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1. 发明专利

JP5373284B2 Method and apparatus for measuring electrical characteristics in the torsional resonance mode 有权
公开(公告)号：JP5373284B2
公开(公告)日：2013-12-18
申请号：JP2007527509
申请日：2005-05-21
申请人：ブルカーナノインコーポレイテッドBruker Nano,Inc.
发明人：フアン、リン , ス、シャンミン
IPC分类号： G01Q60/32 , G01Q10/00 , G01Q30/18 , G01Q60/30 , G01Q60/40 , G01Q60/48 , G01R27/04 , G01R27/32 , G01R31/302
CPC分类号： G01Q60/30 , G01Q10/065 , G01Q60/32 , G01Q60/40 , G01Q60/48
摘要： The preferred embodiments are directed to a method and apparatus of operating a scanning probe microscope (SPM) including oscillating a probe of the SPM at a torsional resonance of the probe, and generally simultaneously measuring an electrical property, e.g., a current, capacitance, impedance, etc., between a probe of the SPM and a sample at a separation controlled by the torsional resonance mode. Preferably, the measuring step is performed while using torsional resonance feedback to maintain a set-point of SPM operation.

2. 发明专利

JP2013058288A Inspection method of magnetic head element and inspection apparatus thereof 审中-公开
标题翻译：磁头元件检查方法及其检测装置
公开(公告)号：JP2013058288A
公开(公告)日：2013-03-28
申请号：JP2011197145
申请日：2011-09-09
申请人： Hitachi High-Technologies Corp , 株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人： TOKUTOMI TERUAKI , SATO TAKESHI , HIDA AKIRA , SAITO NAOYA , MATSUSHITA NORIMITSU
IPC分类号： G11B5/455 , G01Q30/18 , G01Q60/50
CPC分类号： G01Q60/54 , G01R33/1207
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To measure a two-dimensional distribution of magnetic field formed by each of magnetic head elements formed on a row bar of a magnetic head, without being affected by the external environment.SOLUTION: The magnetic head element inspection apparatus inspects the effective track width of a write track of each of magnetic heads of a row bar including a large number of the magnetic heads formed thereon. The magnetic head element inspection apparatus comprises: an anti-vibration table part for preventing vibrations from being transmitted from the outside, on which a tray part, a stage part, a sample receiving and delivering part, a magnetic field measurement part and an effective track width measurement part are placed; and an anti-noise part which covers the tray part, the stage part, the sample receiving and delivering part, the magnetic field measurement part, the effective track width measurement part and the anti-vibration table part to prevent noises from being transmitted from the outside.
摘要翻译：要解决的问题：测量由形成在磁头的行杆上的每个磁头元件形成的磁场的二维分布，而不受外部环境的影响。解决方案：磁头元件检查装置检查包括形成在其上的大量磁头的行棒的每个磁头的写入磁道的有效磁道宽度。磁头元件检查装置包括：用于防止振动从外部传递的防振台部件，托盘部件，台部件，样品接收和传送部件，磁场测量部件和有效轨道放置宽度测量部件; 以及覆盖托盘部，台部，样本接收输送部，磁场测量部，有效轨迹宽度测量部和防振台部的防噪声部，以防止噪声从外。版权所有（C）2013，JPO＆INPIT

3. 发明专利

JP4914580B2 Scanning probe microscope 有权
公开(公告)号：JP4914580B2
公开(公告)日：2012-04-11
申请号：JP2005179385
申请日：2005-06-20
申请人：エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社
发明人：誠人伊與木
IPC分类号： G01Q30/02 , G01Q10/02 , G01Q30/18 , G01Q60/24
CPC分类号： G01Q30/025

4. 发明专利

JP4833329B2 Raster mode scanning device to compensate for the disturbing effects of mechanical vibrations on the scanning process 有权
公开(公告)号：JP4833329B2
公开(公告)日：2011-12-07
申请号：JP2009256181
申请日：2009-11-09
申请人：ハイラントペーター
发明人：ハイラントペーター
IPC分类号： G01Q10/06 , G01N37/00 , G01Q30/18 , G01Q70/04 , G02B21/00 , G05B11/36
CPC分类号： G01Q10/06 , G01Q30/18 , G01Q70/04 , H01J2237/0216 , Y10S977/851

5. 发明专利

JPWO2006090593A1 走査型プローブ顕微鏡用変位検出機構およびこれを用いた走査型プローブ顕微鏡有权
公开(公告)号：JPWO2006090593A1
公开(公告)日：2008-07-24
申请号：JP2007504662
申请日：2006-02-10
申请人：エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社
发明人：伊與木　誠人 , 誠人伊與木 , 浩令山本 , 浩令山本
IPC分类号： G01Q10/00 , G01Q10/04 , G01Q20/00 , G01Q30/18 , G01Q70/02
CPC分类号： G01Q20/00 , G01Q10/04 , G01Q30/18 , G01Q70/02
摘要：試料やカンチレバーの上方や下方に対物レンズや照明系を配置しても、迅速かつ高精度に測定することができる走査型プローブ顕微鏡用変位検出機構およびこれを含む走査型プローブ顕微鏡を提供することを課題とする。カンチレバー20を支持する支持部22と、反射面14に光を照射する光源部114と、前記反射面14によって反射された光を受光する受光部121とを備え、この受光部121の受光位置によってカンチレバー20の変位を検出する走査型プローブ顕微鏡用変位検出機構112において、前記カンチレバー20の後端部が、前記支持部22に固定され、上面視して前記カンチレバー20の長さ方向に延びるY軸と、前記反射面14を通り前記Y軸と直交する方向に延びるX軸とによって区画される領域A,B,C,Dのうち、前記カンチレバー20の先端側の領域B,Cの上方から、前記X軸およびY軸に対して傾けて前記反射面14に前記光を入射させるようにした。

6. 发明专利

JP3917000B2 Probe scanning device 有权
公开(公告)号：JP3917000B2
公开(公告)日：2007-05-23
申请号：JP2002133041
申请日：2002-05-08
申请人：エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社
发明人：順紘佐藤 , 昭彦本間 , 隆一松崎
IPC分类号： G01Q10/00 , G01Q10/02 , G01Q10/04 , G01Q30/18
CPC分类号： G01Q70/04

7. 发明专利

JP3889181B2 The movable stage apparatus 有权
公开(公告)号：JP3889181B2
公开(公告)日：2007-03-07
申请号：JP10563499
申请日：1999-04-13
申请人：エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社
发明人：芳春菅野
IPC分类号： G12B5/00 , G01Q10/02 , G01Q30/18 , G02B21/26 , G05D3/00

8. 发明专利

JP3766870B2 Micro-force measuring device 有权
公开(公告)号：JP3766870B2
公开(公告)日：2006-04-19
申请号：JP2003106235
申请日：2003-04-10
申请人：独立行政法人情報通信研究機構
发明人：ブレナーベルンハルト , 大岩和弘 , 小嶋寛明
IPC分类号： G01N21/64 , G01L1/00 , G01Q30/02 , G01Q30/18 , G01Q60/00 , G01Q60/24 , G01Q60/38 , G01Q80/00 , G02B21/32

9. 发明专利

JP2005321391A Near-field optical microscope using dielectric resonator 审中-公开
标题翻译：使用介质谐振器的近场光学显微镜
公开(公告)号：JP2005321391A
公开(公告)日：2005-11-17
申请号：JP2005133523
申请日：2005-04-28
申请人： Industry-Univ Cooperation Foundation Sogang Univ , 西江大学校産学協力団
发明人： LEE KIE JIN , KIM JOO YOUNG , YOO HYUN JUN , YANG JONG IL , KIM SONG HUI
IPC分类号： G01B5/28 , G01Q10/00 , G01Q30/04 , G01Q30/18 , G01Q60/18 , G01Q60/22 , G02B21/00 , H01P7/10 , G01N13/14 , G12B21/06
CPC分类号： G01Q60/22 , B82Y20/00 , B82Y35/00
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a microwave near-field optical microscope for improving the sensitivity and resolution, by connecting a probe to a dielectric resonator and minimizing the influence of the temperature and the external environment. SOLUTION: The near-field optical microscope utilizing the dielectric resonator comprises a wave source for adjusting the frequency of the output waves; the dielectric resonator for freely adjusting the resonance frequency, impedance, Q factors, and electromagnetic wave modes, while the waves emitted from the wave source advance; the probe for irradiating a sample with waves that advance through the dielectric resonator; a distance adjustment section for maintaining the distance between the probe and the sample at a prescribed value, by measuring the distance between the probe and the sample; and a detection section for detecting the waves that have mutually interacted with the sample, after being propagated through the probe and then advance through the probe and the dielectric resonator. COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI
摘要翻译：要解决的问题：通过将探头连接到介质谐振器并最小化温度和外部环境的影响，提供用于提高灵敏度和分辨率的微波近场光学显微镜。解决方案：利用介质谐振器的近场光学显微镜包括用于调节输出波频率的波源; 介质谐振器，用于自由调节共振频率，阻抗，Q因子和电磁波模式，同时波源发射的波前进; 用于通过介电谐振器前进的波浪照射样品的探针; 距离调节部，通过测量探头与样本之间的距离，将探头和样品之间的距离保持在规定值; 以及检测部，用于在传播通过探针然后前进通过探针和介质谐振器之后检测与样品相互作用的波。版权所有（C）2006，JPO＆NCIPI

10. 发明专利

JP2005283189A Scanning probe microscope and measuring method using it 有权
标题翻译：扫描探针显微镜和使用它的测量方法
公开(公告)号：JP2005283189A
公开(公告)日：2005-10-13
申请号：JP2004094101
申请日：2004-03-29
申请人： Sii Nanotechnology Inc , エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社
发明人： WATANABE MASASHI , ANDO KAZUNORI
IPC分类号： G01Q30/20 , G01B5/28 , G01Q20/02 , G01Q30/08 , G01Q30/10 , G01Q30/12 , G01Q30/16 , G01Q30/18 , G01N13/10
CPC分类号： G01Q20/02 , G01Q30/12 , G01Q80/00
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a scanning probe microscope capable of irradiating a sample with light, without moving the sample from the scanning probe microscope and capable of measuring a sample in a state with the enviroment in which the sample is placed is controlled, without changing the position of the sample. SOLUTION: The scanning probe microscope is equipped with a cantilever having a probe provided to the leading end thereof, a sample moving means for moving the sample, a detachable cantilever displacement detection means for detecting the displacement of the cantilever by a laser, and an exposure means for exposing the sample to light from the part above the cantilever. The cantilever displacement detecting means can be detached independetly at the exposure to the sample. COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI
摘要翻译：要解决的问题：为了提供能够用光照射样品的扫描探针显微镜，而不使样品从扫描探针显微镜移动并且能够在放置样品的环境的状态下测量样品是控制，而不改变样品的位置。解决方案：扫描探针显微镜配备有悬臂，其具有设置在其前端的探针，用于移动样品的样品移动装置，用于通过激光检测悬臂的位移的可拆卸悬臂位移检测装置，以及用于将样品暴露于来自悬臂上方的部分的光的曝光装置。悬臂位移检测装置可以在暴露于样品时独立地分离。版权所有（C）2006，JPO＆NCIPI

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