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    • 2. 发明专利
    • 排ガス処理方法および排ガス処理装置
    • 废气处理方法以及废气处理装置
    • JPWO2013145867A1
    • 2015-12-10
    • JP2014507485
    • 2013-02-05
    • 株式会社村田製作所
    • 敦 瀬川敦 瀬川大原 隆隆 大原
    • F23G7/07B01D53/86F23G7/06
    • B01F5/0688B01D53/885B01F3/02B01F5/0606B01F5/0616B01F15/00175B01F15/00344B01F2005/0639F23G7/06F23G7/07
    • 触媒の劣化を抑制しつつ、排ガスに含まれる有機成分を効率よく除去することが可能な排ガス処理方法および排ガス処理装置を提供する。被処理ガスを加熱する加熱処理室1と、加熱処理室1で加熱処理された加熱処理ガスに空気を混合する空気混合部2と、空気混合ガスを触媒と接触させて処理する触媒処理室3とを備えた構成とする。また、触媒処理室3に送られる空気混合ガスを攪拌して、空気混合ガスを均一化する攪拌機構23を備えた構成とする。また、触媒処理室3の手前で空気混合ガスの温度を検出する温度検出手段22と、温度検出手段22により検出される温度に応じて、空気混合部2で加熱処理ガスに混合される空気の量を制御する制御弁21とを備えた構成とする。
    • 而抑制催化剂的劣化,提供了一种能够将有机成分高效地除去废气处理方法和包含在所述废气中的废气处理装置。 用于加热气体的加热室1的待处理,并且空气混合单元2,用于将空气混入热处理热处理过的气体加热室1中,催化处理室3,用于处理的空气混合气体与催化剂接触 有门的结构。 另外,空气混合气通过搅拌输送至催化处理室3,用于均衡的空气混合气体提供有搅拌机构23的结构。 此外,用于检测空气的混合气体的温度的催化处理室3之前,根据由温度检测装置检测的温度的温度检测器22是指如图22所示,空气被混合到热处理气体中的空气混合部2 一种配置,其中的控制,用于控制量阀21。
    • 3. 发明专利
    • オゾン水供給方法及びオゾン水供給装置
    • 臭氧水供应方法与装置
    • JP2015155083A
    • 2015-08-27
    • JP2014030742
    • 2014-02-20
    • オルガノ株式会社
    • 林 佳史山下 幸福山中 弘次
    • B01F1/00B01F15/02B01F15/04C01B13/10C02F1/78
    • B01F3/04985B01F15/0022B01F15/00344B01F15/0408B01F3/04439B01F3/2057B01F5/106C01B13/11C02F1/78B01F2003/04886C01B2201/64C01B2201/90C02F2103/04C02F2201/782C02F2209/23
    • 【解決課題】オゾン発生手段として放電式のオゾン発生手段を用いた場合に、循環系内への硝酸の蓄積を抑制することができるオゾン水供給方法及びそれを実施するためのオゾン水供給装置を提供すること。 【解決手段】原料超純水を循環タンクに供給すると共に、ユースポイントで使用されなかった返送オゾン水を該循環タンクに返送しながら、該循環タンク内の被溶解水を、一定の供給量でオゾン溶解手段に供給し、該オゾン溶解手段で該被溶解水にオゾンを溶解させてオゾン溶解水を得、次いで、得られた該オゾン溶解水を、該ユースポイントに供給すること、放電式のオゾン発生手段に、原料酸素ガスとして、窒素ガスの含有量が0.01体積%以下の酸素ガスを供給し、次いで、得られた該オゾン含有ガスを、該オゾン溶解手段に供給すること、該循環タンクに供給する該原料超純水の供給量を調節すること、該オゾン溶解水中の溶存オゾン濃度を調節すること、を特徴とするオゾン水供給方法。 【選択図】図1
    • 臭氧水供给方法包括:以给定的进料速率将包含在循环罐中的溶解水加入到臭氧装置中,同时向循环罐供给超纯水,并将循环罐中未使用的臭氧水返回到循环罐 使用臭氧化装置将臭氧溶解在溶解水中,得到臭氧化水,将臭氧水供给到使用点; 向放电型臭氧气体生产器供给氮气含量为0.01体积%以下的氧气,并将得到的含臭氧气体供给到臭氧化装置中; 调节超纯水进入循环罐的进料速度; 并调节臭氧水中溶解的臭氧浓度。 当使用排放型臭氧气体生产者作为臭氧气体生产者时,该方法可以减少或抑制再循环系统中硝酸的积聚。