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1. 发明公开

KR1020090132598A 자동화라인에서 웨이퍼의 품질관리를 위한 방법 및 장치 有权
标题翻译：一种用于在线质量控制的方法和装置
公开(公告)号：KR1020090132598A
公开(公告)日：2009-12-30
申请号：KR1020097021304
申请日：2008-03-08
申请人： 오스타펜코, 세르게이
发明人： 오스타펜코,세르게이
IPC分类号： G01N29/04 , H01L21/66
CPC分类号： H01L22/12 , G01N29/045 , G01N29/12 , G01N29/348 , G01N29/4436 , G01N29/4445 , G01N2291/2697
摘要： A method and apparatus for in-line mechanical quality control of wafers, the method allows for fast detection of cracks including the determination of their size and position on a wafer. The method comprises steps of coupling the wafer and an actuator and exciting a superposition of ultrasonic vibrations in the wafer by sweeping the frequency of the actuator simultaneously around at least two predetermined resonance peaks, recording the resonance frequency, amplitude and bandwidth of resonant frequency curves and comparing that with the resonance frequency, amplitude and bandwidth of reference frequency curves recorded for a mechanically sound crack-free standard wafer. Based on the comparison a reject-accept command is generated using a statistical rejection algorithm.
摘要翻译：一种用于晶片的在线机械质量控制的方法和装置，该方法允许快速检测裂纹，包括其在晶片上的尺寸和位置的确定。该方法包括以下步骤：通过在至少两个预定的谐振峰值周围同时扫描致动器的频率，记录共振频率曲线的谐振频率，振幅和带宽，并且使谐振频率曲线的共振频率，幅度和带宽同时地将晶片和致动器耦合并激发超声振动的叠加，将其与针对机械无声无裂纹标准晶片记录的参考频率曲线的共振频率，幅度和带宽进行比较。基于比较，使用统计拒绝算法生成reject-accept命令。

2. 发明授权

KR101118148B1 자동화라인에서 웨이퍼의 품질관리를 위한 방법 및 장치 有权
标题翻译：用于在线质量控制晶片的方法和装置
公开(公告)号：KR101118148B1
公开(公告)日：2012-03-12
申请号：KR1020097021304
申请日：2008-03-08
申请人： 오스타펜코, 세르게이
发明人： 오스타펜코,세르게이
IPC分类号： G01N29/04 , H01L21/66
CPC分类号： H01L22/12 , G01N29/045 , G01N29/12 , G01N29/348 , G01N29/4436 , G01N29/4445 , G01N2291/2697
摘要： 자동화라인에서 웨이퍼의 기계적인 품질관리를 위한 방법 및 장치로서, 상기 방법은 웨이퍼 상의 사이즈 및 위치의 결정을 포함하는 크랙의 빠른 검출을 허용한다. 상기 방법은 웨이퍼를 액추에이터와 함께 커플링하는 단계, 적어도 두 개의 미리 설정된 공진 피크 주변에서 동시에 액추에이터의 주파수를 스위핑하여 웨이퍼의 초음파 진동의 중첩을 여기시키는 단계, 공진주파수, 진폭 및 대역폭을 기록하고, 기계적으로 음향 크랙이 없는 표준 웨이퍼를 위해 기록된 기준 주파수 곡선의 공진 주파수, 진폭 및 대역폭을 비교하는 단계를 포함한다. 비교를 기반으로 하여, 불량 및 양호 명령은 통계적인 불량 알고리즘을 사용하여 생성된다.

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