPC分类号： B08B3/123 , B08B3/041
摘要： 테이프재의 세정성을 높일 수 있는 테이프재 세정 장치 및 테이프재 세정 방법을 제공한다．본 발명에 의하면, 테이프재 세정 장치(1)의 세정부(41)에서, 침지조(411) 안에는 제 2 가이드 롤러(46) 및 제 3 가이드 롤러(47)가 매몰되도록 침지수(411b)가 저장되어 있으며，이에 따라, 반송중인 테이프재(100)가 침지되도록 구성되어 있다．또한，이 침지조(411) 안에는 제 4 가이드 롤러(48)와 대향하여 초음파 세정 수단(4132)이 마련되어 있다．

28. 发明授权

KR100445121B1 초음파 세정 장치 및 세정 방법 失效
标题翻译： 초음파세정장치및세정방법
公开(公告)号：KR100445121B1
公开(公告)日：2004-08-18
申请号：KR1020010051245
申请日：2001-08-24
申请人： 샤프 가부시키가이샤
发明人： 야마모또유이찌
IPC分类号： H01L21/304
CPC分类号： B08B3/123
摘要： Surfaces of a glass substrate to be cleaned is subjected to ultrasonic cleaning while being carried by a carrier roller by means of ultrasonic vibration units arranged in two rows in a widthwise direction. A plurality of ultrasonic vibration units are arranged in two rows in a staggered configuration so that a certain ultrasonic vibration unit of one row is located toward a substantially central portion of two adjacent ultrasonic vibration units of the other row. In each of the ultrasonic vibration units, a vibrator is attached to its respective vibration plate so as to pair up therewith. The vibration plate and the vibrator acting as a pair can be detached from the ultrasonic vibration unit simply by removing a bolt. This makes the maintenance easy and reduces the manufacturing cost.
摘要翻译：待清洁的玻璃基板的表面在借助于沿宽度方向布置成两排的超声波振动单元由承载辊承载的同时进行超声波清洁。多个超声波振动单元以交错配置布置成两行，使得一行的特定超声波振动单元位于另一行的两个相邻超声波振动单元的大致中央部分。在每个超声波振动单元中，振动器被安装在其各自的振动板上以与其配对。作为一对的振动板和振动器可以简单地通过拆下螺栓而从超声波振动单元拆下。这使得维护容易并降低了制造成本。

29. 发明授权

KR100445041B1 습식 처리 장치 失效
标题翻译： 습식처리장치
公开(公告)号：KR100445041B1
公开(公告)日：2004-08-18
申请号：KR1020010050654
申请日：2001-08-22
申请人： 알프스 덴키 가부시키가이샤 , 오미 다다히로
发明人： 미쯔모리겐이찌 , 오미다다히로
IPC分类号： H01L21/304
CPC分类号： H01L21/67086 , B08B3/041 , B08B3/123 , H01L21/67051 , H01L21/67057 , H01L21/6708
摘要： A wet treatment apparatus includes a nozzle (1) having an approximately rectangular introduction opening surface (8a) which is open toward a substrate (W) to be treated and an approximately rectangular recovery opening surface (9a) which is open toward the substrate, these opening surfaces being flush with each other and disposed with the long side directions thereof in parallel with each other. A treatment liquid (L) is introduced between the introduction opening surface and the surface to be treated of the substrate and sucked and recovered from between the recovery opening surface and the surface to be treated of the substrate. At this time, the flow rate of the treatment liquid flowing from the introduction opening surface to the recovery opening surface through the surface to be treated of the substrate is controlled to 0.02 to 0.3 L/min per 1 cm in the long side direction of the introduction opening surface. With this arrangement, there can be provided a wet treatment apparatus capable of using a liquid saving type nozzle under optimum conditions.
摘要翻译：本发明提供一种湿式处理装置，其具有：喷嘴（1），其具有朝向被处理基板（W）开口的大致长方形的导入开口面（8a）和朝向基板开口的大致矩形的回收开口面（9a）开口表面彼此齐平并且其长边方向彼此平行地布置。将处理液（L）导入到基板的导入开口面与被处理面之间，从基板的回收开口面与被处理面之间吸引回收。此时，将从基板的导入开口面经过被处理面流向回收口面的处理液的流量控制为每1cm在该长边方向上为0.02〜0.3L / min 引入开口表面。通过这种设置，可以提供一种能够在最佳条件下使用省液型喷嘴的湿处理装置。＆lt;图像＆GT;

30. 发明公开

KR1020040042499A 아연도금강판에 폴리에틸렌시트를 피복하는 장치 无效
标题翻译：用于将聚乙烯薄片覆盖在胶合条上的装置
公开(公告)号：KR1020040042499A
公开(公告)日：2004-05-20
申请号：KR1020020070809
申请日：2002-11-14
申请人： 주식회사 보람테크 , 김한곤
发明人： 김한곤
IPC分类号： C23C28/00
CPC分类号： B32B15/085 , B08B1/02 , B08B3/123 , B32B15/18 , B32B27/32 , B32B37/206 , B32B38/162 , B32B38/164 , B32B39/00 , B32B2038/166 , B32B2310/028 , B32B2311/30 , Y10T29/5136 , Y10T29/5137 , Y10T29/5142 , Y10T29/5143 , Y10T29/5145
摘要： PURPOSE: An apparatus for covering polyethylene sheet on galvanized strip is provided in which the polyethylene sheet is automatically covered on both sides of the galvanized strip by heat fusion, thereby improving productivity by improving workability and lowering product price by reducing labor cost. CONSTITUTION: The apparatus comprises a base(11); a strip uncoiler(12) installed at an end of one side of the base; a strip pressurizer(13) installed at one side of the base with being spaced apart from the uncoiler in a certain distance; a supersonic cleaner(14) installed at one side of the base with being spaced apart from the strip pressurizer in a certain distance; a dryer(15) installed at one side of the base with being spaced apart from the supersonic cleaner in a certain distance; a middle frequency heater(16) installed at one side of the base with being spaced apart from the dryer in a certain distance; a sheet supplier(18) installed at one side of the base with being spaced apart from the middle frequency heater in a certain distance; a presser(19) installed at one side of the base with being spaced apart from the sheet supplier in a certain distance; a cooler(20) installed at one side of the base with being spaced apart from the presser in a certain distance; a coiler(21) installed at an end of the other side of the base that is the most far away from the strip uncoiler; a cutter(22) installed between the cooler and the coiler on the base; and a brake(23) installed between the cutter and the coiler on the base.
摘要翻译：目的：提供一种用于在镀锌带上覆盖聚乙烯片的设备，其中通过热熔融将聚乙烯片自动覆盖在镀锌带的两侧，从而通过降低人工成本提高加工性和降低产品价格来提高生产率。构成：该装置包括基座（11）; 安装在所述基座的一侧的端部处的带材开卷机（12）; 带状加压器（13），其安装在所述基座的一侧，与所述开卷机间隔一定距离; 一个超音速清洁器（14），安装在基座的一侧，与条带式加压器隔开一定距离; 干燥器（15），其安装在所述基座的一侧，与所述超声波清洁器间隔开一定距离; 中间加热器（16），其安装在所述基座的一侧，与所述干燥机间隔一定距离; 片材供应器（18），安装在基座的一侧，与中频加热器间隔一定距离; 安装在所述基座的一侧的与所述片材供应者隔开一定距离的压脚（19）; 安装在所述基座的一侧的冷却器（20），所述冷却器在一定距离内与所述压脚间隔开; 卷绕机（21），其安装在所述基部的与所述带材开卷机最远的另一侧的端部; 安装在基座上的冷却器和卷取机之间的切割器（22）以及安装在基座上的切割器和卷取机之间的制动器（23）。

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