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1. 发明公开

KR1020070017026A 컬러필터 및 그 제조방법, 및 액정표시장치 无效
标题翻译：彩色滤光片及其制造方法及液晶显示装置
公开(公告)号：KR1020070017026A
公开(公告)日：2007-02-08
申请号：KR1020060073266
申请日：2006-08-03
申请人： 후지필름 가부시키가이샤
发明人： 하타케야마아키라 , 오카자키요지 , 사사키요시하루
IPC分类号： G03F7/00 , G02F1/1335
摘要： 포토마스크를 사용하는 일 없이, 선폭편차가 매우 적고, 고정밀하게 형성 가능하며, 화소 사이즈의 변동을 작게 할 수 있고, 저비용이며, 또한 표시특성이 뛰어난 컬러필터를 제조할 수 있는 제조방법을 제공한다.
기재의 표면에 바인더, 중합성 화합물, 및 광중합 개시제를 함유하는 감광성 조성물을 슬릿코터 도포해서 감광층을 형성하는 감광층 형성공정과, 광조사수단으로부터의 빛을 수광해서 패턴정보에 기초하여 변조하는 광변조수단에 의해, 상기 광조사수단으로부터의 빛을 변조시키고, 상기 광변조수단에 의해 변조된 빛을, 결상수단과 초점조절수단을 통해 상기 감광층의 피노광면상에 결상시킬 때의 초점을 자동적으로 맞추면서 노광을 행하는 노광공정을 적어도 포함하는 컬러필터의 제조방법, 및 상기 컬러필터의 제조방법에 의해 제조된 컬러필터이다.

2. 发明公开

KR1020070073861A 노광 방법 및 장치 无效
标题翻译：曝光方法和装置
公开(公告)号：KR1020070073861A
公开(公告)日：2007-07-10
申请号：KR1020077010074
申请日：2005-10-27
申请人： 후지필름 가부시키가이샤
发明人： 사사키요시하루
IPC分类号： G03F7/20 , H05K3/00 , G03F1/00
CPC分类号： G03F7/2022 , G03F7/70425 , H05K3/0082 , H05K3/064
摘要： When a pattern is formed by exposure in a recording medium such as printed wiring board on which a photosensitive layer such as a resist layer is arranged, removal failure or easy separation of the photosensitive layer is prevented while maintaining adhesion of the photosensitive layer. Specifically, when a wiring pattern is exposed into a resist layer which is arranged on a substrate using an exposure apparatus (3), the irradiation energy of light illuminating the edge region of the wiring pattern is set larger than the irradiation energy of light illuminating regions other than the edge region.
摘要翻译：当通过在诸如布置有抗蚀剂层等感光层的印刷布线板的记录介质中曝光图案时，防止感光层的去除失效或容易分离感光层，同时保持感光层的粘附。具体地，当使用曝光装置（3）将布线图案曝光到布置在基板上的抗蚀剂层时，照射布线图案的边缘区域的光的照射能量被设定为大于照射区域的照射能量边缘区域除外。

3. 发明公开

KR1020070073891A 노광 장치 无效
标题翻译：曝光设备
公开(公告)号：KR1020070073891A
公开(公告)日：2007-07-10
申请号：KR1020077010448
申请日：2005-11-04
申请人： 후지필름 가부시키가이샤
发明人： 사사키요시하루
IPC分类号： H01L21/027
CPC分类号： G03F7/70866 , G03F7/70791 , G03F7/70983 , H05K3/0082 , G03F7/70991 , G03F7/2051 , G03F7/26
摘要： A photosensitive film is provided by laminating a photosensitive layer and a supporting body. A board-shaped laminated body is provided by bonding the side of the photosensitive layer on a substrate. At the time of exposing a prescribed pattern on the photosensitive layer of the board-shaped laminated body, reaction with oxygen in the photosensitive layer of the board-shaped laminated body from which the supporting body is peeled is made as small as possible. A peeling apparatus (180) for peeling the supporting body from a photosensitive material (150) is provided in exposure equipment (1). After peeling the supporting body from the photosensitive material (150) by the peeling apparatus (180), pattern exposure is immediately performed to the photosensitive material (150) by a scanner (162).
摘要翻译：通过层叠感光层和支撑体来提供感光膜。通过将感光层的一侧粘合在基板上来提供板状层叠体。在板状层叠体的感光层上露出规定图案时，尽可能地使支撑体剥离的板状层叠体的感光层中的氧与氧反应。在曝光设备（1）中设置有用于从感光材料（150）剥离支撑体的剥离装置（180）。通过剥离装置（180）将支撑体从感光材料（150）剥离后，通过扫描器（162）立即对感光材料（150）进行图案曝光。

4. 发明公开

KR1020070070209A 프린트 배선판의 제조 방법 및 장치 无效
标题翻译：印刷电路板生产方法和设备
公开(公告)号：KR1020070070209A
公开(公告)日：2007-07-03
申请号：KR1020077010835
申请日：2005-11-04
申请人： 후지필름 가부시키가이샤
发明人： 사사키요시하루
IPC分类号： G03F7/20 , H05K3/00 , H05K3/06
CPC分类号： G03F7/161 , G03F7/2012 , H05K1/0266 , H05K3/0073 , H05K3/0082 , H05K3/064 , H05K2201/09936 , H05K2203/163
摘要： In order to produce a printed circuit board while stabilizing the line width of a pattern, a laminator (2) laminates a resist layer on a substrate (K) and exposes information indicative of the date of lamination to the substrate (K). An exposure device (3) reads out the information on the date of lamination before exposure and judges whether the time elapsed after lamination falls within a predetermined hold time or not. If the judgment is negated, an operator is warned by the exposure device (3) that the time elapsed after lamination deviates from the predetermined hold time. Since a desired line width cannot be attained for that substrate (K), the operator can remove that substrate (K) from the exposure device (3).
摘要翻译：为了在稳定图案的线宽的同时制造印刷电路板，层压机（2）将基板（K）上的抗蚀剂层层叠，并将表示层压日期的信息暴露于基板（K）。曝光装置（3）在曝光之前读出层叠日期的信息，并判断层压后经过的时间是否落在预定的保持时间内。如果判断被否定，则曝光装置（3）警告操作者在层压之后经过的时间偏离预定的保持时间。由于对于该基板（K）不能获得期望的线宽，操作者可以从曝光装置（3）移除该基板（K）。

5. 发明公开

KR1020060052305A 노광 방법 및 장치 无效
标题翻译：曝光方法和装置
公开(公告)号：KR1020060052305A
公开(公告)日：2006-05-19
申请号：KR1020050102185
申请日：2005-10-28
申请人： 후지필름 가부시키가이샤
发明人： 사사키요시하루
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G03F7/2022 , G03F7/70425 , H05K3/0082 , H05K3/064
摘要： 본 발명은 레지스트층 등의 광에 감도를 갖는 감광층이 적층된 프린트 배선 기판 등의 기록 매체에 패턴을 노광할 때에, 감광층의 밀착성을 유지하면서도 감광층을 제거할 수 없거나, 감광층이 박리되기 쉬워지거나 하는 것을 방지하는 것을 과제로 한다.
이를 위해 노광 장치(3)에 의해 기판에 형성된 레지스트층에 배선 패턴을 노광할 때에 배선 패턴의 에지 영역에 조사되는 광 조사 에너지를 에지 영역 이외의 다른 영역에 조사하는 광 조사 에너지보다 크게 한다.
감광층, 에지영역, 기록매체, 광 빔

6. 发明公开

KR1020050041982A 프린트 배선판의 제조방법 无效
标题翻译：制造印刷电路板的方法
公开(公告)号：KR1020050041982A
公开(公告)日：2005-05-04
申请号：KR1020040087449
申请日：2004-10-29
申请人： 후지필름 가부시키가이샤
发明人： 사사키요시하루 , 사토모리마사
IPC分类号： H05K3/06
CPC分类号： H05K3/287 , G03F7/092 , H05K3/0076 , H05K3/027 , H05K3/064 , H05K3/26
摘要： 본 발명은 고해상도의 금속 배선패턴을 구비한 프린트 배선판을 얻는 것을 과제로 한다.
지지체상에 저감도의 제1감광층과 고감도의 제2감광층이 적층된 감광성 전사시트; 및 스루홀을 갖고, 표면이 금속층으로 덮여지고, 이 금속층의 표면조도가 0.01 내지 0.40㎛인 프린트 배선판 형성용 기판을 준비하는 공정, 기판 표면에, 감광성 전사시트를 제2감광층이 접하도록 압착해서 감광성 적층체를 얻는 적층공정, 적층체의 지지체측으로부터 기판의 배선패턴 형성영역에 제2감광층을 경화시키는 광량의 광을 조사하고, 그리고 기판의 스루홀의 개구부를 포함하는 영역에 제1감광층과 제2감광층을 함께 경화시키는 광량의 광을 조사해서 경화층 영역을 형성하는 노광공정, 지지체의 박리공정, 미경화의 감광층 영역을 용해 제거하는 현상공정, 금속층의 에칭공정, 그리고 경화층의 제거공정으로 이루어지는 프린트 배선판의 제조방법.

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