专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明公开

KR1020170123475A 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 审中-实审
标题翻译：基板处理装置及基板处理方法
公开(公告)号：KR1020170123475A
公开(公告)日：2017-11-08
申请号：KR1020160052994
申请日：2016-04-29
申请人： 세메스 주식회사
发明人： 박정영 , 이강석 , 김희환
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/67 , H01L21/683
CPC分类号： B08B3/106 , B08B3/041 , B08B3/08 , B08B2203/007 , H01L21/02101 , H01L21/67017 , H01L21/67051
摘要： 본발명은기판처리장치에관한것이다. 본발명에의한기판처리장치는, 기판을지지하는지지유닛과; 상기지지유닛상에지지된기판으로유기용제를토출하는분사유닛과; 상기분사유닛으로상압에서상기유기용제의끓는점보다높은온도로액상의상기유기용제를공급하는용제공급유닛을포함한다.
摘要翻译：基板处理装置技术领域本发明涉及基板处理装置根据本发明的基板处理设备包括：用于支撑基板的支撑单元; 喷射单元，用于将有机溶剂喷射到支撑在支撑单元上的基板上; 以及溶剂供应单元，用于在常压下将所述有机溶剂以液态供应至所述注入单元至高于所述有机溶剂的沸点的温度。

2. 发明公开

KR1020170116832A 휴대폰 자동 세척장치 审中-实审
标题翻译：手机自动清洁装置
公开(公告)号：KR1020170116832A
公开(公告)日：2017-10-20
申请号：KR1020160044966
申请日：2016-04-12
申请人： 주식회사 창림
发明人： 설경수
IPC分类号： B08B1/02 , B08B1/04 , A61L2/10 , A61L2/26
CPC分类号： B08B1/02 , A61L2/10 , A61L2/26 , A61L2202/16 , A61L2202/17 , B08B1/04 , B08B3/041
摘要： 본발명은휴대폰의투입을위한투입구및 휴대폰이취출되는취출구가형성되면서내부가빈 박스체의본체케이스; 휴대폰이얹힌상태로상기휴대폰을이동시키는이동롤러; 휴대폰을수평이송시키는수평이송부; 수평이송부에의해이송되는휴대폰의상부표면을닦는닦음롤러;를포함하여구성됨을특징으로하는휴대폰자동세척장치가제공되며, 이를통해휴대폰에대한살균및 세척을동시에자동으로수행할수 있도록하면서도이러한살균및 세척작업의진행이연속적이면서도안정적으로이루어질수 있도록한 것이다.
摘要翻译：本发明涉及一种内部垃圾箱本体的内壳，该内部垃圾箱本体形成有用于对移动电话进行充电的入口和用于将移动电话取出的排出口。在移动电话放置时移动移动电话的移动滚筒; 用于水平移动移动电话的水平传输单元; 以及用于擦拭由水平传送单元传送的移动电话的上表面的擦拭辊，其中，自动细胞清洗装置能够同时自动执行移动电话的杀菌和清洁，并且洗涤操作可以连续且稳定地进行。

3. 发明公开

KR1020170113174A 기판 처리 장치, 액처리 방법, 및 기억 매체 审中-实审
标题翻译：基板处理装置，液体处理方法和存储介质
公开(公告)号：KR1020170113174A
公开(公告)日：2017-10-12
申请号：KR1020170035965
申请日：2017-03-22
申请人： 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
发明人： 후지타아키라 , 미즈노츠요시
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/306 , H01L21/687
CPC分类号： H01L21/02052 , B08B3/02 , B08B3/041 , B08B3/08 , C23F1/02 , C23F1/08 , C23F1/16 , C23F1/32 , H01L21/02087 , H01L21/67051 , H01L21/67253 , H01L21/68764 , H01L22/12 , H01L22/20
摘要： 본발명은막의특성의차이에따르는제거폭의변동을저감하는것이가능한기판처리장치등을제공하는것을목적으로한다. 기판(W)의둘레가장자리부에처리액을공급하여막을제거하는기판처리장치(16)에있어서, 기판(W)의직경방향으로이동가능한토출부(411)는, 기판유지부(31)에유지되어회전하는기판(W)의둘레가장자리부에처리액을토출한다. 토출위치설정부(18)는, 레시피에포함되는막의제거폭에대응시켜토출부(411)로부터의처리액의토출위치를설정하고, 특성정보취득부(7)는, 제거되어야할 막의특성정보를취득한다. 보정량취득부(18)는, 막의특성정보에따라, 처리액의토출위치를보정하는보정량을취득하고, 토출위치보정부(18)는, 보정량취득부(18)에의해취득된보정량에기초하여, 토출부(411)에의한처리액의토출위치를보정한다.
摘要翻译：本发明的目的在于提供一种能够减小取决于膜特性差异的去除宽度的变化的基板处理装置等。在基板保持部31上设置有在基板处理装置16的基板W的半径方向上移动并通过向基板W的周缘供给处理液来除去膜的喷出部411 并且将处理液排出到被保持并旋转的基板W的周围。排出位置设定部18根据包含在配方中的膜的去除宽度来设定来自排出部411的处理液的排出位置，特性信息取得部7取得要去除的膜的特性信息它得到。校正量获取单元18，根据膜特性，从而获得一校正量用于校正处理液和喷射位置校正部18的放电位置时，基于由所述校正量获取单元18获得的校正量并通过排出部411修正处理液的排出位置。

4. 发明公开

KR1020170085975A 세정 장치 및 기판 처리 장치 审中-实审
标题翻译：清洁装置和基板处理装置
公开(公告)号：KR1020170085975A
公开(公告)日：2017-07-25
申请号：KR1020170004960
申请日：2017-01-12
申请人： 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼
发明人： 하이양수 , 미야자키미츠루
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/67 , H01L21/304 , H01L21/306 , H01L21/677
CPC分类号： H01L21/67023 , B08B1/003 , B08B1/04 , B08B3/041 , B08B3/08 , B08B7/04 , H01L21/67046 , H01L21/67051 , H01L21/67092 , H01L21/6719 , H01L21/67196
摘要： 본발명은, 격벽에부착된세정액을포착하여기판의오염을방지할수 있는세정장치를제공하는것을목적으로한다. 세정장치는, 기판(W)을세정하기위한세정실(16)과, 세정실(16)에인접하고, 기판(W)을반송하기위한반송실(17)과, 세정실(16)과반송실(17)을구획하는격벽(40)과, 격벽(40)에고정된홈통(51)과, 홈통(51)의바닥부(51a)에접속된배출관(52)을구비한다. 격벽(40)에는, 제1 통과구(45)와, 제1 통과구(45)의아래쪽에위치하는제2 통과구(46)가형성되어있다. 홈통(51)은, 제1 통과구(45)와제2 통과구(46) 사이에위치하고있고, 또한격벽(40)의한쪽측단부(40a)로부터다른쪽 측단부(40b)까지연장되어있다.
摘要翻译：本发明中，通过捕获附着在隔壁的清洗液的目的是提供一种设计成防止所述基板的污染的清洁装置。该清洁设备包括：基板（W）eulse确定清洁室16和清洁室16中，与接触恩波，输送室17和在基板（W）的一半songsil传送用于清洁室16（17 ）设置有间隔壁40和隔壁40，前向自我槽51，连接到所述槽（51）的底部（51A）的排出配管52。隔壁（40），第二通道开口可以由位于所述第一通道开口45的下方，如权利要求46形式类型的，所述第一通道开口（45）。槽51，并延伸到所述第一通道开口（45）沃赫第二通道开口（46），和位于之间，并且从（40a）的分隔壁40 jjokcheuk另一端侧端部（40b）的通过。

5. 发明公开

KR1020170056436A 필름 제조 방법 및 필름 세정 장치 审中-实审
标题翻译：薄膜制造方法和薄膜清洁装置
公开(公告)号：KR1020170056436A
公开(公告)日：2017-05-23
申请号：KR1020160146695
申请日：2016-11-04
申请人： 스미또모 가가꾸 가부시키가이샤
发明人： 우에지마,리쿠리 , 신,아키히코
IPC分类号： H01M2/14 , B08B3/04
CPC分类号： B08B3/04 , B08B3/041 , B65H5/066 , B65H20/02 , B65H2301/51422 , B65H2408/214 , B65H2601/254 , B65H2701/1752 , B65H2801/72 , H01M2/145 , H01M2/1653 , H01M2/1686 , H01M10/0525 , Y02E60/122 , Y02P70/54
摘要： 필름의반송경로에있어서의하류측의세정조의세정액의오염을억제한다. 세정장치는, 내열세퍼레이터를세정조로부터세정조로반송하는롤러를구비한다. 롤러및 롤러가내열세퍼레이터의한쪽면에접촉하고, 또한롤러의사이에있어서롤러가내열세퍼레이터의다른쪽 면에접촉한다. 롤러에의해내열세퍼레이터로부터제거된세정수가세정조로되돌려진다.
摘要翻译：抑制了膜输送路径下游侧的清洗槽内的清洗液的污染。清洁装置包括将耐热分离器从清洁槽输送到清洁槽的辊。辊和辊接触耐热分离器的一个表面，并且辊接触辊之间的耐热分离器的另一个表面。通过辊从耐热分离器除去的洗涤水返回到洗涤槽。

6. 发明授权

KR101649289B1 식판세척기 有权
标题翻译：食品清洁剂
公开(公告)号：KR101649289B1
公开(公告)日：2016-08-18
申请号：KR1020160061414
申请日：2016-05-19
申请人： 주식회사 누마스타
发明人： 강신영
IPC分类号： B08B1/02 , A47L15/39 , A47L15/24
CPC分类号： B08B1/02 , A47L15/245 , A47L15/39 , B08B1/002 , B08B3/041
摘要： 본발명은식판이이동하는세정부에서브러쉬가형성된메인세척기어부와상기메인세척기어부에연동되면서브러쉬가형성된복수개의보조세척기어부로구성되는세척기어부재가세정부내부의양측에설치되어메인세척기어부와보조세척기어부가회전하면서식판의좌측면과우측면을브러쉬에의해세척하면서동시에상기세척기어부재의메인세척기어부와보조세척기어부에서세척수또는헹굼수가분사되어브러쉬의회전과세척수또는헹굼수의분사로동시에식판을세척과헹굼작업을하도록식판이세정부로이동되어식판의좌측과우측에위치하도록세정부내부의양측에각각설치되며, 이격된다수개의고정구가형성되는수직형고정판과상기고정판의고정구를통해제1회전축이고정판내측과외측으로돌출연결되어고정판외측의제1회전축에회전기어가연결되면서상기고정판내측으로돌출된제1회전축에제1세척회전체로연결된메인세척기어부와상기고정판의고정구를통해고정판내측으로연결되어돌출되는제2세척회전체에메인세척기어부의제1세척회전체가연계되는복수개의보조세척기어부로구성되는세척기어부재와, 상기세정부양측의세척기어부재에구비된메인세척기어부를동시에회전시키도록세정부외부상측에설치되며, 상기메인세척기어부로동력을전달하는동력부재로구성되는식판세척기를제공한다.
摘要翻译：本发明提供一种食品清洁剂，其特征在于，包括：清洁单元，其中食物板被输送; 清洁齿轮构件，形成在清洁单元中，包括具有刷子的主清洁齿轮单元和具有与主清洁齿轮单元连接的刷子的多个辅助清洁齿轮单元，清洁齿轮构件分别安装在在清洁单元的两侧使主清洁齿轮单元和辅助清洁齿轮单元旋转并用刷子清洁食品板的左表面和右表面，并同时喷射清洁溶液或漂洗水以清洁和冲洗食品板同时将食品板输送到清洁单元并放置在食品板的左侧和右侧，主清洁齿轮单元连接到第一旋转轴，该第一旋转轴朝向具有多个固定装置的垂直固定板，其与第一清洁转子间隔开，因为第一旋转轴通过向内侧和外侧突出而连接 f固定板通过固定板的固定装置，旋转齿轮连接到固定板外部的第一旋转轴，并且主清洁齿轮单元的第一清洁转子连接到多个辅助清洁齿轮单元第二清洁转子通过固定板的固定件连接到固定板的内部; 以及安装在清洁单元的顶部外侧的动力构件，以同时使位于清洁单元的侧面上的清洁齿轮构件上的主清洁齿轮单元旋转并将动力传递到主清洁齿轮单元。本发明旨在通过旋转刷子和喷射清洁溶液或漂洗水同时清洁和冲洗食品板。

7. 发明授权

KR101547000B1 다중 스테이지 기판 세정 방법 및 장치 有权
标题翻译：多级基板清洗方法和装置
公开(公告)号：KR101547000B1
公开(公告)日：2015-08-24
申请号：KR1020117026826
申请日：2010-05-10
申请人： 램 리써치 코포레이션
发明人： 콜로덴코아놀드 , 미하일리첸코카트리나 , 린청-유션 , 윌콕슨마크 , 긴즈버그레온 , 가와구치마크
IPC分类号： H01L21/302
CPC分类号： B08B3/041 , H01L21/02057 , H01L21/67051
摘要： 세정재료의제 1 공급이기판의표면에이루어진다. 세정재료는기판의표면상에존재하는오염물질들을포집하기위한하나이상의점탄성재료들을포함한다. 기판의표면으로부터세정재료를린싱하기위해린싱유체의제 1 공급이기판의표면에이루어진다. 또한, 린싱유체의제 1 공급은기판의표면상에린싱유체의잔류박막을남기기위해수행된다. 린싱유체의잔류박막이상부에존재하는기판의표면에세정재료의제 2 공급이이루어진다. 그후, 기판의표면으로부터세정재료를린싱하기위해기판의표면에린싱유체의제 2 공급이이루어진다.

8. 发明公开

KR1020150075807A 합성수지필름의 이물질 제거장치 및 방법 审中-实审
标题翻译：去除合成树脂薄膜外用材料的装置及方法
公开(公告)号：KR1020150075807A
公开(公告)日：2015-07-06
申请号：KR1020130164131
申请日：2013-12-26
申请人： 김완길 , 진윤규 , 김영숙
发明人： 김완길 , 진윤규 , 김영숙
IPC分类号： B08B1/02 , B08B5/02
CPC分类号： B08B3/041 , B08B1/005 , B08B5/046
摘要： 본발명은 PET 필름에남아있는희토류물질을포함한이물질을연속적으로제거할수 있는합성수지필름의이물질제거장치및 방법에관한것으로서, 이를위한특징적인구성은, 앞면및/또는뒷면에희토류성분을포함한이물질이남아있는롤타입의합성수지필름이일측방향으로이송되도록거취하는롤 필름장착대와; 상기롤 필름장착대를통하여이송되는상기합성수지필름의이송경로를제공하며, 이송과정중 이송되는상기합성수지필름의상면및 하면을미리설정된궤적으로반복적으로각각긁어내는이물질제거부와; 상기이물질제거부에서이송되는상기합성수지필름을세척하는세척조와; 상기세척조를경유하고배출되는상기합성수지필름을롤타입으로감는제2 롤필름장착대와; 상기이물질제거부와상기제2 롤필름장착대의동작을제어하는제어기를구비한다.
摘要翻译：本发明涉及一种去除合成树脂膜异物的装置和方法，其中可以连续除去包含残留在PET膜上的稀土材料的异物。用于除去合成树脂膜的异物的设备包括：辊膜安装台，用于保持具有残留在前表面和/或后表面上的包含稀土元素的异物的辊状合成树脂膜一方面转移; 用于提供合成树脂膜的转印路径的异物去除部分，其通过辊式安装台传送，并且在转印过程中沿着预定的转印过程反复刮擦合成树脂膜的上表面和下表面。跟踪; 用于清洗从异物去除部转移的合成树脂膜的洗涤槽; 第二辊式安装台，以卷状卷绕经由洗涤槽排出的合成树脂膜; 以及用于控制异物去除部分和第二辊膜安装台的操作的控制器。

9. 发明公开

KR1020140103244A 기판처리장치 및 기판처리방법 有权
标题翻译：基板处理装置和基板处理方法
公开(公告)号：KR1020140103244A
公开(公告)日：2014-08-26
申请号：KR1020140102068
申请日：2014-08-08
申请人： 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
发明人： 오사다나오유키 , 스기모토켄타로
IPC分类号： H01L21/302 , H01L21/683 , H01L21/02
CPC分类号： H01L21/67051 , B08B3/022 , B08B3/041 , B08B9/023 , H01L21/67028 , H01L21/67034
摘要： The present invention provides a substrate processing apparatus capable of preventing an exhaust head and a nozzle arm to support the exhaust head from being polluted, and a substrate processing method. As a solution means, the nozzle arm (62) to support the exhaust head is moved between an upper processing position of a substrate (W) and a standby position outside a processing cup surrounding the substrate (W) by a rotation driver (63). When the nozzle arm (62) in which the substrate (W) is cleaned is positioned at the standby position, a cleaning solution spurts towards an oblique lower nozzle arm (62) from a shower nozzle (71). A flow of the cleaning solution obliquely spurting downward ascends through three nozzle arms (62) so that the three nozzle arms (62) are sequentially cleaned. Nitrogen gas from a dry gas nozzle (76) is injected to the nozzle arm (62) to dry the cleaning solution attached to the arm.
摘要翻译：本发明提供一种能够防止排气头和喷嘴臂支撑排气头被污染的基板处理装置，以及基板处理方法。作为解决方案，支撑排气头的喷嘴臂（62）通过旋转驱动器（63）在衬底（W）的上部处理位置和围绕衬底（W）的处理杯之外的待机位置之间移动，。当清洁了基板（W）的喷嘴臂（62）位于待机位置时，清洁液从喷淋喷嘴（71）喷向倾斜的下喷嘴臂（62）。倾斜向下喷射的清洁溶液的流动通过三个喷嘴臂（62）上升，使得三个喷嘴臂（62）被顺序地清洁。来自干燥气体喷嘴（76）的氮气被喷射到喷嘴臂（62）以干燥附着到臂上的清洁溶液。

10. 发明公开

KR1020130119407A 기판처리장치 및 기판처리방법 无效
标题翻译：基板处理装置和基板处理方法
公开(公告)号：KR1020130119407A
公开(公告)日：2013-10-31
申请号：KR1020130121390
申请日：2013-10-11
申请人： 가부시키가이샤 스크린 홀딩스
发明人： 오사다나오유키 , 스기모토켄타로
IPC分类号： H01L21/302
CPC分类号： H01L21/67051 , B08B3/022 , B08B3/041 , B08B9/023 , H01L21/67028 , H01L21/67034
摘要： PURPOSE: A substrate processing apparatus and a substrate processing method are provided to prevent the drop of a cleaning solution on a substrate by spraying a drying gas to an injection head. CONSTITUTION: A nozzle arm (62) includes an injection head on a front end part. The injection head sprays a processing liquid onto a substrate. A standby port accommodates the injection head. A rotation driving part (63) rotates the nozzle arm. A shower nozzle (71) sprays a cleaning solution to the nozzle arm.
摘要翻译：目的：提供一种基板处理装置和基板处理方法，用于通过向注射头喷射干燥气体来防止清洗液在基板上的下降。构成：喷嘴臂（62）包括在前端部上的喷射头。注射头将处理液体喷射到基底上。备用端口容纳注射头。旋转驱动部（63）旋转喷嘴臂。淋浴喷嘴（71）将清洁溶液喷射到喷嘴臂。

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式