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1. 发明授权

KR102439437B1 실리콘 로드에 존재하는 크랙의 검출 방법 有权
公开(公告)号：KR102439437B1
公开(公告)日：2022-09-02
申请号：KR1020170183808
申请日：2017-12-29
IPC分类号： G01N29/04 , G01N29/12 , G01N29/44 , G01N25/72 , G01J5/48
摘要： 실리콘로드의표면또는내부에존재하는크랙의존재및 크랙의위치를판별하기위한비파괴검사방법으로서, (a) 초음파발생기를이용하여소정의주파수를가지는초음파를상기실리콘로드일면에인가하고, (b) 상기실리콘로드타면에서감지되는초음파의주파수를측정하고, (c) 상기측정된초음파의주파수와참고주파수(reference frequency)를비교하여크랙의존재및/또는크랙의위치를판별하거나, 또는 (A) 열원을이용하여실리콘로드의일면에대해일부분을가열하고, (B) 열감지부를이용하여실리콘로드의타면에서실리콘표면및 내부의온도를측정하고, (C) 상기측정된온도와참고온도(reference temperature)를비교하여크랙의존재및/또는크랙의위치를판별하는크랙의존재및/또는크랙의위치를판별하는방법을제공한다.

2. 发明授权

KR102323836B1 객체 손상 검사 장치 및 이를 이용한 객체 손상 검사 방법 有权
公开(公告)号：KR102323836B1
公开(公告)日：2021-11-08
申请号：KR1020200033665
申请日：2020-03-19
IPC分类号： G01N29/04 , G01N29/12 , G01N29/44 , G01P15/08
摘要： 본발명은객체손상검사장치및 이를이용한객체손상검사방법에관한것으로, 본발명에따른객체손상검사장치는시험객체를고정하는고정부, 제어에의해가진패턴을설정하고, 설정된가진패턴에따라상기고정된시험객체의일측에물리적힘을가하는가진기, 상기시험객체의일 부위에접하며, 상기물리적힘에의해상기시험객체에서생성된진동신호를수집하는센서및 상기센서에의해수집된진동신호를주파수도메인신호로변환한시험객체측정주파수신호와기 산출된기준객체에대한기준객체측정주파수신호를기초로상기시험객체의물리적손상여부를검출하는손상검출기를포함하되, 상기손상검출기는상기시험객체측정주파수신호와기준객체측정주파수신호사이의코히어런스값을산출하는코히어런스산출부및 상기산출된코히어런스값을기초로상기시험객체의물리적손상여부를검출하는손상검출부를포함한다.

3. 发明公开

KR1020210064169A 실리콘 로드에 존재하는 크랙의 검출 방법 审中-实审
公开(公告)号：KR1020210064169A
公开(公告)日：2021-06-02
申请号：KR1020210067627
申请日：2021-05-26
申请人： 오씨아이 주식회사
发明人： 최고훈
IPC分类号： G01N29/04 , G01N29/12 , G01N29/44 , G01J5/48 , G01N25/72

4. 发明授权

KR102102502B1 바이오 센서 有权
公开(公告)号：KR102102502B1
公开(公告)日：2020-04-22
申请号：KR1020160165945
申请日：2016-12-07
申请人： 서울대학교산학협력단 , 기초과학연구원
发明人： 김대형 , 최승홍 , 현택환 , 이종하 , 조혜림 , 서현선
IPC分类号： G01N27/327 , G01N29/12

5. 发明授权

KR101960019B1 공진 구조물에 의해 출력이 향상된 자기 변형 트랜스듀서 및 트랜스듀서의 출력 향상 방법 有权
公开(公告)号：KR101960019B1
公开(公告)日：2019-07-04
申请号：KR1020170084403
申请日：2017-07-03
申请人： 서울대학교산학협력단
发明人： 김윤영 , 김기연
IPC分类号： G01N29/22 , G01N29/06 , G01N29/04 , G01N29/12

6. 发明公开

KR1020170096332A 배관 접합부 검사장치 审中-实审
标题翻译：水暖连接检查系统
公开(公告)号：KR1020170096332A
公开(公告)日：2017-08-24
申请号：KR1020160017577
申请日：2016-02-16
申请人： 김정호
发明人： 김정호
IPC分类号： G01M3/04 , G01M3/24 , G01N29/04 , G01N29/12
摘要： 배관접합부검사장치및 이를이용한검사방법은: 배관을타격하여음향가진을발생시키는타격부와, 타격부와이격배치되고, 타격부에서발생된음향가진을수신하는수신부및 수신부에수신된신호에대한주파수를분석하여불량여부를검출하는신호분석부를포함하는것을특징으로한다.
摘要翻译：使用检查装置，以及该管连接检验方法：对由所述接收单元和接收单元，用于将所述击打管产生在声学上，击球部分和击球部接收到的信号与在击打部产生的声音间隔开的接收以及信号分析单元，用于分析频率以检测是否存在缺陷。

7. 发明授权

KR101700985B1 기판 무결성을 결정하기 위한 비파괴적 신호 전파 시스템 및 방법 有权
标题翻译：非破坏性信号传播系统和确定基板完整性的方法
公开(公告)号：KR101700985B1
公开(公告)日：2017-01-31
申请号：KR1020117026424
申请日：2010-04-28
申请人： 램 리써치 코포레이션
发明人： 발코어존
IPC分类号： H01L21/66 , G01N29/12
CPC分类号： G01N29/11 , G01N29/075 , G01N29/2475 , G01N2291/044 , G01N2291/106 , G01N2291/2697 , H01L22/12
摘要： 본명세서에설명된다양한예시적인실시형태에서, 시스템및 관련방법은기판에서의하나이상의결함들을검출하기위한비파괴적신호전파에관한것이다. 이시스템은기판핸들링메커니즘과같은반도체프로세스툴 내부에설치될수 있다. 이시스템은하나이상의주파수를전기신호로부터적어도하나의기계적펄스로변환하도록구성된트랜스듀서를포함한다. 기계적펄스는기판핸들링메커니즘을통해서기판에커플링된다. 복수의센서들이, 트랜스듀서에대해원위에위치되고, 음향적으로또는기계적으로기판에커플링되도록구성된다. 복수의원위센서들은기계적펄스및 그펄스에대한임의의왜곡들을검출하도록또한구성된다. 신호분석기는검출된펄스및 그펄스에대한임의의왜곡들과베이스라인응답을비교하기위해복수의원위센서들에커플링된다.
摘要翻译：在本文描述的各种示例性实施例中，系统和相关联的方法涉及非破坏性信号传播以检测衬底中的一个或多个缺陷。该系统可以内置在诸如基板处理机构的半导体处理工具中。该系统包括被配置为将一个或多个频率从电信号转换成至少一个机械脉冲的换能器。机械脉冲通过基板处理机构耦合到基板。多个传感器位于换能器的远侧并且被配置为与声学或机械地耦合到基底。多个远端传感器还被配置为检测机械脉冲和对脉冲的任何失真。信号分析器耦合到多个远端传感器，以将检测到的脉冲和具有基线响应的脉冲的任何失真进行比较。

8. 发明公开

KR1020150138004A 적응형 어퍼쳐 페이즈드 어레이를 이용하는 노이즈 소스 디컴포지션 시스템 및 방법 审中-实审
标题翻译：噪声源分解系统和方法使用可适应的APERTURE相位阵列
公开(公告)号：KR1020150138004A
公开(公告)日：2015-12-09
申请号：KR1020150063655
申请日：2015-05-07
申请人： 더 보잉 컴파니
发明人： 제임스로버트,언더브린크 , 리온,브러스니악
IPC分类号： G01M15/14 , G01M15/02 , G01N29/12 , G01H17/00
CPC分类号： G01S3/80 , G01S5/20 , H04R2410/05 , H04R2430/20
摘要： 노이즈소스의특징을결정하는시스템및 방법. 마이크로폰들의제 1 어레이는노이즈소스의중심축에평행한라인을따라시작위치에서끝 위치로이동할수 있는플랫폼상에설치된다. 마이크로폰들의제 2 어레이는노이즈소스에관한여공간적으로떨어져고정된위치에설치된음향센서들을포함한다. 처리시스템은마이크로폰들의제 2 어레이로부터의제 2 정보와마이크로폰들의제 1 어레이로부터제 1 정보를처리한다. 처리시스템은제 1 어레이의각각분리된단계에서제 1 정보와제 2 정보를수집하고저장하고, 제 1 정보를공간적으로거르고, 제 2 정보에기초하여걸러진제 1 정보를처리하고캘리브레이트한다. 플라이오버테스트를위하여, 제 1 어레이는고정된위치에대신있다.
摘要翻译：本发明涉及一种用于确定噪声源的特性的系统和方法。第一阵列麦克风安装在平台上可从平行于噪声源的中心轴线的起始位置移动到终止位置的平台上。第二阵列麦克风包括安装在相对于噪声源的间隔开的固定位置的声音传感器。处理系统处理来自第一麦克风阵列的第一信息和来自第二麦克风阵列的第二信息。处理系统在第一阵列的每个离散步骤处收集并存储第一和第二信息，对第一信息进行空间过滤，并且基于第二信息处理和校准经滤波的第一信息。对于天桥测试，第一个阵列被保持在固定位置。

9. 发明公开

KR1020150124224A 냄새를 측정하는 후각 감지 장치 및 방법 审中-实审
标题翻译：感光传感装置和感光方法
公开(公告)号：KR1020150124224A
公开(公告)日：2015-11-05
申请号：KR1020140050802
申请日：2014-04-28
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 김태평 , 이시훈 , 알나이미,파라
IPC分类号： G01N5/02 , G01H13/00 , G01N29/12
CPC分类号： G01N33/0001
摘要： 본개시는냄새를측정하는후각감지장치및 방법에관한것이다. 이러한본 발명은후각감지장치의냄새측정방법에있어서, 적어도하나의센서를이용하여냄새를감지하는과정과, 모니터센서의카운트계수를이용하여현재온도를추정하는과정과, 상기냄새를감지한센서의카운트계수변화량을계산하는과정과, 상기계산된카운트계수변화량에온도변화에대한카운트계수를적용하여냄새를측정하는과정을포함할수 있다.
摘要翻译：本发明涉及一种用于感测气味的嗅觉感测装置和方法。用于感测气味的方法可以包括通过使用至少一个传感器来感测气味的过程，通过使用监视传感器的计数器系数估计当前温度的过程，计算感测器的传感器的计数器系数变化的处理气味，以及通过使用用于温度变化的计数器系数计算出的计数系数变化来测量气味的过程。

10. 发明授权

KR101120513B1 Non-touch Proper Vibration characteristics measurement device 有权
标题翻译：非接触正确的振动特性测量装置
公开(公告)号：KR101120513B1
公开(公告)日：2012-02-29
申请号：KR20090053380
申请日：2009-06-16
IPC分类号： G01M7/02 , G01N29/12 , G01N29/46
摘要： 본 발명은 비접촉식 구조물 고유진동 특성 측정장치에 관한 것으로서, 구조물에 진동을 가하는 가진수단;과, 상기 진동에 의해 발생하는 구조물의 고유진동수를 포함한 신호를 구조물과 이격된 위치에서 측정하는 측정수단;과, 상기 측정수단에 의해 측정된 신호를 입력받아 주파수 형태의 신호로 변환하여 출력하는 분석수단;을 포함하는 것을 특징으로 한다.
이에 의해, 구조물의 상기 고유진동 측정수단을 구조물과 이격시켜 위치하도록 함으로써 진동센서의 부착이 어려운 구조물에 대해서도 고유진동 특성을 용이하게 측정할 수 있다.
고유진동, 주파수, 공진모드

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