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11. 发明公开

KR1020130026809A 레이저 가공 장치 및 방법 无效
标题翻译：激光加工设备及其方法
公开(公告)号：KR1020130026809A
公开(公告)日：2013-03-14
申请号：KR1020110090208
申请日：2011-09-06
申请人： 주식회사 이오테크닉스
发明人： 권혁준 , 이동준
IPC分类号： B23K26/04 , B23K26/38
摘要： PURPOSE: A laser processing device and a method thereof are provided to control a position of a thickness direction of a light focusing point by changing an incidence angle of light of a condensing lens without moving the condensing lens. CONSTITUTION: A laser processing device comprises a laser generator(110), a condensing lens(130), and a zoom lens unit(400). The laser generator irradiates a laser beam. The condensing lens condenses the laser beam to the inside of a processed object, and includes a fixed position. The zoom lens unit changes inclination of the laser beam on an optical axis of the condensing lens by being located between the laser generator and the condensing lends and changes a position of a light focusing point. The zoom lends unit changes the laser beam into parallel light, minute convergence light, or minute emitted light according to the optical axis of the condensing lends. The zoom lends unit comprises a zoom lends moving along the optical axis and including minus power and a fixing lends which irradiates the parallel light, the minute convergence light, and the minute emitted light to the condensing lends according to the position of a moving lends and is located between the zoom lends and the condensing lends. [Reference numerals] (110) Laser generator; (130) Condensing lens; (400,400a) Zoom lens unit
摘要翻译：目的：提供一种激光加工装置及其方法，用于通过改变聚光透镜的光的入射角而不移动聚光透镜来控制光聚焦点的厚度方向的位置。构成：激光加工装置包括激光发生器（110），聚光透镜（130）和变焦透镜单元（400）。激光发生器照射激光束。聚光透镜将激光束冷凝到被处理物体的内部，并且包括固定位置。变焦透镜单元通过位于激光发生器和聚光位置之间改变聚光透镜的光轴上的激光束的倾斜度并改变聚焦点的位置。缩放单元根据聚光灯的光轴将激光束改变为平行光，微小会聚光或微小发射光。缩放单元包括变焦沿着光轴移动并且包括负功率和照射平行光的固定杆，微小会聚光和根据移动的放置位置的聚光的微小发光，位于缩放位置和冷凝位置之间。（附图标记）（110）激光发生器; （130）冷凝透镜; （400,400a）变焦镜头单元

12. 发明公开

KR1020100013624A 보조 가스를 이용한 레이저 가공 방법 有权
标题翻译：使用辅助气体的激光加工方法
公开(公告)号：KR1020100013624A
公开(公告)日：2010-02-10
申请号：KR1020080075235
申请日：2008-07-31
申请人： 주식회사 이오테크닉스
发明人： 이동준 , 김태현 , 이학용
IPC分类号： H01L21/78
CPC分类号： B23K26/123 , H01L21/67092
摘要： PURPOSE: A laser processing method using an assistance gas is provided to secure the intensity of a target by manufacturing the target repeatedly with a laser beam and removing the melt generated in real time. CONSTITUTION: A target is mounted in a stage and is loaded into a processing chamber. A control parameter including a polygon mirror rotation speed, a feeding speed of stage, a laser beam discharge condition, an assist gas spray condition is set(S101). The polygon mirror is rotated based on the control parameter(S103). The stage is moved to a predetermined direction(S105). A halogen compound assist gas is sprayed according to control parameter(S107). The laser beam is emitted and is projected on the polygon mirror according to the control parameter(S109). The laser beam reflected from the polygon mirror is projected on the target(S111).
摘要翻译：目的：提供一种使用辅助气体的激光加工方法，通过用激光束反复制造目标物并实时除去熔体，来确保靶材的强度。构成：目标装在舞台上并装入处理室。设置包括多面镜旋转速度，阶段的进给速度，激光束排出条件，辅助气体喷射状态的控制参数（S101）。多面镜基于控制参数旋转（S103）。将舞台移动到预定方向（S105）。根据控制参数喷涂卤素化合物辅助气体（S107）。激光束根据控制参数发射并投影在多面镜上（S109）。从多面反射镜反射的激光束投射在目标上（S111）。

13. 发明公开

KR1020100013623A 회절광학소자를 이용한 레이저 가공 장치 有权
标题翻译：激光加工设备使用衍射光学元件
公开(公告)号：KR1020100013623A
公开(公告)日：2010-02-10
申请号：KR1020080075234
申请日：2008-07-31
申请人： 주식회사 이오테크닉스
发明人： 이동준 , 김태현 , 이학용
IPC分类号： H01S3/10
CPC分类号： H01S3/101 , G02B13/0005 , H01S3/1026
摘要： PURPOSE: A laser processor using a diffractive optical element is provided to minimize a replacement operation of the diffractive optical element by dividing a laser beam into various intervals. CONSTITUTION: A controller(110) controls the entire operation. A laser generator(140) outputs a laser beam. A diffractive optical element divides the laser beam from the laser generator to a plurality of laser beams. An interval controller(160) controls a rotation angel of the diffractive optical element according to a set rotation angle. An optical system(170) concentrates the divided laser beams by the diffractive optical element. The optical system respectively concentrates the divided laser beam by the diffractive optical device. The optical system irradiates the concentrated laser beam to an object. An interval controller is comprised of the rotation stage or motorized goniometer.
摘要翻译：目的：提供使用衍射光学元件的激光处理器，以通过将激光束分成各种间隔来最小化衍射光学元件的替换操作。构成：控制器（110）控制整个操作。激光发生器（140）输出激光束。衍射光学元件将来自激光发生器的激光束分割成多个激光束。间隔控制器（160）根据设定的旋转角度控制衍射光学元件的旋转角度。光学系统（170）通过衍射光学元件集中分割的激光束。光学系统分别通过衍射光学装置集中分割的激光束。光学系统将浓缩的激光束照射到物体上。间隔控制器由旋转台或机动测角器组成。

14. 发明公开

KR1020100008889A 빔 분할 기능을 갖는 레이저 가공 장치 有权
标题翻译：具有光束分离功能的激光加工装置
公开(公告)号：KR1020100008889A
公开(公告)日：2010-01-27
申请号：KR1020080069503
申请日：2008-07-17
申请人： 주식회사 이오테크닉스
发明人： 이동준 , 이학용 , 김태현
IPC分类号： B23K26/06 , B23K26/70 , B23K26/00
摘要： PURPOSE: A laser processing apparatus with beam splitting function is provided to focus laser beams on a target part to be processed. CONSTITUTION: A laser processing apparatus with beam splitting function comprises a controller(110), a user interface(160), a memory(170), a laser generator(120), and a beam splitter(130). The laser processing apparatus more comprises a space adjusting unit(140) and an optical system(150). The controller controls the whole operation. The user interface inputs control parameter control commands including the adjustment amount of beam space and displays operating state. The laser generator outputs laser beam. The beam splitter splits the laser beam coming out from the laser generator into two or more. The space adjusting unit adjusts the gap among partitioned beams according to the adjustment amount of the beam space. The optical system emits a plurality of laser beams on objects.
摘要翻译：目的：提供具有分束功能的激光加工设备，用于将激光束聚焦在待加工的目标部件上。构成：具有分束功能的激光加工设备包括控制器（110），用户接口（160），存储器（170），激光发生器（120）和分束器（130）。激光加工装置还包括空间调节单元（140）和光学系统（150）。控制器控制整个操作。用户界面输入控制参数控制命令，包括光束空间的调整量，并显示操作状态。激光发生器输出激光束。分束器将从激光发生器出来的激光束分成两个或更多个。空间调整单元根据光束空间的调整量来调整分割光束之间的间隙。光学系统在物体上发射多个激光束。

15. 发明授权

KR100884629B1 레이저 가공 장치 및 방법 有权
标题翻译：激光加工设备及方法
公开(公告)号：KR100884629B1
公开(公告)日：2009-02-23
申请号：KR1020070078495
申请日：2007-08-06
申请人： 주식회사 이오테크닉스
发明人： 이동준 , 이학용 , 정원철 , 김태현
IPC分类号： H01L21/301 , H01L21/78 , H01S3/10
摘要： 레이저를 이용한 대상물 가공시 다이 강도를 보장할 수 있는 레이저 가공 장치 및 방법을 제시한다.
본 발명의 레이저 가공 장치는 레이저 발생 수단에서 출사되는 레이저 빔을 제 1 내지 제 3 레이저 빔으로 3분할하여, 제 1 레이저 빔을 대상물의 가공 라인에 조사하고, 제 2 및 제 3 레이저 빔을 가공 라인으로부터 지정된 거리 이격된 위치에 조사하는 빔 분할 수단을 포함하여, 다이강도를 향상시킬 수 있고, 이에 따라 대상물의 가공 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
다이 강도, 2차 가공

16. 发明公开

KR1020090010870A 레이저 빔 분할을 이용한 레이저 가공 장치 및 방법 有权
标题翻译：激光加工设备和使用光束分离的方法
公开(公告)号：KR1020090010870A
公开(公告)日：2009-01-30
申请号：KR1020080016162
申请日：2008-02-22
申请人： 주식회사 이오테크닉스
发明人： 이동준 , 박정래 , 이학용 , 권영훈
IPC分类号： H01L21/268 , H01L21/306
CPC分类号： B23K26/067 , B23K26/0608 , B23K26/0652 , B23K26/0676 , B23K26/0736 , B23K26/082 , B23K26/0821 , B23K26/364 , B23K26/40 , B23K2201/40 , B23K2203/172 , B23K2203/30 , B23K2203/50 , H01L21/268
摘要： A laser processing apparatus and method using beam split is provided to improve minimizing the resistance applied with the low dielectric material in the subsequent processes by removing reaming on the edge of a wafer. In a laser processing apparatus for processing the objects in which the low dielectric material is formed on the top. A laser generation unit emits the laser beam, and an optical system divides the laser beam coming out in the laser generation unit into two regions and scanned to the objects. The optical system is comprised of a pair of condensing lenses while being separated to be parallel to the central axis, and it controls the interval of two divided leaser same as that of two edges. The laser bema passed through the each lens is formed as an ellipse shape before being projected on the subject.
摘要翻译：提供使用光束分割的激光加工装置和方法，以通过移除晶片边缘上的铰孔来改善在随后的工艺中通过低介电材料施加的电阻的最小化。在用于处理其上形成有低介电材料的物体的激光加工装置中。激光发生单元发射激光束，并且光学系统将激光产生单元中出射的激光束分成两个区域并扫描到物体。光学系统由一对聚光透镜组成，同时被分离成平行于中心轴线，并且它控制与两个边缘相同的两个分开的激光器的间隔。穿过每个透镜的激光bema在被投射到被摄体之前形成为椭圆形。

17. 发明公开

KR1020170028092A 물체의 두께 또는 높이 변화를 측정하는 장치 및 방법 无效
标题翻译：用于测量物体的厚度或高度变化的装置和方法
公开(公告)号：KR1020170028092A
公开(公告)日：2017-03-13
申请号：KR1020150124937
申请日：2015-09-03
申请人： 주식회사 이오테크닉스
发明人： 이동준 , 현동원 , 김병오
IPC分类号： G01B11/06 , G01B11/24
CPC分类号： G01B11/06 , G01B11/24
摘要： 대상물체의상부에마련되어상기대상물체의두께나높이변화를측정하는장치및 방법이개시된다. 개시된다. 개시된측정장치는, 탐지광을방출하는광원; 상기탐지광을집속하여상기대상물체에조사하는광집속부; 상기대상물체의반사면으로부터나오는반사광의변화를검출하는것으로, 샤크-하트만센서를포함하는광센싱부; 및상기광센싱부에의해검출된상기반사광의변화를이용하여상기반사면의높이변화를계산하는연산부;를포함한다.
摘要翻译：公开了一种用于测量物体的厚度或高度的变化的装置和方法，该装置设置在物体的上部。所公开的测量装置包括：发射探测光的光源; 聚焦单元，其聚焦探测光并将其照射在物体上; 光检测单元，其包括Shack-Hartmann传感器并且检测来自所述物体的反射表面的反射光的变化; 以及计算单元，其通过使用由所述光检测单元检测到的反射光的变化来计算所述反射表面的高度的变化。

18. 发明公开

KR1020140066864A 레이저 가공 방법 및 이를 적용하는 장치 无效
标题翻译：激光加工方法和采用该方法的装置
公开(公告)号：KR1020140066864A
公开(公告)日：2014-06-03
申请号：KR1020120133150
申请日：2012-11-22
申请人： 주식회사 이오테크닉스
发明人： 이동준 , 현동원 , 정회민 , 이감명
IPC分类号： B23K26/06 , H01L21/301
摘要： Provided are a laser processing method and a device thereof. The laser processing method includes a step of forming a laser beam which travels along a traveling axis; a step of forming a long horizontal laser beam having a long horizontal rectangular cross section, which has different widths in a first direction and a second direction different from the first direction, by controlling the shape of the cross section of the laser beam; and a step of processing a workpiece by concentrating the long horizontal laser beam on the workpiece and forming a beam spot with a certain size.
摘要翻译：提供了一种激光加工方法及其装置。激光加工方法包括形成沿行进轴行进的激光束的步骤; 通过控制激光束的横截面的形状，形成具有长的水平矩形横截面的长水平激光束的步骤，其具有在第一方向和与第一方向不同的第二方向上的不同宽度; 以及通过将长水平激光束集中在工件上并形成具有一定尺寸的光束点来处理工件的步骤。

19. 发明授权

KR101037646B1 빔 분할 기능을 갖는 레이저 가공 장치 有权
标题翻译：具有光束分离功能的激光加工设备
公开(公告)号：KR101037646B1
公开(公告)日：2011-05-27
申请号：KR1020080069503
申请日：2008-07-17
申请人： 주식회사 이오테크닉스
发明人： 이동준 , 이학용 , 김태현
IPC分类号： B23K26/06 , B23K26/70 , B23K26/00
摘要： 분할된 레이저 빔 간의 간격을 자동으로 제어할 수 있는 빔 분할 기능을 갖는 레이저 가공 장치를 제시한다.
본 발명에 의한 레이저 가공 장치는 전체적인 동작을 제어하기 위한 제어부,빔 간격 조절량을 포함하는 제어 파라미터 및 제어 명령을 입력하고, 작동 상태를 표시하기 위한 사용자 인터페이스, 데이터 저장을 위한 메모리, 제어부의 제어에 따라 지정된 구경의 레이저 빔을 출력하기 위한 레이저 발생부, 레이저 발생부로부터 출사되는 레이저 빔을 적어도 둘로 분할하는 빔 분할부, 빔 간격 조절량에 따라 기 빔 분할부를 구동하여 분할 빔의 간격을 조절하기 위한 간격 조절부 및 간격 조절부의 제어에 따라 빔 분할부에서 지정된 간격을 갖도록 분할된 복수의 레이저 빔을 각각 집속시켜 대상물로 조사하기 위한 광학계를 포함한다.
레이저, 분할, 간격

20. 发明授权

KR101010601B1 보조 가스를 이용한 레이저 가공 방법 有权
标题翻译：使用辅助气体的激光加工方法
公开(公告)号：KR101010601B1
公开(公告)日：2011-01-24
申请号：KR1020080075235
申请日：2008-07-31
申请人： 주식회사 이오테크닉스
发明人： 이동준 , 김태현 , 이학용
IPC分类号： H01L21/78
摘要： 레이저 가공시 발생하는 용융물을 제거하기 위한 보조 가스를 이용한 레이저 가공 방법을 제시한다.
본 발명에 의한 레이저 가공 방법은 가공 대상물을 스테이지에 안착시키고 가공 챔버 내로 로딩하는 단계, 폴리곤 미러 회전속도, 스테이지 이송속도, 레이저 빔 방출 조건, 보조가스 분사 조건을 포함하는 제어 파라미터를 설정하는 단계, 제어 파라미터를 참조하여 폴리곤 미러를 회전시키고, 스테이지를 지정된 방향으로 이송하는 단계, 제어 파라미터에 따라 할로겐 화합물 보조가스를 분사하는 단계, 제어 파라미터에 따라 레이저 빔을 방출하여 폴리곤 미러로 조사하는 단계 및 폴리곤 미러에서 반사된 레이저 빔을 집광하여 대상물에 조사하는 단계를 포함하여, 용융물 발생률을 감소시키고, 이러한 용융물을 실시간으로 제거할 수 있어 다이 강도를 향상시킬 수 있다.
레이저 가공, 할로겐 화합물

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