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1. 发明专利

JP6208483B2 予備電離放電装置及びレーザ装置有权
公开(公告)号：JP6208483B2
公开(公告)日：2017-10-04
申请号：JP2013144580
申请日：2013-07-10
申请人：ギガフォトン株式会社
发明人：柿▲崎▼ 弘司 , 對馬弘朗 , 藤本准一 , 鈴木夏志 , 勝海久和
IPC分类号： H01S3/0977
CPC分类号： H01S3/09713 , H01S3/0384 , H01S3/08009 , H01S3/0977

2. 发明专利

JP6162768B2 補助電極を備えたガスレーザ発振器有权
公开(公告)号：JP6162768B2
公开(公告)日：2017-07-12
申请号：JP2015197751
申请日：2015-10-05
申请人：ファナック株式会社
发明人：本田昌洋
IPC分类号： H03H7/38 , H01S3/0977
CPC分类号： H01S3/097 , H01S3/03 , H01S3/0384 , H01S3/07 , H01S3/073 , H01S3/09702 , H01S3/09713 , H01S3/0975 , H01S3/104 , H01S3/036 , H01S3/041

3. 发明专利

JP2009510783A Preionizer of the electrode for the gas discharge laser with a thermal expansion resistance 有权
公开(公告)号：JP2009510783A
公开(公告)日：2009-03-12
申请号：JP2008533475
申请日：2006-09-25
申请人：サイマーインコーポレイテッド
发明人：リチャードシーウジャズドースキー , トーマスディーステイガー
IPC分类号： H01S3/0977 , H01S3/032
CPC分类号： H01S3/09713 , H01S3/036 , H01S3/0384 , H01S3/0385 , H01S3/0388 , H01S3/225
摘要： A corona-discharge type, preionizer assembly for a gas discharge laser is disclosed. The assembly may include an electrode and a hollow, dielectric tube that defines a tube bore. In one aspect, the electrode may include a first elongated 0o conductive member having a first end disposed in the bore of the tube. In addition, the electrode may include a second elongated conductive member having a first end disposed in the bore and spaced from the first end of the first conductive member. For the assembly, the first and second conductive members may be held at a same voltage potential.

4. 发明专利

JP2007500446A Anode for the fluorine gas discharge laser 审中-公开
公开(公告)号：JP2007500446A
公开(公告)日：2007-01-11
申请号：JP2006521888
申请日：2004-07-16
申请人：サイマーインコーポレイテッド
发明人：ウォルターディーギルスピー , トーマスディーステイガー , ティモシーエスダイアー , リチャードジーモートン
IPC分类号： H01S3/038 , H01M20060101 , H01S3/036 , H01S3/097 , H01S3/0971 , H01S3/22 , H01S3/223 , H01S3/225
CPC分类号： H01S3/038 , H01S3/036 , H01S3/0381 , H01S3/0382 , H01S3/0385 , H01S3/0388 , H01S3/097 , H01S3/09702 , H01S3/09713 , H01S3/225 , H01S3/2251 , H01S3/2256
摘要：【課題】フッ素ガス放電レーザのための電極及び電極システムに関する技術を提供する。
【解決手段】フッ素ガス放電レーザのための電極が開示され、これは、第１の材料を含んで電極の放電領域の少なくとも一部分を形成する、側壁の対と端壁の対の間の中心軸線を跨ぐ頭頂部を含むことができ、横断面での頭頂部は、楕円の短中心軸線に対する接線が水平とある一定の角度を成すように予備電離器の方向に回転された斜め楕円の上部半分の形状を有する。別の実施形態は、上部部分と各々が上部部分と交差する第１及び第２の側壁部分とを有するアノードブレードを含むことができ、アノードブレードは、上部部分の断面の形状が曲線であって曲率半径に沿って第１及び第２の側壁部分の各々のほぼ直線の部分と交差し、かつ上部部分がアノードの非対称な放電側から斜角で離れるように形成される。別の実施形態は、各々が導電材料から成るアノード及び上流フェアリングを含むことができ、その少なくとも放電受容部分は、薄い誘電体層で被覆され、例えば陽極酸化されている。別の実施形態は、ほぼ均一な間隙径及び分布を有する事前形成リーフによって覆われたガス放電電極の放電領域の少なくとも一部分を含むことができる。また、リーフ製作の方法が開示され、これは、減圧浸潤多孔性陽極酸化材料のリーフを形成する段階を含むことができる。別に開示する方法は、電極の表面上の少なくとも放電領域において第１の陽極酸化層を形成する段階、第１の陽極酸化層を除去する段階、及び電極の表面上の少なくとも放電領域において第２の陽極酸化層を形成する段階を含むことができ、これに続いて、第２の陽極酸化層内の間隙を拡幅する段階、第２の陽極酸化層を薄くする段階、及び導電材料で間隙を充填する段階を含むことができる。更に別の方法は、細長いガス放電領域の少なくとも放電領域上にリーフテンプレートを形成する段階、及びリーフテンプレートによって決められたように絶縁材料の多孔性層を選択的に成長させる段階を含むことができ、更に、ポジティブテンプレート又はネガティブテンプレートを含むことができる。
【選択図】図１４ａ−ｆ

5. 发明专利

JP3796038B2 Gas laser oscillation device 失效
公开(公告)号：JP3796038B2
公开(公告)日：2006-07-12
申请号：JP4362198
申请日：1998-02-25
申请人：株式会社小松製作所
发明人：真生中野 , 隆之渡邊
IPC分类号： H01S3/038 , H01S3/036 , H01S3/0971 , H01S3/0977 , H01S3/225
CPC分类号： H01S3/036 , H01S3/038 , H01S3/09713 , H01S3/225

6. 发明专利

JPWO2015186480A1 レーザチャンバ审中-公开
公开(公告)号：JPWO2015186480A1
公开(公告)日：2017-04-20
申请号：JP2016525749
申请日：2015-05-12
申请人：ギガフォトン株式会社
发明人：弘朗對馬 , 弘朗對馬 , 弘司柿崎 , 弘司柿崎 , 松永　隆 , 隆松永 , 武志浅山 , 武志浅山 , 久和勝海 , 久和勝海 , 博梅田 , 博梅田 , 池田　宏幸 , 宏幸池田
IPC分类号： H01S3/032 , H01S3/036 , H01S3/041
CPC分类号： H01S3/036 , H01S3/038 , H01S3/0384 , H01S3/0407 , H01S3/041 , H01S3/08004 , H01S3/08009 , H01S3/09702 , H01S3/09713 , H01S3/134 , H01S3/225
摘要：放電効率を向上させる。レーザチャンバは、第1空間と前記第1空間に連通する第2空間とを含むレーザチャンバであって、前記第1空間内に配置された第1放電電極と、前記第1空間内で前記第1放電電極に対向して配置された第2放電電極と、前記第1空間内に配置され、前記第1放電電極と前記第2放電電極との間にレーザガスを流すファンと、前記第2空間内に配置されたピーキングコンデンサと、前記第1空間と前記第2空間とを区切る電気絶縁部材であって、前記第1空間と前記第2空間との間を前記レーザガスが通気可能に配置された電気絶縁部材と、を備えてもよい。

7. 发明专利

JP2014207329A 放電開始を判定する機能を有するガスレーザ発振器有权
标题翻译：气体激光振荡器具有确定释放开始的功能
公开(公告)号：JP2014207329A
公开(公告)日：2014-10-30
申请号：JP2013084047
申请日：2013-04-12
申请人：ファナック株式会社 , Fanuc Ltd
发明人： NUKUI TORU
IPC分类号： H01S3/104 , H01S3/00
CPC分类号： H01S3/09702 , H01S3/036 , H01S3/09713 , H01S3/104
摘要：【課題】短時間で放電開始を確実に判定できる判定機能を有するガスレーザ発振器を提供する。【解決手段】ガスレーザ発振器は、指令電圧を作成する制御装置と、指令電圧に従って、放電管に電力を供給するレーザ電源と、放電管に印加される電圧を検出する電圧検出部と、を具備する。また、制御装置は、ステップ状に増大する指令電圧に従って放電管に電力が供給されるときの、電圧検出部によって検出される電圧の変化の割合に基づいて、放電管における放電が開始されたか否かを判定する判定部をさらに備えている。判定部は、ステップ状に増大する指令電圧の、少なくとも最初の増大ステップを含む初期ステップの後に、放電管における放電が開始されたか否かを判定するように構成される。【選択図】図4
摘要翻译：要解决的问题：提供一种气体激光振荡器，其具有使得可以在短时间内确定放电开始的可靠性的功能。解决方案：一种气体激光振荡器，包括：指令电压的控制器; 激光电源，其根据指示电压向放电管供给电力; 以及电压检测器，其检测施加到放电管的电压。控制器还包括一个确定部分，该判定部分根据逐步增加的指示，当放电管被提供电力时，基于由电压检测器检测到的电压的变化率，确定放电管是否开始放电电压。确定部件被布置为确定在包括至少第一增加步骤的逐步增加的指令电压的初始步骤之后放电管是否已经开始放电。

8. 发明专利

JPS60210888A Gas laser device 失效
标题翻译：气体激光器件
公开(公告)号：JPS60210888A
公开(公告)日：1985-10-23
申请号：JP1173485
申请日：1985-01-23
申请人： Nazemi Saiido
发明人： SAIIDO NAZEMI
IPC分类号： H01S3/03 , H01S3/036 , H01S3/038 , H01S3/0971
CPC分类号： H01S3/036 , H01S3/03 , H01S3/038 , H01S3/09713

9. 发明专利

JPS5910077B2 JPS5910077B2 - 失效
公开(公告)号：JPS5910077B2
公开(公告)日：1984-03-06
申请号：JP2257982
申请日：1982-02-15
申请人： Comp Generale Electricite
发明人： BERUNAARU RAKUURU , MARUKU MAIE , ORIBIE DO UITSUTO , SHANTARU UANIE
IPC分类号： H01S3/038 , H01S3/097 , H01S3/0971 , H01S3/22 , H01S3/223
CPC分类号： H01S3/09713 , H01S3/0385

10. 发明专利

JPS5922380A Laser device exciting silent discharge 失效
标题翻译：激光设备清除静电放电
公开(公告)号：JPS5922380A
公开(公告)日：1984-02-04
申请号：JP13239282
申请日：1982-07-29
申请人： Mitsubishi Electric Corp
发明人： KANEHARA YOSHIHIDE
IPC分类号： H01S3/097 , H01S3/038 , H01S3/0971 , H01S3/0977 , H01S3/22
CPC分类号： H01S3/09713
摘要： PURPOSE:To obtain the silent discharge exciting laser device, in which trigger discharge currents are limited, the life of an electrode is lengthened and the efficiency of laser oscillation is not lowered, by connecting impedance in series with the trigger electrode. CONSTITUTION:The trigger electrode 15 consists of a pair of metallic pieces 17A, 17B, and an impedance element 16 is connected in series with the metallic pieces. When a capacitor 18 is used as the impedance element 16, AC voltage from a power supply 4 is applied to a series circuit of the electrostatic capacities 20A, 20B of dielectrics 13A, 13B, trigger discharges 12A, 12B and the capacitor 18. Currents by the trigger discharges 12A, 12B are determined by the electrostatic capacities 20A, 20B and the capacitor 18, and the currents of the trigger discharges 12A, 12B can be limited by reducing the electrostatic capacity of the capacitor 18 to the electrostatic capacities 20A, 20B. According to such constitution, trigger discharge currents can be limited, and the silent discharge exciting laser device in which the life of the electrode is lengthened and the efficiency of laser oscillation is excellent is obtained.
摘要翻译：目的：为了获得触发放电电流受限的无声放电激励激光器件，通过将触发电阻与触发电极串联连接，延长了电极的寿命，激光振荡的效率不会降低。构成：触发电极15由一对金属片17A，17B构成，阻抗元件16与金属片串联连接。当电容器18用作阻抗元件16时，来自电源4的AC电压被施加到电介质13A，13B的静电电容20A，20B的串联电路，触发放电12A，12B和电容器18。电流触发放电12A，12B由静电电容20A，20B和电容器18确定，触发放电12A，12B的电流可以通过将电容器18的静电电容减小到静电电容20A，20B来限制。根据这种结构，可以限制触发放电电流，并且获得其中电极的寿命延长并且激光振荡的效率优异的静音放电激光器件。

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