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11. 发明公开

KR1020070115972A 노광 장치 및 노광 방법 无效
标题翻译：曝光装置和曝光方法
公开(公告)号：KR1020070115972A
公开(公告)日：2007-12-06
申请号：KR1020077021403
申请日：2006-03-09
申请人： 후지필름 가부시키가이샤
发明人： 오카자키요지 , 이시카와히로미
IPC分类号： H01L21/027
CPC分类号： G03F7/70791 , G03F7/70275 , G03F7/70291 , G02B26/0833
摘要： An exposure apparatus (10) includes a light source unit (60) for emitting exposure light, a DMD (90) for performing spatial light modulation, based on an image signal, on the exposure light, an imaging optical system (50) for forming an image on a photosensitive material (12) with the exposure light on which spatial light modulation has been performed, and a pair (54) of wedge prisms for adjusting focus by changing the optical path length of the modulated exposure light when an image is formed on the photosensitive material (12) with the modulated exposure light. In the imaging optical system (50), distortion at a peripheral portion of a projection lens is increased, and optical performance of the lens at a region including a central portion is improved. An image is formed only by a substantially rectangular region of the projection lens, including the central portion, with the modulated exposure light.
摘要翻译：曝光装置（10）包括用于发射曝光光的光源单元（60），用于在曝光光上基于图像信号执行空间光调制的DMD（90），用于形成的成像光学系统（50）在已经进行了空间光调制的曝光光的感光材料（12）上的图像和用于通过改变形成图像时的调制曝光光的光程长度来调整焦点的楔形棱镜对（54）在具有调制的曝光光的感光材料（12）上。在成像光学系统（50）中，投影透镜的周边部分的变形增加，并且透镜在包括中心部分的区域处的光学性能提高。仅由包括中心部分的投影透镜的基本上矩形的区域形成图像，并且调制曝光光。

12. 发明公开

KR1020070068375A 묘화 방법 및 장치 无效
标题翻译：追踪方法和装置
公开(公告)号：KR1020070068375A
公开(公告)日：2007-06-29
申请号：KR1020077008631
申请日：2005-10-13
申请人： 후지필름 가부시키가이샤
发明人： 오자키타카오 , 오카자키요지
IPC分类号： G03F7/20 , G03B27/32 , H01L21/027
CPC分类号： G03F7/70791 , G03B27/32 , G03F7/70275 , G03F7/70291 , G03F7/70358 , G03F7/2057
摘要： A tracing method in which tracing is performed by moving a spatial optical modulation device in a predetermined scanning direction relative to a tracing surface is provided. The spatial optical modulation device includes multitudes of tracing elements for modulating inputted light according to control signals transferred in accordance with tracing information. The method allows the spatial optical modulation device to perform the modulation rapidly to reduce the tracing time. The special modulation device is divided into a plurality of blocks A to D, and the control signals for each of the blocks A to D are transferred to the blocks in parallel.
摘要翻译：提供了一种跟踪方法，其中通过相对于跟踪表面沿预定的扫描方向移动空间光学调制装置来执行跟踪。空间光调制装置包括根据跟踪信息传送的控制信号调制输入光的多个跟踪元件。该方法允许空间光调制装置快速执行调制以减少跟踪时间。特殊调制装置被分成多个块A至D，并且块A至D中的每一个的控制信号并行传送到块。

13. 发明公开

KR1020070064634A 묘화 방법 및 묘화 장치 无效
标题翻译：追踪方法和装置
公开(公告)号：KR1020070064634A
公开(公告)日：2007-06-21
申请号：KR1020077008548
申请日：2005-10-13
申请人： 후지필름 가부시키가이샤
发明人： 에지리테페이 , 오자키타카오 , 오카자키요지
IPC分类号： G03F7/20 , H01L21/027 , G03B27/32
CPC分类号： G03F7/70358 , G03F7/70275 , G03F7/70291
摘要： In a tracing method in which tracing is performed by moving a plurality of tracing heads, each including a spatial optical modulation device and an optics system, in a predetermined direction relative to a tracing surface, changes in the relative positional relationship of the tracing heads arising from changes in the environmental temperature are minimized. A plurality of spatial optical modulation devices 34a, 34b are provided in a single tracing head 30, and the light modulated by the plurality of spatial optical modulation devices 34a, 34b is focused on a tracing surface 12a using common optics systems 36, 37 and 38 to reduce the number of the heads 30.
摘要翻译：在追踪方法中，通过移动多个跟踪头（每个包括空间光学调制装置和光学系统）的跟踪头沿相对于跟踪表面的预定方向来执行跟踪，跟踪头的相对位置关系发生变化从环境温度的变化最小化。多个空间光学调制装置34a，34b设置在单个跟踪头30中，并且由多个空间光学调制装置34a，34b调制的光被聚焦在跟踪表面12a上，使用共同的光学系统36,37和38 以减少头30的数量。

14. 发明公开

KR1020070017026A 컬러필터 및 그 제조방법, 및 액정표시장치 无效
标题翻译：彩色滤光片及其制造方法及液晶显示装置
公开(公告)号：KR1020070017026A
公开(公告)日：2007-02-08
申请号：KR1020060073266
申请日：2006-08-03
申请人： 후지필름 가부시키가이샤
发明人： 하타케야마아키라 , 오카자키요지 , 사사키요시하루
IPC分类号： G03F7/00 , G02F1/1335
摘要： 포토마스크를 사용하는 일 없이, 선폭편차가 매우 적고, 고정밀하게 형성 가능하며, 화소 사이즈의 변동을 작게 할 수 있고, 저비용이며, 또한 표시특성이 뛰어난 컬러필터를 제조할 수 있는 제조방법을 제공한다.
기재의 표면에 바인더, 중합성 화합물, 및 광중합 개시제를 함유하는 감광성 조성물을 슬릿코터 도포해서 감광층을 형성하는 감광층 형성공정과, 광조사수단으로부터의 빛을 수광해서 패턴정보에 기초하여 변조하는 광변조수단에 의해, 상기 광조사수단으로부터의 빛을 변조시키고, 상기 광변조수단에 의해 변조된 빛을, 결상수단과 초점조절수단을 통해 상기 감광층의 피노광면상에 결상시킬 때의 초점을 자동적으로 맞추면서 노광을 행하는 노광공정을 적어도 포함하는 컬러필터의 제조방법, 및 상기 컬러필터의 제조방법에 의해 제조된 컬러필터이다.

15. 发明公开

KR1020040070091A 섬유 모듈 및 그 제조방법 无效
标题翻译：用光纤固定到包装的内部的纤维模块和其制造方法
公开(公告)号：KR1020040070091A
公开(公告)日：2004-08-06
申请号：KR1020040006239
申请日：2004-01-30
申请人： 후지필름 가부시키가이샤
发明人： 테라무라유이치 , 쿠라마치테루히코 , 오카자키요지
IPC分类号： G02B6/42
CPC分类号： G02B6/4248 , G02B6/02395 , G02B6/4206 , G02B6/4246 , G02B6/4249 , G02B6/4292
摘要： PURPOSE: A fiber module formed with an optical fiber fixed to an inner part of a package and a fabricating method thereof are provided to prevent contamination of a package due to a degassing element from a coating layer of the optical fiber and enhance the mechanical strength of the optical fiber by improving a structure of the fiber module. CONSTITUTION: A fiber module includes a package and an optical fiber. The package(1) has a sealing structure which is formed in an inside of the package. The optical fiber(5) has a cladding, first and second ends, and a predetermined length. The optical fiber is fixed to the package in such a manner that the first end of the optical fiber appears inside the package. The cladding is exposed in a vicinity of the second end. The optical fiber other than a part of the cladding in the vicinity of the second end is coated with at least one of a metal and an inorganic material.
摘要翻译：目的：提供一种由固定在封装内部的光纤形成的光纤模块及其制造方法，以防止由于来自光纤的涂层的脱气元件而导致的封装的污染，并且提高了光纤的机械强度光纤通过改善光纤模块的结构。规定：光纤模块包括封装和光纤。包装（1）具有形成在包装内部的密封结构。光纤（5）具有包层，第一端和第二端以及预定长度。光纤以这样的方式固定到封装件上，使得光纤的第一端出现在封装内。包层暴露在第二端附近。除了在第二端附近的包层的一部分之外的光纤被金属和无机材料中的至少一种涂覆。

16. 发明授权

KR101182698B1 묘화용 처리 회로, 이 묘화용 처리 회로를 사용한 묘화장치 및 묘화 방법 有权
标题翻译：图像记录处理电路，图像记录装置和使用图像记录处理电路的图像记录方法
公开(公告)号：KR101182698B1
公开(公告)日：2012-09-13
申请号：KR1020077024882
申请日：2006-04-28
申请人： 후지필름 가부시키가이샤
发明人： 스기타유키오 , 오카자키요지 , 오자키타카오
IPC分类号： G06K15/12 , G03F9/00 , G06K15/00
CPC分类号： G06K15/1252 , G03F7/70291
摘要： RIP으로부터 공급된 미러 순차 데이터는 중간 메모리(80)의 메모리 뱅크(M1 ~ M16)에 분한된 데이터로서 일시적으로 기억된다. 이후, 기억된 데이터는 블록에서 판독된다. 그리고, 전치 처리부(82)는 미러 순차 데이터의 행렬을 프레임 순차 데이터로 전치 처리하고 프레임 순차 데이터를 DMD 컨트롤러(42)고 공급한다.
RIP, 미러 순차 데이터, 중간 메모리, 전치 처리부, 프레임 순차 데이터, DMD 컨트롤러
摘要翻译：从RIP提供的镜像顺序数据作为分割数据临时存储在中间存储器的存储体中。此后，存储的镜像顺序数据以块为单位读取。然后，转置处理器将镜像序列数据的矩阵转置成帧顺序数据，并将帧顺序数据提供给DMD控制器。

17. 发明授权

KR100909819B1 레이저장치 失效
公开(公告)号：KR100909819B1
公开(公告)日：2009-07-28
申请号：KR1020060048904
申请日：2006-05-30
申请人： 후지필름 가부시키가이샤
发明人： 나가노카즈히코 , 오카자키요지 , 쿠라마치테루히코 , 야마나카후사오
IPC分类号： H01S5/00
CPC分类号： G02B6/4201 , G02B6/4206 , G02B6/424 , G02B6/4249 , G02B6/4254 , G02B6/4257 , G02B6/4273
摘要： 복수의 반도체 레이저소자와, 멀티모드 광섬유와, 복수의 반도체 레이저 소자로부터 각각 출사된 레이저빔을 집광하여 멀티모드 광섬유의 입사단에 결합시키는 집광광학계를 구비해서 이루어지는 레이저장치에 있어서, 저비용으로 높은 출력과 신뢰성을 얻는 것을 과제로 한다.
구리 또는 구리합금으로부터 이루어지는 히트블록(방열블록)(10)상에 배열 고정된 7개의 칩상태의 횡싱글모드 싱글캐비티 GaN계 반도체 레이저(LD1∼LD8)와, 콜리메이터렌즈(11)와, 집광렌즈(12)와, 1개의 멀티모드 광섬유(13)와, 멀티모드 광섬유(13)로 이루어지는 레이저장치의 광섬유의 출사단에 직육면체의 유리(14)가 융착되어 있다.
레이저장치, 광섬유, 집광광학계, 반도체

18. 发明授权

KR100903982B1 레이저장치 失效
标题翻译：激光装置
公开(公告)号：KR100903982B1
公开(公告)日：2009-06-25
申请号：KR1020060048892
申请日：2006-05-30
申请人： 후지필름 가부시키가이샤
发明人： 나가노카즈히코 , 오카자키요지 , 쿠라마치테루히코 , 야마나카후사오
IPC分类号： H01S5/00 , G02B27/00
CPC分类号： G02B6/4201 , G02B6/4206 , G02B6/424 , G02B6/4249 , G02B6/4254 , G02B6/4257 , G02B6/4273
摘要： 복수의 반도체 레이저소자와, 멀티모드 광섬유와, 복수의 반도체 레이저 소자로부터 각각 출사된 레이저빔을 집광하여 멀티모드 광섬유의 입사단에 결합시키는 집광광학계를 구비해서 이루어지는 레이저장치에 있어서, 저비용으로 높은 출력과 신뢰성을 얻는 것을 과제로 한다.
구리 또는 구리합금으로부터 이루어지는 히트블록(방열블록)(10)상에 배열 고정된 7개의 칩상태의 횡싱글모드 싱글캐비티 GaN계 반도체 레이저(LD1∼LD8)와, 콜리메이터렌즈(11)와, 집광렌즈(12)와, 1개의 멀티모드 광섬유(13)와, 멀티모드 광섬유(13)로 이루어지는 레이저장치의 광섬유의 출사단에 직육면체의 유리(14)가 융착되어 있다.
레이저장치, 광섬유, 집광광학계, 반도체

19. 发明公开

KR1020080034124A 패턴형성방법 无效
标题翻译：图案形成方法
公开(公告)号：KR1020080034124A
公开(公告)日：2008-04-18
申请号：KR1020087000936
申请日：2006-06-16
申请人： 후지필름 가부시키가이샤
发明人： 타카시마마사노부 , 코모리카즈키 , 이시카와히로미 , 오카자키요지 , 오모리토시히코
IPC分类号： H01L21/027
CPC分类号： G03F7/70791 , G03F7/033 , G03F7/70275 , G03F7/70291 , G03F7/2051 , G03F7/70075 , G03F7/70383 , G03F7/7055
摘要： Provided is a pattern forming method by which a fine pattern can be accurately formed by making a light quantity of each exposure unit uniform while suppressing cost, for exposure using a digital exposure apparatus having an exposure head wherein the exposure units are two-dimensionally distributed. The method at least includes a step wherein a photosensitive layer is irradiated with optical beams emitted from a light irradiation means, through a focusing optical system having a light distribution correcting means, and exposure is performed by irradiating the photosensitive layer with optical beams modulated by a light modulating means. In the pattern forming method, the exposure is performed by permitting light quantities of the optical beams applied on the light modulating means from the light irradiation means in an irradiation area to have distribution, and that the light quantity distribution of the optical beams modulated by the light modulating means is corrected to be uniform on the plane of the photosensitive layer to be exposed.
摘要翻译：提供了一种图案形成方法，通过使用具有曝光单元的二维分布的具有曝光头的数字曝光装置进行曝光，通过使每个曝光单元的光均匀化，同时抑制成本，可精确地形成精细图案。该方法至少包括一个步骤，其中通过具有光分布校正装置的聚焦光学系统照射从光照射装置发射的光束的感光层，并且通过用光调制的光束照射感光层来进行曝光光调制装置。在图案形成方法中，通过在照射区域中允许从光照射装置施加在光调制装置上的光束的光量具有分布来进行曝光，并且通过由光照射装置调制的光束的光量分布光调制装置被校正为要曝光的感光层的平面上均匀。

20. 发明授权

KR100796582B1 노광방법 및 장치 失效
标题翻译：曝光方法和曝光装置
公开(公告)号：KR100796582B1
公开(公告)日：2008-01-21
申请号：KR1020040113180
申请日：2004-12-27
申请人： 후지필름 가부시키가이샤
发明人： 오자키타카오 , 우에무라타카유키 , 오카자키요지 , 타카다노리히사 , 시모야마유지 , 나카야다이수케 , 수미카쯔토
IPC分类号： G02F1/13 , G02F1/136
CPC分类号： G03F7/70283 , G03F7/70291 , G03F7/70791
摘要： 본 발명은 저비용으로 포토레지스트에 대한 중간조(intermediate tone) 노광을 실현할 수 있는 노광방법을 얻는 것을 목적으로 한다.
공간 광변조소자에 의해 변조된 광(53)을 포토레지스트에 조사하여, 상기 포토레지스트를 소정 패턴으로 노광하는 노광방법에 있어서, 예컨대 부주사에 따라 포토레지스트의 동일 부분에 광(53)을 조사하는 회수가 바뀌도록 공간 광변조소자의 동작을 제어하여, 포토레지스트에 노광량이 2단계 이상으로 다른 노광영역을 형성한다.

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