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11. 发明公开

KR1020120113161A 푸아송비의 계측 방법 및 계측 장치 有权
标题翻译： POISSON比例的测量方法和测量装置
公开(公告)号：KR1020120113161A
公开(公告)日：2012-10-12
申请号：KR1020110053326
申请日：2011-06-02
申请人： 주식회사 포스코 , 니뽄스틸코포레이션
发明人： 허형준 , 오기장 , 임충수 , 강명구 , 박현철 , 나가타야수아키 , 야마다히로히사 , 하쉬구치쇼우헤이
IPC分类号： G01N29/12 , G01B17/04
CPC分类号： G01N29/12 , G01B17/04 , G01N29/2418 , G01N29/44 , G01N2291/02827
摘要： PURPOSE: A method and a device for measuring a Poisson's ratio is provided to excite ultrasonic waves by using laser lights of low energy as much as the extent that an ablation is not generated, thereby enabling to measure a Poisson's ratio without damage on a surface of an inspection object. CONSTITUTION: A method and a device for measuring a Poisson's ratio are as follows. Pulse oscillation laser lights for generation ultrasonic waves are irradiated on an inspection object, thereby generating ultrasonic waves in the inspection object. Laser lights for detecting the ultrasonic waves which wavelength is different with the pulse oscillation laser lights for generating the ultrasonic waves are irradiated on the inspection object. The laser lights for detecting the ultrasonic waves receiving a Doppler shift with the vibration of the ultrasonic waves generated by irradiating the pulse oscillation laser lights for generating the ultrasonic waves to the inspection object are received so that lights of intensity depending on an amount of the Doppler shift are output. A waveform of the ultrasonic waves generated in the inspection object based on the amount of the Doppler shift is calculated by using the lights of the intensity depending on the amount of the Doppler shift. A frequency analysis of the waveform of the ultrasonic waves is performed so that frequencies of plate ultrasonic waves of a S1 mode generated in the inspection object and resonant frequencies of longitudinal waves are calculated. The Poisson's ratio is calculated from the calculated frequencies of the plate ultrasonic waves of the S1 mode and the resonant frequencies of the longitudinal waves. [Reference numerals] (AA) Strength; (BB) Time
摘要翻译：目的：提供一种用于测量泊松比的方法和装置，通过使用低能量的激光照射消融不到达程度来激发超声波，从而能够测量泊松比而不损伤表面的检查对象。构成：用于测量泊松比的方法和装置如下。用于产生超声波的脉冲振荡激光照射在检查对象上，从而在检查对象物中产生超声波。用于检测波长不同的超声波的激光用于产生超声波的脉冲振荡激光照射在检查对象上。用于检测接收多普勒频移的超声波的激光与通过将用于产生超声波的脉冲振荡激光照射到检查对象而产生的超声波的振动接收，使得根据多普勒量的光强度输出。通过使用根据多普勒频移量的强度的光来计算基于多普勒频移量的检查对象中产生的超声波的波形。对超声波的波形进行频率分析，从而计算检查对象中生成的S1模式的平板超声波的频率和纵波的共振频率。从S1模式的板超声波的计算频率和纵波的共振频率计算泊松比。（附图标记）（AA）强度; （BB）时间

12. 发明授权

KR101118148B1 자동화라인에서 웨이퍼의 품질관리를 위한 방법 및 장치 有权
标题翻译：用于在线质量控制晶片的方法和装置
公开(公告)号：KR101118148B1
公开(公告)日：2012-03-12
申请号：KR1020097021304
申请日：2008-03-08
申请人： 오스타펜코, 세르게이
发明人： 오스타펜코,세르게이
IPC分类号： G01N29/04 , H01L21/66
CPC分类号： H01L22/12 , G01N29/045 , G01N29/12 , G01N29/348 , G01N29/4436 , G01N29/4445 , G01N2291/2697
摘要： 자동화라인에서 웨이퍼의 기계적인 품질관리를 위한 방법 및 장치로서, 상기 방법은 웨이퍼 상의 사이즈 및 위치의 결정을 포함하는 크랙의 빠른 검출을 허용한다. 상기 방법은 웨이퍼를 액추에이터와 함께 커플링하는 단계, 적어도 두 개의 미리 설정된 공진 피크 주변에서 동시에 액추에이터의 주파수를 스위핑하여 웨이퍼의 초음파 진동의 중첩을 여기시키는 단계, 공진주파수, 진폭 및 대역폭을 기록하고, 기계적으로 음향 크랙이 없는 표준 웨이퍼를 위해 기록된 기준 주파수 곡선의 공진 주파수, 진폭 및 대역폭을 비교하는 단계를 포함한다. 비교를 기반으로 하여, 불량 및 양호 명령은 통계적인 불량 알고리즘을 사용하여 생성된다.

13. 发明授权

KR100883446B1 음향방출신호를 이용한 결함진단시스템 및 결함진단방법 有权
标题翻译：缺陷诊断系统和使用声学发射的方法
公开(公告)号：KR100883446B1
公开(公告)日：2009-02-13
申请号：KR1020080016971
申请日：2008-02-25
申请人： 주식회사 렉터슨
发明人： 김동률 , 김동현
IPC分类号： G01N29/14 , G01N29/04
CPC分类号： G01N29/14 , G01B17/04 , G01M3/24 , G01N29/12 , G01N29/2462 , G01N2291/0289
摘要： A damage detecting system and method using acoustic emission are provided to easily detect whether an inner structure of industrial facility is damaged in real time, effectively remove unnecessary noise from a collected acoustic emission signal and analyze the signal. A damage detection system using acoustic emission includes a plurality of sensing units(10) attached to different points of an inner structure to sense an object signal including an acoustic emission signal and an acoustic vibration signal, an amplifier unit(20) for filtering and amplifying the object signal, a signal processing unit(30) for processing and analyzing the object signal, and an interface unit(40) for indicating the processing result of the signal processing unit and providing a user interface environment.
摘要翻译：提供了使用声发射的损伤检测系统和方法，以便于检测工业设备的内部结构是否被实时损坏，从收集的声发射信号中有效地去除不必要的噪声并分析信号。使用声发射的损伤检测系统包括附接到内部结构的不同点的多个感测单元（10），以感测包括声发射信号和声振动信号的物体信号，用于滤波和放大的放大器单元（20）对象信号，用于处理和分析对象信号的信号处理单元（30），以及用于指示信号处理单元的处理结果并提供用户界面环境的接口单元（40）。

14. 发明公开

KR1020060080562A 생체정보 영상장치 및 방법 有权
标题翻译：用于形成显示关于主题的信息的图像的方法和装置
公开(公告)号：KR1020060080562A
公开(公告)日：2006-07-10
申请号：KR1020060046474
申请日：2006-05-24
申请人： 가부시끼가이샤 도시바
发明人： 가나야마쇼이치 , 이츠미가즈히로
IPC分类号： A61B8/08
CPC分类号： G01N29/12 , A61B5/0062 , A61B5/0091 , A61B5/0095 , A61B5/4312 , A61B5/7232 , A61B8/0825 , A61B8/4416 , A61B8/5261 , G01N21/1702 , G01N21/255 , G01N29/0609 , G01N29/0672 , G01N29/46 , G01N2021/1787 , G01N2201/0826 , G01N2291/02475 , G01N2291/0258 , G01N2291/02809
摘要： 피검생체 내부에 조사(照射)된 광에너지에 기초하여 발생하는 음향신호를 수집하여 피검생체의 생체정보를 영상화하는 생체정보 영상장치에 관한 것으로서, 피검생체에 특정 파장성분의 광을 조사하는 광조사부, 상기 광조사부에 의해서 조사된 광에 의해서 상기 피검생체의 내부에서 발생된 음향파를 수집하고 그것을 전기신호로 변환하는 전기음향변환부, 상기 전기음향변환부에 의해서 얻어진 상기 수신신호를 기초로 제 1 영상데이터를 생성하는 영상데이터생성부, 상기 피검생체에 초음파를 송신하여 얻어진 초음파 반사신호를 수집하여 그것을 전기신호로 변환하는 전기음향변환부, 상기 전기음향변환부에 의해서 얻어진 상기 수신신호를 기초로 제 2 영상데이터를 생성하는 영상데이터생성부, 및 상기 제 1 및 제 2 영상데이터를 결합하여 그 결과 데이터를 표시하는 표시부를 구비하며, 인체 조직내의 물질농도의 분포와 형태적 특징을 조합하므로써 조직에 대한 특징부여를 더욱 잘 할 수 있고, 악성종양에 대해 보다 정확히 진단할 수 있도록 하는 장치 및 방법에 관한 것이다.

15. 发明公开

KR1020060006269A 진동자의 주파수 변화 측정에 의한 질량 측정 시스템 및방법 无效
标题翻译：使用频率移动检测振动器方法的质量测量系统
公开(公告)号：KR1020060006269A
公开(公告)日：2006-01-19
申请号：KR1020040055193
申请日：2004-07-15
申请人： 한국항공우주연구원
发明人： 백홍열 , 최해진 , 최기혁 , 김종우 , 김연규
IPC分类号： G01G3/16
CPC分类号： G01N29/12 , G01G3/13 , G01G17/08
摘要： The present invention relates to a mass measurement system and method capable of precisely measuring the mass of a sample in a gravity-free environment. The mass measurement system using measurement of frequency shift of a vibrator according to the present invention includes a vibrator vibrating at a predetermined resonance frequency with a mass of a sample added thereto, a frequency counter for measuring a resonance frequency of the vibrator caused by vibration, a standard mass database for storing therein known standard masses and standard mass frequency shifts corresponding to variation in the standard masses, and a main controller for calculating a sample mass frequency shift corresponding to the added sample mass on the basis of the resonance frequency received from the frequency counter, searching the standard mass frequency shifts stored in the standard mass database, comparing the calculated sample mass frequency shift with the searched standard mass frequency shifts, extracting a predetermined standard mass, outputting the extracted standard mass as the mass of the sample, and controlling the entire system. Accordingly, the present invention can precisely measure the mass of a small-sized sample, in particular, an animal sample, in a gravity-free environment.

16. 发明授权

KR101903471B1 3축 용접위치 보정기능을 구비한 관정용 연결구와 파이프의 용접 시스템 有权
公开(公告)号：KR101903471B1
公开(公告)日：2018-10-10
申请号：KR1020170176567
申请日：2017-12-20
申请人： (주)한결테크닉스
发明人： 김준영
IPC分类号： B23K31/02 , B23K37/053 , G01N29/06 , G01N29/12 , B23K101/06
CPC分类号： B23K31/02 , B23K37/053 , B23K2101/06 , G01N29/069 , G01N29/12
摘要： 본발명에따른본 발명에따른 3축용접위치보정기능을구비한관정용연결구와파이프의용접시스템은, 파이프를용접영역으로이송하는파이프이송장치와, 상기용접영역의좌우측에각각설치되어파이프를고정시키는바이스를구비한바이스모듈을포함한상태에서복수개의프레임이연결된베드타입의베이스; 연결구를이송하여상기파이프의단부에결합시키는연결구이송장치; 상기연결구와파이프의결합부위로이동하는용접암을매개로토치를이동시켜용접을수행하는용접로봇; 상기용접영역의하부에위치하는것으로서상기파이프가안착되는파이프안착부와, 상기파이프안착부를승강시키는제 1 보정부및, 상기파이프안착부의양 측단에기립된푸싱파트와상기푸싱파트를상기파이프의측면에접촉가능하게이동시키는제 2 보정부및, 상기파이프의양 단부각각에위치하여상기파이프의중공에원추돌기를삽입압박하는마운트보정부와, 상기제 1, 2 보정부및 상기마운트보정부의구동을각각제어하는보정구동부를구비한파이프위치보정장치;를포함하는것을특징으로한다.

17. 发明授权

KR101825363B1 진동막의 고유 주파수 획득 방법 및 시스템 有权
标题翻译：用于获取隔膜固有频率的方法和系统
公开(公告)号：KR101825363B1
公开(公告)日：2018-02-06
申请号：KR1020167025945
申请日：2015-04-01
申请人： 고어텍 인크
发明人： 치우,동 , 지앙,차오
IPC分类号： H04R7/12 , G01R23/02
CPC分类号： G01N29/12 , G01H3/00 , G01N2291/014 , H04R3/002 , H04R5/02 , H04R29/001
摘要： 본발명은, 구조캐비티와진동막에의해이루어지는밀폐공간을통해진동막의고유주파수를획득하는방법및 시스템을제공한다. 상기방법은, 밀폐공간내의측정주파수를선택하고, 외부에서입력되는전기신호를음향신호로변환시켜밀폐공간내로발송하고, 각측정주파수에서의음압을획득하는단계, 밀폐공간내의각 측정주파수에서의음압이동일해질때까지, 외부에서입력되는전기신호를조정하는단계, 조정된전기신호를음향신호로변환시켜진동막을진동시키는단계, 진동막이진동시 발생하는변위량을획득하는단계, 진동막이진동시 발생하는최대변위량에대응되는주파수를진동막의고유주파수로확정하는단계를포함한다. 상술한방법및 시스템을이용하면, 진동막이진동시 발생하는최대변위량을통해진동막의고유주파수를확정가능하며, 동시에진동막의고유주파수획득과정에서주위환경의간섭을받지않으므로, 획득결과의정확도가향상된다.
摘要翻译： 1。一种获取光圈固有频率的方法和系统，其特征在于，所述方法包括：在封闭空间中选择测试频点，将电信号转换为声信号，将声音导入所述封闭空间，获取声压每个测试频点的; 调整电信号直到每个测试频点的声压相同; 将调整的电信号转换成声信号; 获取由隔膜的振动产生的位移; 并将与振膜的最大位移对应的频率作为振膜的固有频率。通过采用该方法和系统，通过获取膜片的最大位移来确定膜片的固有频率。此外，获取膈肌的固有频率的过程不受周围环境的影响，因此获得的结果更准确。

18. 发明授权

KR101812949B1 원통형 오토 임팩트 해머링장치 有权
标题翻译：圆柱形自动冲击锤装置
公开(公告)号：KR101812949B1
公开(公告)日：2017-12-28
申请号：KR1020170135318
申请日：2017-10-18
申请人： 에이아이시스템즈 주식회사
发明人： 강준희 , 김진영 , 오수복 , 한종간
IPC分类号： G01N29/04 , G01N29/12
CPC分类号： G01N29/045 , G01N3/317 , G01N3/34 , G01N29/12
摘要： 본발명은오토임팩트해머링장치에관한것으로서, 원통형상으로형성되며상단이개방된케이싱(110)과;상기케이싱(110)의내부에수직하게배치되며제어부의제어신호에의해상하로승강되는솔레노이드축(121)이구비된솔레노이드구동부(120)와; 상기케이싱(110)의상부에구비되어시험대상을타격하는해머(130)와; 상기솔레노이드축(121)의상부에구비되며, 상단이상기해머(130)와결합되어상기솔레노이드축(121)의승강을상기해머(130)로전달하는해머승강부(140)와; 상기케이싱(110)의상부에결합되며상기해머(130)를승강가능하게수용하는상부캡(150)을포함하되, 상기솔레노이드축(121)의상단(121a)에는내부탄성부재(125)가결합되고, 상기해머승강부(140)는, 상기해머(130)의하부에결합되며, 내부에상기솔레노이드축(121)의상단(121a)과상기내부탄성부재(125)가수용되는내부탄성부재가압공간(141b)이형성된임팩트축(141)과; 상기임팩트축(141)의외부를감싸는임팩트축지지관(143)과; 상기임팩트축지지관(143)의외부를감싸며, 상기임팩트축지지관(143)과상기임팩트축(141)이상하로직선이동되도록지지하는리니어부시(145)와; 상기리니어부시(145)와내접하고, 상기케이싱(110)의내벽면에외접하게결합되어상기리니어부시(145)의위치를고정하는프런트커버(147)를포함하며, 상기솔레노이드축(121)과상기임팩트축(141)은상기내부탄성부재(125)에의해이격되게형성되고, 상기솔레노이드축(121)의상승에의해상기내부탄성부재(125)가압축되며상기임팩트축(141)을상승시키는것을특징으로한다.
摘要翻译：本发明涉及形成在圆筒形壳体110自动冲击锤击装置与所述顶部是开放的;被布置在垂直于壳体110，其由所述控制单元的控制信号升高上下的内部的螺线管轴螺线管驱动单元120，用于驱动螺线管121; 锤130，其安装在壳体110的上部以撞击测试对象; 螺线管轴121设置在衣服单位提供时，在组合与上锤移相器130，所述螺线管轴121锤升降单元140向钢uiseung传递到锤130和; 壳体110被联接到装单元，包括：顶帽150，其可容纳在锤130的提升，所述螺线管轴121服装级（121A），所述内侧弹性部件125被传递的总和并且，锤升降单元140联接至锤130，螺线管轴121服装内侧端部（121A）和所述内侧弹性部件125歌手内侧弹性部件推压，对下部释放冲击轴141的空间141b; 包围冲击轴（141）的外侧的冲击轴（143）; 围绕冲击轴支管143的外侧并以冲击轴支管143和冲击轴141直线运动的方式支承的直线衬套145，线性套管145 wanae接触，耦合暴露壳体110 uinae壁外面包括前盖147，用于固定线性衬套145，冲击和螺线管轴的位置121 通过螺线管轴121的升高，轴141与内弹性构件125间隔开，使得内弹性构件125被加压并且冲击轴141上升。的。

19. 发明公开

KR1020170100481A 진동 또는 음향 특성 분석에 기초한 웨이퍼 클램프 검출 审中-实审
标题翻译：基于振动或声学特性分析的晶圆钳位检测
公开(公告)号：KR1020170100481A
公开(公告)日：2017-09-04
申请号：KR1020177010195
申请日：2015-12-28
申请人： 액셀리스 테크놀러지스, 인크.
发明人： 사토,슈
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/683 , H01L21/66 , G01N29/09 , G01N29/12 , G01N29/24 , G01N29/34
CPC分类号： G01N29/34 , G01H13/00 , G01N29/09 , G01N29/12 , G01N29/2418 , G01N2291/014 , G01N2291/018 , G01N2291/028 , H01L21/67259 , H01L21/67288 , H01L21/6831 , H01L22/10
摘要： 클램핑디바이스의클램핑상태를검출하기위한작업대상물의클램핑상태검출시스템및 방법이제공된다. 클램핑표면을구비하는클램핑디바이스는작업대상물을클램핑표면에선택적으로클램프하도록형성된다. 클램핑디바이스는선택적으로반도체웨이퍼를파지하기위한정전척 또는기계적클램프일수 있다. 진동유도메커니즘이더 제공되고, 진동유도메커니즘은하나또는그 이상의클램핑디바이스와작업대상물을선택적으로진동시키도록형성된다. 진동감지메커니즘이또한제공되고, 진동감지메커니즘은하나또는그 이상의클램핑디바이스와작업대상물의진동을검출하도록형성된다. 클램핑상태의검출은고유공진주파수또는음향임피던스의천이와같은음향특성변화를이용하여작업대상물의상태를결정한다. 컨트롤러는클램핑표면에대한작업대상물의클램핑과관련된클램핑상태를결정하도록추가로형성된다. 클램핑상태는하나또는그 이상의클램핑디바이스와작업대상물의검출된진동과관련된다.
摘要翻译：提供了用于检测夹紧装置的夹紧状态的夹紧状态检测系统和方法。具有夹紧表面的夹紧装置构造成选择性地将工件夹紧到夹紧表面。夹紧装置可以可选地是用于夹持半导体晶片的静电卡盘或机械夹具。还提供了一种振动感应机构，其中该振动感应机构被配置为利用一个或多个夹持装置选择性地振荡该工件。还提供了振动感测机构，其中振动感测机构被配置为检测工件和一个或多个夹紧装置的振动。夹紧状态的检测使用诸如固有共振频率或声阻抗转变的声学特性的变化来确定工件的状态。控制器还被配置为确定与工件相对于夹紧表面的夹紧相关联的夹紧状况。夹紧条件与一个或多个夹紧装置和工件的检测到的振动有关。

20. 发明公开

KR1020170066458A 기상 증착법을 위한 층 두께 측정을 위한 장치 및 방법 审中-实审
标题翻译：用于气相沉积的层厚度测量的设备和方法
公开(公告)号：KR1020170066458A
公开(公告)日：2017-06-14
申请号：KR1020177011136
申请日：2015-10-08
申请人： 만쯔 씨아이쥐에스 테크놀로지 게엠바하
发明人： 갱맛티아스 , 피쉬미햐엘 , 셰퍼미햐엘 , 슈스터옌스 , 조르겐프라이랄프 , 푸르빈덴조지
IPC分类号： G01N29/02 , G01N29/036 , G01N29/12 , C23C14/54 , G01B7/06
CPC分类号： G01B17/025 , C23C14/24 , C23C14/542 , C23C14/546 , C23C16/52 , G01B7/066 , G01F1/662 , G01N29/022 , G01N29/036 , G01N29/12 , G01N2291/0256 , G01N2291/02854 , G01N2291/0426
摘要： 본발명은기상증착법에의해기판에도포되는것이가능한층의층 두께를측정하기위한방법및 측정장치에관한것으로서, 적어도하나의진동플레이트(50, 52)를구비하는측정헤드(30)와, 제1 단부(12a)에의해기상증착법을위해진공챔버(20)에가스전도또는증기전도방식으로결합되는것이가능하고, 대향하는제2 단부(12b)에의해상기측정헤드(30)에가스전도또는증기전도방식으로결합되는것이가능한추출섹션(12)을포함하고, 추출섹션(12)은적어도하나의가열부(16) 또는적어도하나의냉각부(18)를갖는다.
摘要翻译：本发明涉及一种用于测量可通过气相沉积方法施加到基底的层的层厚度的方法和测量设备，并且该方法和测量设备包括具有至少一个振动板（50,52）的测量头（30）有可能将气体传导或蒸气传导耦合到真空室20以通过一端12a进行气相沉积并且通过相反的第二端12b将气体传导或蒸气传导到测量头30 提取部分12具有至少一个加热部分16或至少一个冷却部分18.提取部分12可以是蒸汽传导系统。

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