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1. 发明专利

JP2018520326A チャンバ弁审中-公开
公开(公告)号：JP2018520326A
公开(公告)日：2018-07-26
申请号：JP2018506802
申请日：2016-04-22
申请人：ジェネラル・プラズマ・インコーポレーテッド
发明人：マドックス,ジョンイー.
IPC分类号： F16K51/02 , F16K31/04 , F16K31/52 , F16K41/00 , F16K1/24 , F16K3/18 , C23C14/56 , C23C16/44 , F16K3/06
CPC分类号： F16K3/06 , F16K3/0218 , F16K3/0254 , F16K3/10 , F16K3/182 , F16K51/02
摘要：真空圧を必要とするプロセスで使用するための真空チャンバ(100)は、進行方向におけるバルブのために要する間隔を最小限に抑えた小型設計を有する。チャンバ弁ゲート(116)は、ゲートが出入口(110)からずれた第1位置と、ゲートが出入口と整列した第2位置との間を移動可能である。ゲートは、出入口に平行又は略平行な平面内にある状態で出入口と整列させられるように移動することになる。【選択図】図4

2. 发明专利

JP2018013109A 排気システムおよび制御装置审中-公开
公开(公告)号：JP2018013109A
公开(公告)日：2018-01-25
申请号：JP2016144519
申请日：2016-07-22
申请人：株式会社島津製作所
发明人：中村雅哉 , 廣田聖典 , 小崎純一郎 , 平田伸幸 , 中谷敦夫
IPC分类号： F04D19/04 , F04B37/16
CPC分类号： F16K31/042 , F16K3/0254 , F16K3/06 , F16K3/16 , F16K31/04 , F16K31/041 , F16K37/0041 , F16K51/02
摘要：【課題】真空ポンプおよび真空バルブを使用する装置において、制御装置の小型化およびコスト低減を図ることができる。【解決手段】制御装置4は、ターボ分子ポンプ2およびターボ分子ポンプ2の吸気口側に設けられる真空バルブ3のそれぞれを制御し、ターボ分子ポンプ2のポンプモータ23を駆動するモータ駆動部44と、真空バルブ3の弁体モータ32を駆動する弁体駆動部48と、モータ駆動部44および弁体駆動部48を制御する主制御部43とを備える。【選択図】図2

3. 发明专利

JP4824700B2 Partition valve for the vacuum device 有权
公开(公告)号：JP4824700B2
公开(公告)日：2011-11-30
申请号：JP2007549078
申请日：2006-11-28
申请人：株式会社アルバック
发明人：栄一飯島
IPC分类号： F16K3/10 , C23C14/30 , F16K49/00 , F16K51/02
CPC分类号： F16K51/02 , C23C14/081 , C23C14/246 , C23C14/30 , F16K3/06

4. 发明专利

JP4791491B2 Valve assembly having improved pumpdown performance 有权
公开(公告)号：JP4791491B2
公开(公告)日：2011-10-12
申请号：JP2007557039
申请日：2006-02-07
申请人：エムケーエスインストルメンツインコーポレーテッドMks Instruments,Incorporated
发明人：ピセラ，ヤロスロウ・ダブリュー , ルーカス，ポール・ディー
IPC分类号： F16K3/10 , F16K3/06 , F16K51/02
CPC分类号： F16K39/045 , F16K3/06 , F16K51/02 , Y10T137/87394

5. 发明专利

JP4689976B2 Control slide valve 有权
公开(公告)号：JP4689976B2
公开(公告)日：2011-06-01
申请号：JP2004177154
申请日：2004-06-15
申请人：バットホールディングアーゲー
发明人：ラッツエルクラウス , エーネフローリアーン
IPC分类号： F16K1/20 , F16K3/06 , F16K3/00 , F16K3/10 , F16K3/20
CPC分类号： F16K3/06 , F16K3/10

6. 发明专利

JP2006308069A Valve device 有权
标题翻译：阀门设备
公开(公告)号：JP2006308069A
公开(公告)日：2006-11-09
申请号：JP2005160419
申请日：2005-04-28
申请人： Mitsuhiko Ota , 光彦太田
发明人： OTA MITSUHIKO
IPC分类号： F16K3/10 , F16K31/53
CPC分类号： F16K31/535 , F16K3/06 , F16K3/10
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a valve device with a valve plate having a degree of freedom during valve opening/closing motion for closely contacting the seat faces of two valve seats opposed to each other while easily following them, having greatly improved valve closing function and being economically manufactured with reduced adjusting work.
SOLUTION: A planetary gear 4a is ring-shaped and two valve plates 3 are installed in a hole portion 4b thereof while partially opposing each other. Thus, a planetary gear mechanism actualizes quick opening/closing operation and requires a smaller installation space to be occupied. The valve device has greatly improved valve function and productivity while reducing the conventional operating force of a partition valve and eliminating the need for adjusting work to secure valve closing function.
COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：为了在阀打开/关闭运动期间提供具有自由度的阀板的阀装置，以便在彼此相对的两个阀座的座面紧密接触的同时容易地跟随它们，其大大改进阀门关闭功能，经济实惠，调整工作减少。解决方案：行星齿轮4a是环形的，两个阀板3安装在其孔部分4b中，同时部分地彼此相对。因此，行星齿轮机构实现快速打开/关闭操作，并且需要占用较小的安装空间。阀装置大大提高了阀功能和生产率，同时降低了分隔阀的常规操作力，并且消除了调整工作以确保阀关闭功能的需要。版权所有（C）2007，JPO＆INPIT

7. 发明专利

JPWO2018066554A1 仕切弁有权
公开(公告)号：JPWO2018066554A1
公开(公告)日：2018-10-04
申请号：JP2017035963
申请日：2017-10-03
申请人：株式会社アルバック
发明人：和田慎一 , 井上英晃 , 古瀬晴邦 , 和出拓也 , 猿渡治郎 , 鐸木幹也 , 徳平真之介
IPC分类号： F16K51/02 , F16K3/18
CPC分类号： F16K3/06 , F16K3/18 , F16K51/02
摘要：本発明の仕切弁は、中空部と、前記中空部を挟み互いに対向するように設けられて連通する流路となる第1開口部及び第2開口部とを有する弁箱と、前記弁箱の前記中空部内に配置され前記第1開口部を閉塞可能な中立弁体と、前記中立弁体を前記第1開口部に対して閉塞状態にする弁閉塞位置と、前記中立弁体を前記第1開口部から退避した開放状態にする弁開放位置との間で、前記中立弁体を動作する位置切り替え部として機能し、流路方向に延在する軸線を有する回転軸と、を具備する。前記中立弁体は、前記位置切り替え部に接続される中立弁部と、前記中立弁部に対して前記流路方向における位置が変更可能に接続される可動弁部と、を有する。前記可動弁部は、前記可動弁部に周設され前記第1開口部の周囲の弁箱内面に密着されるシール部が設けられるとともに前記中立弁部に対して前記流路方向における位置が変更可能に接続される第1可動弁部と、前記第1可動弁部に対して前記流路方向に摺動可能とされる第2可動弁部と、を有する。本発明の仕切弁は、前記弁箱に内蔵されている複数の第1付勢部と、前記第1可動弁部と前記第2可動弁部との間に配されている第2付勢部と、第3付勢部とを備える。前記第3付勢部は、前記第1可動弁部を前記中立弁部に対して前記流路方向における位置が変更可能に接続するとともに、前記第1可動弁部を前記流路方向における中央位置に向けて付勢する。複数の前記第1付勢部は、前記第1可動弁部を前記流路方向において前記第1開口部に向けて付勢して前記シール部を前記第1開口部の周囲の弁箱内面に密着可能とする機能を有する。前記第2付勢部は、前記第1可動弁部と前記第2可動弁部との前記流路方向における厚み寸法を、調整が可能なように駆動する。

8. 发明专利

JP2015532967A 線形制御動作を有する３次元の流れ適正化制御スライダシステム有权
标题翻译：具有线性控制操作3D流优化控制滑动系统
公开(公告)号：JP2015532967A
公开(公告)日：2015-11-16
申请号：JP2015532446
申请日：2013-09-24
申请人：ビンダーゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツング , ビンダーゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツング
发明人：ローベルトビンダー， , ローベルトビンダー，
IPC分类号： F16K1/12 , F16K1/14
CPC分类号： F16K3/06 , B01F3/04255 , B01F3/04829 , B01F15/0261 , B01F2003/04865 , B01F2003/04943 , B01F2215/0052 , B01F2215/008 , C02F1/74 , C02F2303/10 , F04D15/0005 , F16K1/06 , F16K1/12 , F16K1/54 , F16K31/508 , F16K31/53
摘要：本発明は、調整スライドバルブ装置に関し、該調整スライドバルブ装置は、ガス又は液体が通って流れることができ、少なくとも1つの入口長手部と1つの出口長手部を有するダクトを形成するハウジングと、ダクトの流れ断面を変え、流量を調整する調整可能要素とを有する。ダクト内にはシートリン要素が配備され、調整要素は長手方向に変化する直径を有する環状断面を備えた第1の長手部分を備えている。調整要素は調整移行路に沿ってダクトの長手方向に調整可能であり、調整要素は閉位置にてシートリング要素に対して横たわりダクトを閉じ、開位置にてシートリング要素とともに流れが通る環状のギャップを形成し、調整要素の第1の長手部分に沿う直径の変化は、調整要素の長手方向の調整に伴う流れが通る環状のギャップの断面領域の変化が、環状のギャップを通る体積流量が調整移行路に沿う調整要素の調整と共に大凡線形に変化するように構成されている。【選択図】図2
摘要翻译：本发明叶片，控制滑阀装置Nikanshi，该控制滑阀装置齿，通过流动古城蛾可以，至少1津市字段入口纵向截面门1茨·罗退出纵向部分WO与导管WO形成于壳体手气体Matawa液体蛾，导管改变流动横截面，以及用于调节流量的可调节元件。该管道被部署片磷元素，所述调节元件具有其直径在纵向方向上变化的圆形横截面的第一纵向部分。调节元件是沿着所述调整迁移路径在管道的纵向方向上可调节，调节元件通过与座圈元件流动闭合管道在关闭位置抵靠座圈元件，环形在打开位置形成间隙，改变沿调节元件，在所述环形间隙，通过该所造成的调节元件，通过环形间隙的体积流量的调整的纵向流动截面积的变化的纵向部分的第一直径它被配置为与沿着所述调整过渡通道中的调整元件的调整大致线性变化。 .The

9. 发明专利

JP2015152033A 流路切り替えバルブおよび当該バルブを用いた液体クロマトグフラフ装置有权
标题翻译：流通开关阀和使用其的液相色谱装置
公开(公告)号：JP2015152033A
公开(公告)日：2015-08-24
申请号：JP2014023966
申请日：2014-02-12
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：原誉明 , 守谷浩志 , 森聖年 , 富田将司 , 大坪綾乃 , 長岡嘉浩
IPC分类号： G01N30/26 , F16K3/04
CPC分类号： F16K3/06 , F16K11/0743 , G01N30/20 , G01N30/26 , G01N2030/202 , G01N2030/385
摘要：【課題】流路切り替えバルブの接触面外周部における圧力負荷を低減し、構成部品間の摩擦を抑制する流路切り替えバルブおよびそれを用いた液体クロマトグラフ装置を提供する。【解決手段】複数の貫通孔を有するステータと、貫通孔を導通させる導通溝を有するシールと、を備えた流路切り替えバルブであって、シールには、少なくとも前記ステータとの接触面を含む領域の垂直下方に存在する第一の部分と、前記第一の部分の外側に、前記第一の部分よりも剛性が低い第二の部分と、を有している。本構成により、高圧条件下で液体の流路を切り替えたときの圧力負荷を低減し、摩擦の現象そのものを抑制することができる。【選択図】図1−B
摘要翻译：要解决的问题：提供一种流路切换阀，其减小流路切换阀的接触面外周部分的压力负荷并抑制部件之间的摩擦，以及使用该阀的液相色谱装置。解决方案：流路切换阀包括具有多个开孔的定子和具有导通开孔的导电槽的密封件。密封件具有：垂直于包含至少与定子的接触表面的区域下方存在的第一部分; 以及第二部分，其设置在第一部分的外侧，并且具有比第一部分低的刚性。因此，在高压条件下流体流动变化时的压力负荷减小，可以抑制摩擦。

10. 发明专利

JPWO2013073039A1 真空用ゲートバルブ有权
标题翻译：真空闸阀
公开(公告)号：JPWO2013073039A1
公开(公告)日：2015-04-02
申请号：JP2013544064
申请日：2011-11-17
申请人：プログレッシオ合同会社
发明人：美絵木村 , 美絵木村 , エマニュエルバイヤーズ , エマニュエルバイヤーズ
IPC分类号： F16K3/18 , F16K3/04 , F16K51/02
CPC分类号： F16K3/06 , F16K3/20 , F16K51/02
摘要：バルブプレートの位置を調整する昇降体24は、第1のリング状本体24A1と、第2のリング状本体24A2とから成る。第2のリング状本体24A2は、係合部及び非係合部38と、係合部する突起40により、第12のリング状本体24A1に着脱自在に連結され、突起40を非係合部38に位置合わせすることにより第1のリング状本体24A1への連結が解除されてケーシング12から取り出すことができる。第2のリング状本体24A2は、駆動源20の駆動により、周囲との間の摩擦抵抗から解放される位置にまで移動したときにのみ変位が許容されて突起40を非係合部38に位置合わせできる。
摘要翻译：升降体24以调节阀板的位置包括第一环形体24A1，其由所述第二环形体24A2县。形主体24A2第二环包括所述接合部和非接合部分38，接合部分被可拆卸地连接到环状体24A1的前12个突起40，脱离部凸起40 38 通过比对连接到所述第一环形体24A1是通过可以从壳体12中取出释放。形主体24A2第二环由驱动源20驱动，当移动到其从摩擦阻力释放到分离部分38的周缘之间的位置处的凸出部40位移的位置只允许它可以合并。

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