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    • 4. 发明专利
    • 金属皮膜の成膜装置およびその成膜方法
    • 金属涂层膜沉积的装置和方法
    • JP2016169399A
    • 2016-09-23
    • JP2015048021
    • 2015-03-11
    • トヨタ自動車株式会社
    • 平岡 基記柳本 博佐藤 祐規
    • C25D5/00C25D21/04C25D17/00
    • C25D17/002C25D17/12C25D3/00C25D5/04C25D5/08C25D7/123
    • 【課題】欠陥の少ない均一な膜厚の金属皮膜Fを安定して成膜することができる金属皮膜Fの成膜装置1Aを提供する。 【解決手段】成膜装置1Aは、陽極11と、陽極11と基材Bとの間に配置される固体電解質膜13と、陽極11と基材Bとの間に電圧を印加する電源部14と、を備える。成膜装置1Aには、陽極11と固体電解質膜13との間に、金属イオンを含む電解液Lが陽極11と固体電解質膜13とに接触するように電解液Lを収容する液収容部15aが形成されている。成膜装置1Aは、固体電解質膜13を基材Bに接触させた状態で、陽極11を振動させる振動部31を備える。 【選択図】図1
    • 要解决的问题:提供一种金属涂层F的薄膜沉积装置1A,可以进行具有均匀膜厚度的较少有缺陷的金属涂层F的稳定成膜沉积。溶液:膜沉积装置1A具有:正极 11; 布置在正电极11和基材B之间的固体电解质膜13; 以及在正电极11和基材B之间施加电压的电源部分14.在成膜装置1A上,存储电解液L的溶液储存部15a,使得含有金属离子的电解液L与正极 电极11和固体电解质膜13形成在正极11和固体电解质膜13之间。成膜装置1A包括使固体电解质膜13与 基材B.选定图:图1