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1. 发明专利

JP6270067B2 真空ポンプ装置の作動パラメータの調節方法および調節装置有权
公开(公告)号：JP6270067B2
公开(公告)日：2018-01-31
申请号：JP2015512114
申请日：2013-04-23
申请人：エドワーズリミテッド
发明人：ターナーニール , タッターソールジャックレイモンド
IPC分类号： H01L21/31 , H01L21/205 , C23C16/44
CPC分类号： F04C25/02 , F04C23/005 , F04C28/02 , F04C28/28 , F04C2220/30 , F04D19/046 , F04D27/00 , F04D27/005 , F05C2251/04 , Y10T137/0324 , Y10T137/86083

2. 发明专利

JP6016584B2 ロードロック装置有权
公开(公告)号：JP6016584B2
公开(公告)日：2016-10-26
申请号：JP2012246327
申请日：2012-11-08
申请人：東京エレクトロン株式会社
发明人：原正道 , 宮下哲也
IPC分类号： H01L21/677
CPC分类号： F16K51/02 , H01L21/67201 , Y10T137/86083

3. 发明专利

JP5542440B2 Device for conveying the waste stream 有权
公开(公告)号：JP5542440B2
公开(公告)日：2014-07-09
申请号：JP2009523351
申请日：2007-07-19
申请人：エドワーズリミテッド
发明人：イアンディヴィッドストーンズ
IPC分类号： C23C14/00 , C23C14/34 , C23C16/44
CPC分类号： C23C16/4412 , C23C14/56 , C23C14/564 , C23C16/54 , Y10T137/8593 , Y10T137/86083 , Y10T137/86163

4. 发明专利

JP2013528744A Transporter 有权
公开(公告)号：JP2013528744A
公开(公告)日：2013-07-11
申请号：JP2013514605
申请日：2011-03-29
申请人：フリデコアクチェンゲゼルシャフトFrideco Ag
发明人：スタール、カール
IPC分类号： F04D13/16 , F04D29/42
CPC分类号： F17D1/14 , F04D15/0027 , F04D29/4273 , F04D29/708 , Y10T137/86083
摘要：本発明による、運搬速度が自動制御される運搬装置は、ポンプ装置（２）、吸引容器（３）及び吸引槽（４）を備え、吸引容器（３）は、オーバーフロー縁（３ｇ）を介して、および吸引容器（３）内に接線方向に開口する入口経路（３ｂ）を介して吸引槽（４）に連結する吸引スペース（３ｈ）を含み、ポンプ装置（２）は吸引パイプ（２ｃ）および吸引パイプ（２ｃ）と流体が連通するように連結された遠心ポンプ（２ａ）を含み、吸引パイプ（２ｃ）は上方から吸引容器（３）の内部に突き出ており、入口経路（３ｂ）は、遠心ポンプ（２ａ）の回転方向（Ｓ２）と一致する配置で吸引容器（３）内に開口しており、吸引パイプ（２ｃ）は連結パイプ（２ｅ）を介して遠心ポンプ（２ａ）に連結されており、連結パイプ（２ｅ）は、吸引パイプ（２ｃ）に対し４５°〜１３５°の間の角度αで伸びる部分（２ｎ）を有する。部分（２ｎ）は壁を貫通していることが有利である。遠心ポンプ（２ａ）および吸引パイプ（２ｃ）は、別個のスペースに配置されていることが特に有利である。

5. 发明专利

JP2013524001A A method and apparatus for replenishing the evaporator chamber 审中-公开
公开(公告)号：JP2013524001A
公开(公告)日：2013-06-17
申请号：JP2013500492
申请日：2011-03-23
申请人：サン−ゴバングラスフランス
发明人：ボーガー，ライムント , ヤーンケ，アンドレアス , ゲツツエ，トーマス
IPC分类号： C23C14/24
CPC分类号： F16L53/001 , C23C14/246 , C23C14/56 , F16L53/00 , F17D1/00 , Y10T137/0318 , Y10T137/6416 , Y10T137/86083
摘要：蒸発器チャンバを連続的に補充する方法であって、
ａ．固体材料（１）は真空ロック（１９）を通じて真空チャンバ（３）内に搬送され、真空チャンバ（３）は液体材料（１）のみを透過させる隔壁（２８）を有しており、
ｂ．材料（１）は、真空チャンバ（３）の加熱ジャケット（２９）によって液化するまで真空チャンバ（３）内で加熱され、
ｃ．材料（１）は、廃液管（２１）および接続チャネル（２０）を通じて蒸発器チャンバ（８）の内部の受け（９）内に搬送される。

6. 发明专利

JP4785326B2 Double Pendoramu valve assembly 有权
公开(公告)号：JP4785326B2
公开(公告)日：2011-10-05
申请号：JP2002506335
申请日：2001-06-21
申请人：エムケーエスインスツルメント,インコーポレーテッド
发明人：メイハー，ジョセフ，アスハースト，ジュニア
IPC分类号： F04B39/10 , F16K3/04 , F16K3/06 , F16K3/10 , F16K31/04 , F16K31/524 , F16K31/53
CPC分类号： F16K3/06 , F16K3/10 , Y10T137/0318 , Y10T137/86083 , Y10T137/87917 , Y10T137/87981

7. 发明专利

JP4678604B2 Vacuum generating unit 有权
公开(公告)号：JP4678604B2
公开(公告)日：2011-04-27
申请号：JP2007201149
申请日：2007-08-01
申请人： Smc株式会社
发明人：雅之大島 , 喜弘深野
IPC分类号： F04F5/20
CPC分类号： F04F3/00 , F04F5/02 , Y10T137/86083

8. 发明专利

JP2010234298A Device for supplying water containing dissolved gas and method for producing water containing dissolved gas 审中-公开
标题翻译：用于供应含水的气体的装置和用于生产含水的溶解气体的方法
公开(公告)号：JP2010234298A
公开(公告)日：2010-10-21
申请号：JP2009086343
申请日：2009-03-31
申请人： Kurita Water Ind Ltd , 栗田工業株式会社
发明人： TOKOSHIMA HIROTO , SEO KEITA
IPC分类号： B01F1/00 , B01F5/06 , B08B3/08 , H01L21/304
CPC分类号： B08B3/08 , B01F3/04269 , B01F15/0022 , B01F15/00344 , B01F2003/04404 , B01F2215/0096 , Y10T137/0318 , Y10T137/8158 , Y10T137/86083
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a device for supplying water containing dissolved gas and a method for producing the water containing the dissolved gas, capable of stably supplying dissolved-gas-containing water having a low dissolved-gas concentration (low degree of saturation).
SOLUTION: Oxygen gas is supplied from a gas supply piping 31 into a gas-phase chamber 13, and a vacuum pump 35 is operated simultaneously therewith to evacuate the gas-phase chamber 13. Also, raw water is supplied from a raw-water piping 21 into a liquid-phase chamber 12. Some of oxygen within the gas-phase chamber 13 permeates a gas-permeable film 11 and dissolves in the raw water within the liquid-phase chamber 12, and the water containing the dissolved gas is produced. The remainder of the oxygen within the gas-phase chamber 13 is sucked with the vacuum pump 35 together with condensed water and discharged from a discharge piping 33. The dissolved-oxygen concentration of the water containing the dissolved gas is measured with a dissolved-gas meter 23, and the degree of opening of a gas flow control valve 32 is regulated so that the measured concentration becomes a target value.
COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：提供一种用于供给含有溶解气体的水的装置和含有溶解气体的水的制造方法，能够稳定地供给溶解气体浓度低的溶解性气体的水（低度的饱和度）。解决方案：将氧气从供气配管31供给到气相室13中，并与真空泵35同时运转，对气相室13进行排气。此外，原水从原料 - 水管道21进入液相室12.气相室13内的一些氧气透过透气膜11并溶解在液相室12内的原水中，并且含有溶解气体的水生产。气相室13内的余下的氧气与冷凝水一起被吸入真空泵35并从排出管道33排出。含有溶解气体的水的溶解氧浓度用溶解气体仪表23，并且调节气体流量控制阀32的开度，使得测量的浓度成为目标值。版权所有（C）2011，JPO＆INPIT

9. 发明专利

JP2009167808A Fuel tank structure 有权
标题翻译：燃油箱结构
公开(公告)号：JP2009167808A
公开(公告)日：2009-07-30
申请号：JP2008003549
申请日：2008-01-10
申请人： Aisan Ind Co Ltd , Toyota Motor Corp , トヨタ自動車株式会社 , 愛三工業株式会社
发明人： SUDA SUSUMU , USUI TAKAYUKI , MASAKI HIROSHI
IPC分类号： F02M37/18 , F02M37/00
CPC分类号： B60K15/03 , B60K15/00 , B60K15/077 , B60K2015/03105 , B60K2015/03118 , B60K2015/03125 , F02M37/0094 , Y10T137/86075 , Y10T137/86083
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a fuel tank structure capable of suppressing the outflow of fuel from a return pipe, improving the fuel transfer performance of a jet pump and suppressing a backflow of the fuel via a transfer pipe. SOLUTION: Both lowest parts 56B constituted in a main suction 46 and the return pipe 56 being a part of a fuel send-out pipe 44 are positioned under the lowest liquid level LL in a reserve cup 42, and can maintain a state of always existing in the fuel. A fuel discharge port 66E of the jet pump 66 is positioned above the highest liquid level LH in the reserve cup 42, and always positioned above the fuel in the reserve cup 42. COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：提供一种能够抑制来自回流管的燃料流出的燃料箱结构，提高喷射泵的燃料转移性能并抑制燃料经由输送管的回流。解决方案：在主吸入口46中构成的最低部分56B和作为燃料发出管44的一部分的返回管56位于储备杯42内的最低液位LL的下方，并且可以保持状态总是存在于燃料中。喷射泵66的燃料排出口66E位于储备杯42中的最高液面LH上方，并且始终位于储备杯42中的燃料上方。（C）2009年，JPO和INPIT

10. 发明专利

JP2003532283A A method and apparatus for adjusting the atmosphere in the process chamber 审中-公开
公开(公告)号：JP2003532283A
公开(公告)日：2003-10-28
申请号：JP2001579047
申请日：2001-04-20
申请人：アルカテル
发明人：シユバリエ，エリツク , ソガン，グロリア , ベルナール，ロラン
IPC分类号： C23C16/44 , G05D16/20 , G05D27/02 , H01L21/00 , H01L21/205
CPC分类号： H01L21/67017 , C23C16/4412 , G05D16/2073 , G05D27/02 , Y10T137/6969 , Y10T137/86083 , Y10T137/86139
摘要： (57)【要約】本発明は、一次ポンプ３、二次ポンプ２、一次ポンプの速度を制御する手段６、７、および一次ポンプ３の上流側で引き出された気体を分析し、第１の分析信号１０を作り出すように構成される少なくとも第１の気体分析手段９を使用して、プロセスチャンバ１内の雰囲気を調整する方法に関する。第１の信号処理手段６は、処理の過渡段階中のプロセスチャンバ１内の圧力の変化を決定するために、第１の分析信号１０に基づき、排気速度を制御する。したがって、プロセスチャンバ１内の堆積および擾乱、および排気ライン内の堆積が回避され、そのため、二次ポンプ２は、プロセスチャンバ１の非常に近くに設置できる。

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