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1. 发明专利

KR102237186B1 KR102237186B1 - Vacuum gate valve 有权
公开(公告)号：KR102237186B1
公开(公告)日：2021-04-07
申请号：KR1020190116269A
申请日：2019-09-20
申请人： (주)엔투텍
发明人： 송성태 , 하정우
IPC分类号： F16K31/44 , F16K3/02 , F16K3/316 , F16K27/04 , F16K31/04 , F16K51/02
CPC分类号： F16K31/44 , F16K27/04 , F16K3/0254 , F16K3/3165 , F16K31/04 , F16K51/02
摘要： 본 발명은 밸브몸체부와 하우징부와 개폐부와 구동부를 구비한 진공 게이트 밸브에 관한 것으로서, 구동부는, 일방에 설치된 액추에이터와, 전후진 구동력을 전달하는 링크커넥터와, 제1 힌지축을 개재해서 회전지지되도록 설치되는 제1 링크편와, 개폐부에 힌지결합되는 제2 링크편과, 개폐부의 후진시 접촉하여 완충하고 전진시 접촉하여 가압하는 접촉편을 포함하는 것을 특징으로 한다. 따라서, 본 발명은 구동부로서 액추에이터와 링크기구와 접촉편을 구비함으로써, 개폐구동부의 개폐구동시 링크기구에 접촉편을 설치하여 개폐부를 1개 이상의 면접촉 지점에서 가압 및 완충 지지하면서 구동력을 전달하여 동력전달 성능을 향상시키는 동시에 개폐구동을 향상시킬 수 있는 효과를 제공한다.

2. 发明专利

KR102225162B1 KR102225162B1 - Air-valve unit for vacuum system 有权
公开(公告)号：KR102225162B1
公开(公告)日：2021-03-09
申请号：KR1020200074986A
申请日：2020-06-19
申请人： (주)브이텍
发明人： 조호영
IPC分类号： F16K51/02 , F16K31/02 , F16K31/12 , F16K37/00
CPC分类号： F16K51/02 , F16K31/02 , F16K31/12 , F16K37/0025
摘要： 본 발명은 진공 시스템용 에어-밸브 유닛에 관한 것이다. 이 밸브 유닛은 외부 배기공간의 압력을 감지하여 전자밸브 온/오프 신호를 출력하는 제어부를 포함함으로써, 배출 홀에 대한 에어의 공급 및 차단을 능동적으로 제어할 수 있도록 구성된다. 또한, 상기 밸브-유닛은 바람직하게 복수의 홀과 전자밸브를 구성하고 상기 제어부에 의하여 각 홀의 출구 개폐가 제어되도록 함으로써, 예컨대 진공 생성라인의 증설 또는 생성/파기 라인의 병용 등이 가능해진다.

3. 发明专利

JP2018189231A 光センサを有する眞空バルブ审中-公开
公开(公告)号：JP2018189231A
公开(公告)日：2018-11-29
申请号：JP2018041462
申请日：2018-03-08
申请人：バットホールディングアーゲー
发明人：アンドレアス・ホーファー , クリストフ・ベーム , アードリアン・エッシェンモーザー
IPC分类号： F16K51/02 , F16K51/00 , G01N21/3563 , G01N21/27 , H01L21/02 , F16K37/00
CPC分类号： F16K3/18 , F16K3/10 , F16K37/0025 , F16K37/0041 , F16K37/0058 , F16K37/0091 , F16K51/02 , H01L21/67017
摘要：【課題】最適化された弁の保守を可能にし、ひいては可能なプロセス停止時間の改善、すなわち低減を可能にするところの改良された眞空バルブシステムを提供する。【解決手段】眞空バルブ40’を備える眞空バルブシステムであって、眞空バルブは、弁開口部42を実質的にガス密方法で閉鎖するための弁閉鎖体41と弁座を有し、第1のシール面45は、弁座に設けられ、第2のシール面48は、弁閉鎖体に設けられる。眞空バルブシステムは、光学的センサユニット60、70を有し、光学的センサユニットは、シール面の材料組成又は材料組成の変化を検出可能な光学的測定信号を検出されうるように配向されている。【選択図】図2b

4. 发明专利

JP6388182B1 ゲートバルブの取付構造有权
公开(公告)号：JP6388182B1
公开(公告)日：2018-09-12
申请号：JP2017143480
申请日：2017-07-25
申请人： SMC株式会社
发明人：下田洋己 , 小川浩司
IPC分类号： F16K27/04
CPC分类号： F16K3/314 , F16K27/003 , F16K27/044 , F16K51/02
摘要：【課題】2つのチャンバ間に複数のゲートバルブを取付けるにあたり、より優れた気密性を確保することが可能な該ゲートバルブの取付構造を提供する。【解決手段】隣接するゲートバルブの弁箱間に形成された固定用空間24において弁箱の各突壁25,26をチャンバ5に固定するバルブ固定機構32を、固定用空間の中央でチャンバに固定された支持部材33と、その両側に配された一対のレバー部材37とから構成し、一対のレバー部材はそれぞれ、支点部、作用点部及び力点部を固定用空間の中央から両端の開口に向けて順次有し、支持部材に支点部が支持された状態で力点部が固定用操作ボルト40によって加力されることにより、作用点部と力点部との双方において、弁箱の突壁をチャンバに向けて押圧している。【選択図】図6

5. 发明专利

JP2018523070A バルブ审中-公开
公开(公告)号：JP2018523070A
公开(公告)日：2018-08-16
申请号：JP2018500659
申请日：2016-07-27
申请人：バットホールディングアーゲー
发明人：フリードリッヒガイザー , アントンノイマイヤー , リコローナー
IPC分类号： F16K31/44 , F16K51/02 , F16K3/18
CPC分类号： F16K3/14 , F16K3/0254 , F16K3/12 , F16K3/184 , F16K3/186 , F16K3/314 , F16K3/3165 , F16K51/02
摘要：本発明のバルブ(1)、特に真空バルブは、くさび形状の閉塞部分(3)を有する閉塞部材(2)と、バルブ開口部(4)を取り囲むバルブシート(5)と、を備えている。くさび形状の閉塞部分(3)が記閉塞部材(2)の閉位置においてバルブシート(5)に封止状態で当接してバルブ開口部(4)を閉塞し、かつ、開位置においてバルブ開口部(4)を通じて流体および/または固体を搬送するためにバルブ開口部(4)を開放する。くさび形状の閉塞部分(3)を有する閉塞部材(2)が閉位置および開位置の間で往復運動するように運動軌道(6)に支持されている。運動軌道(6)が屈曲または湾曲している。【選択図】図15

6. 发明专利

JP2018112262A 真空バルブ、真空ポンプおよび真空排気システム审中-公开
公开(公告)号：JP2018112262A
公开(公告)日：2018-07-19
申请号：JP2017003444
申请日：2017-01-12
申请人：株式会社島津製作所
发明人：中村雅哉 , 小崎純一郎 , 中谷敦夫 , 平田伸幸
IPC分类号： F16K17/36 , F04B37/16 , F16K31/04
CPC分类号： F04D27/002 , F04D19/048 , F04D25/06 , F04D27/001 , F04D29/403 , F16K3/04 , F16K3/06 , F16K31/041 , F16K51/02 , H01L21/67017
摘要：【課題】真空ポンプの状況に応じたバルブ動作を行うことができる真空バルブの提供。【解決手段】真空バルブは、開閉駆動されるバルブプレートと、バルブプレートを開閉駆動するバルブ駆動部と、真空ポンプの動作状態を表すポンプ情報信号が入力される通信端子133と、入力されたポンプ情報信号に基づいてバルブ動作を制御するバルブ制御部13と、を備える。【選択図】図3

7. 发明专利

JP2018112260A 真空バルブ审中-公开
公开(公告)号：JP2018112260A
公开(公告)日：2018-07-19
申请号：JP2017003442
申请日：2017-01-12
申请人：株式会社島津製作所
发明人：田口竜大
IPC分类号： F16K51/02 , F16K3/10
CPC分类号： F16K3/207 , F16K3/0281 , F16K3/06 , F16K3/10 , F16K51/02
摘要：【課題】封止体が不意に不所望な位置(例えば、傾斜姿勢となる位置)に移動することを防止する真空バルブの提供。【解決手段】真空バルブ1は、対向する一対の開口部を通過する気体の流路が形成された筐体2と、流路に挿脱されて流路の開口面積を制御する弁体8と、流路が弁体で閉鎖されるときに弁体8を押動する封止体7と、封止体7を気体の上流方向と下流方向に駆動する封止体駆動部70Xと、封止体7の気体下流方向への移動を規制位置で禁止する規制部B1を有するメカニカルストッパーM1とを備える。メカニカルストッパーM1は、封止体7の気体下流側への移動を規制位置で禁止する第1位置と、規制位置から気体下流側である非規制位置へ封止体が移動することを許可する第2位置との一方に選択的に移動可能に配置されている。【選択図】図7

8. 发明专利

JP6358727B1 仕切弁有权
公开(公告)号：JP6358727B1
公开(公告)日：2018-07-18
申请号：JP2018514485
申请日：2017-10-03
申请人：株式会社アルバック
发明人：和田慎一 , 井上英晃 , 古瀬晴邦 , 和出拓也 , 猿渡治郎 , 鐸木幹也 , 徳平真之介
IPC分类号： F16K3/18 , F16K51/02 , F16K3/06
CPC分类号： F16K3/06 , F16K3/18 , F16K51/02
摘要：本発明の仕切弁は、中空部と、前記中空部を挟み互いに対向するように設けられて連通する流路となる第1開口部及び第2開口部とを有する弁箱と、前記弁箱の前記中空部内に配置され前記第1開口部を閉塞可能な中立弁体と、前記中立弁体を前記第1開口部に対して閉塞状態にする弁閉塞位置と、前記中立弁体を前記第1開口部から退避した開放状態にする弁開放位置との間で、前記中立弁体を動作する位置切り替え部として機能し、流路方向に延在する軸線を有する回転軸と、を具備する。前記中立弁体は、前記位置切り替え部に接続される中立弁部と、前記中立弁部に対して前記流路方向における位置が変更可能に接続される可動弁部と、を有する。前記可動弁部は、前記可動弁部に周設され前記第1開口部の周囲の弁箱内面に密着されるシール部が設けられるとともに前記中立弁部に対して前記流路方向における位置が変更可能に接続される第1可動弁部と、前記第1可動弁部に対して前記流路方向に摺動可能とされる第2可動弁部と、を有する。本発明の仕切弁は、前記弁箱に内蔵されている複数の第1付勢部と、前記第1可動弁部と前記第2可動弁部との間に配されている第2付勢部と、第3付勢部とを備える。前記第3付勢部は、前記第1可動弁部を前記中立弁部に対して前記流路方向における位置が変更可能に接続するとともに、前記第1可動弁部を前記流路方向における中央位置に向けて付勢する。複数の前記第1付勢部は、前記第1可動弁部を前記流路方向において前記第1開口部に向けて付勢して前記シール部を前記第1開口部の周囲の弁箱内面に密着可能とする機能を有する。前記第2付勢部は、前記第1可動弁部と前記第2可動弁部との前記流路方向における厚み寸法を、調整が可能なように駆動する。

9. 发明专利

JP2018516341A 四角ゲート真空バルブ、その作動方法及びこれを備えた半導体製造装置审中-公开
公开(公告)号：JP2018516341A
公开(公告)日：2018-06-21
申请号：JP2016562866
申请日：2015-05-26
申请人：フュジェンカンパニー,リミテッド
发明人：アン,ヒジュン
IPC分类号： H01L21/02 , F16K3/18 , F16K3/00
CPC分类号： F16K3/18 , F16K3/0218 , F16K11/044 , F16K11/052 , F16K11/20 , F16K27/044 , F16K51/02 , H01L21/02 , H01L21/67017 , H01L21/67126
摘要：【課題】同一の空間内で両側のゲートに対するシーリング動作が可能であるので、限定された空間内で両側のゲートシーリングが必要な半導体工程に効果的に対応することができる四角ゲート真空バルブ、その作動方法及びこれを備えた半導体製造装置を提供する【解決手段】本発明は、四角ゲート真空バルブ及びその作動方法、そしてそれを備える半導体製造装置に関し、四角ゲート真空バルブは、相互に対向される両側面に、第1ゲートと第2ゲートが形成されるゲートフレームと、前記ゲートフレームの下部開口を通じて、前記ゲートフレーム内へ直線移動可能または回転可能に配置され、前記第1ゲートを選択的に開閉する第1バルブユニットと、及び前記ゲートフレームの上部開口を通じて、前記ゲートフレーム内へ直線移動可能または回転可能に配置され、前記第2ゲートを選択的に開閉する第2バルブユニットを含む。【選択図】図3

10. 发明专利

JP2018515720A バルブ审中-公开
公开(公告)号：JP2018515720A
公开(公告)日：2018-06-14
申请号：JP2017545752
申请日：2016-03-10
申请人：バットホールディングアーゲー
发明人：クラウスアルブレヒト
IPC分类号： F16K27/00 , F16K51/02 , F16K27/04 , F16K3/18
CPC分类号： F16K3/0236 , F16K1/12 , F16K3/0263 , F16K3/029 , F16K3/04 , F16K3/06 , F16K3/12 , F16K3/18 , F16K3/188 , F16K25/005 , F16K51/02
摘要：バルブシート(4)は、バルブ(1)または真空バルブのバルブ開口部(5)を取り囲む。閉塞要素(3)は、少なくとも1つの開位置および閉位置の間で少なくとも1つの閉塞要素駆動機構(6)(7)によって駆動される。開位置において、閉塞要素(3)が、バルブ開口部(5)を少なくとも部分的に開放する。閉位置において、バルブ開口部(5)を閉じるため、閉塞要素(3)がバルブシート(4)に対して押し付けられる。バルブ(1)のうち少なくとも一部の表面(9)は、0.4μm以下、好ましくは0.25μm以下の平均表面粗さRZを有している。【選択図】図2

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