专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明专利

JP6207344B2 荷電粒子線装置有权
公开(公告)号：JP6207344B2
公开(公告)日：2017-10-04
申请号：JP2013225916
申请日：2013-10-30
申请人：日本電子株式会社
发明人：廣木靖 , 大▲崎▼ 光明
IPC分类号： H01J37/26 , H01J37/28 , H01J37/16 , H01J37/18
CPC分类号： H01J37/18 , H01J37/20 , H01J41/02 , H01J2237/182 , H01J2237/2002 , H01J2237/2605

2. 发明专利

JP2016219412A 改良された画像化ガスを用いる電子ビーム顕微鏡およびその使用方法审中-公开
标题翻译：电子束显微镜和使用改进的成像气体及其使用方法
公开(公告)号：JP2016219412A
公开(公告)日：2016-12-22
申请号：JP2016097239
申请日：2016-05-13
申请人：エフ・イ−・アイ・カンパニー
发明人：トビー・シェンリー , ジョン・スコット , ミロス・トス
IPC分类号： H01J37/244 , H01J37/16 , H01J37/18 , H01J37/28
CPC分类号： H01J37/18 , H01J37/22 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/182 , H01J2237/2448 , H01J2237/2605 , H01J2237/2608 , H01J2237/2801 , H01J2237/2806
摘要：【課題】改良された画像化ガスを用いたガス増幅を使用する荷電粒子ビーム画像化および測定システムを提供すること。【解決手段】このシステムは、荷電粒子ビームを加工物に導く荷電粒子ビーム源と、荷電粒子を加工物上で集束させる集束レンズと、荷電粒子ビームによる加工物照射または他のガス・カスケード検出方式によって生成された2次電子を加速させる電極とを含む。このガス画像化は、CH 3 CH 2 OH(エタノール)蒸気を含む改良された画像化ガスを封入する高圧走査電子顕微鏡(HPSEM)室内で実行される。この電極は、CH 3 CH 2 OH中を通過している2次電子を加速させて、CH 3 CH 2 OHをイオン化カスケードによってイオン化し、それによって検出用の2次電子の数を増幅する。改良された画像化ガスを使用する最適な構成が提供され、有機液体および有機溶媒の画像化研究およびCH 3 CH 2 OHベースの他のプロセスを実施する技法が提供される。【選択図】図4c
摘要翻译：提供一种使用具有改进的成像气体的气体放大的带电粒子束成像和测量系统。该系统包括，工件照射或其它气体级联检测方法由所述带电粒子束的带电粒子束源引导带电粒子束到工件上，和用于聚焦带电粒子在所述工件的聚焦透镜和用于加速由产生的二次电子的电极。气体成像在包围含有CH3CH2OH（乙醇）的蒸气的改进的成像气体的高压扫描电子显微镜（HPSEM）室中进行。此电极加速二次电子通过传递CH3CH2OH，通过电离级联CH3CH2OH，从而扩增检测二次电子的数量电离。使用一种改进的成像气体最优配置设置，以实现成像研究和CH3CH2OH基其他处理有机液体和有机溶剂的技术。点域4C

3. 发明专利

JP5936424B2 荷電粒子線装置有权
标题翻译：一种带电粒子束装置
公开(公告)号：JP5936424B2
公开(公告)日：2016-06-22
申请号：JP2012097086
申请日：2012-04-20
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：大南祐介 , 河西晋佐 , 大瀧智久 , 安島雅彦 , 伊東祐博
IPC分类号： H01J37/16 , H01J37/09 , H01J37/18
CPC分类号： H01J37/261 , H01J37/09 , H01J37/10 , H01J37/147 , H01J37/16 , H01J37/18 , H01J37/28 , H01J2237/0245 , H01J2237/043 , H01J2237/063 , H01J2237/10 , H01J2237/162 , H01J2237/164 , H01J2237/2003 , H01J2237/2448 , H01J2237/2602 , H01J2237/2605

4. 发明专利

JP2014038787A Charged particle beam device and sample observation method 有权
标题翻译：充电颗粒光束装置和样品观测方法
公开(公告)号：JP2014038787A
公开(公告)日：2014-02-27
申请号：JP2012181305
申请日：2012-08-20
申请人： Hitachi High-Technologies Corp , 株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人： OMINAMI YUSUKE , ITO SUKEHIRO
IPC分类号： H01J37/18 , H01J37/16 , H01J37/20 , H01J37/244
CPC分类号： H01J37/16 , H01J37/00 , H01J37/18 , H01J37/20 , H01J37/244 , H01J37/26 , H01J37/28 , H01J2237/2002 , H01J2237/24455 , H01J2237/2605
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a charged particle beam device which allows the user to observe a sample in an ambient air atmosphere or a gas atmosphere, as well as observe the inside of the sample, without significantly changing the conventional configuration of a high vacuum type charged particle microscope.SOLUTION: The present invention is a sample observation method for observing a sample by irradiating a sample 6 with a primary charged particle beam and detecting a secondary charged particle signal obtained by irradiation. In the sample observation method, a primary charged particle beam generated in a charged particle optical lens barrel 2 maintained in a vacuum state is transmitted or passed through a diaphragm disposed in such a way as to separate between a space where a sample is placed and the charged particle optical lens barrel and a transmitted charged particle beam obtained by irradiating the sample placed in a prescribed gas atmosphere under atmospheric pressure or a state slightly negative to atmospheric pressure with the primary charged particle beam is detected.
摘要翻译：要解决的问题：提供一种带电粒子束装置，其允许用户在环境空气气氛或气体气氛中观察样品，以及观察样品内部，而不显着改变常规的高真空结构型电荷粒子显微镜。解决方案：本发明是通过用初级带电粒子束照射样品6并检测通过照射获得的二次带电粒子信号来观察样品的样品观察方法。在样本观察方法中，在保持真空状态的带电粒子光学镜筒2中产生的初级带电粒子束被透射或通过隔膜，该隔膜设置在隔离放置样品的空间和检测带电粒子光学透镜镜筒和透射带电粒子束，其通过用大气压或微小负大气压的状态用一次带电粒子束照射放置在规定气体气氛中的样品。

5. 发明专利

JP5352262B2 A charged particle beam apparatus 有权
公开(公告)号：JP5352262B2
公开(公告)日：2013-11-27
申请号：JP2009025495
申请日：2009-02-06
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：純一片根 , 祐博伊東
IPC分类号： H01J37/244 , H01J37/28
CPC分类号： H01J37/28 , H01J37/244 , H01J2237/2443 , H01J2237/2445 , H01J2237/2605
摘要： The present invention provides a scanning charged particle beam device including a sample chamber (8) and a detector. The detector has: a function of detecting light at least ranging from the vacuum ultraviolet region to the visible light region, of light (17) having image information which is obtained by a light emission phenomenon of gas scintillation when the sample chamber is controlled to a low vacuum (1 Pa to 3,000 Pa); and a function of detecting ion currents (11, 13) having image information which are obtained by cascade amplification of electrons and gas molecules. Accordingly, it becomes possible to realize a device which can deal with observation of various samples. Further, an optimal configuration of the detection unit is devised, to thereby make it possible to add value to an obtained image and provide users in wide-ranging fields with the observation image. In addition, the detector is made usable in combination with a detector for high vacuum, to thereby make it possible to provide wide-ranging users with the image, irrespective of the vacuum mode.

6. 发明专利

JPWO2011114832A1 電子発生方法有权
公开(公告)号：JPWO2011114832A1
公开(公告)日：2013-06-27
申请号：JP2012505574
申请日：2011-02-17
申请人：国立大学法人三重大学 , 浜松ホトニクス株式会社
发明人：畑　浩一 , 浩一畑 , 綾介藪下 , 綾介藪下 , 岡田　知幸 , 知幸岡田
IPC分类号： H01J37/073
CPC分类号： H01J37/26 , H01J37/16 , H01J2237/006 , H01J2237/2002 , H01J2237/2605
摘要：電子発生方法は、筐体(10)の内部にアルゴンを導入する第1導入ステップと、筐体(10)の内部を排気する排気ステップと、排気ステップにより排気された後のアルゴン含有雰囲気下で、筐体(10)の内部に配置された固体電極の表面を覆う液状のリチウム(液体金属陰極(11))から電子ビーム(E)を放出させる電子放出ステップとを備える。これにより、電子放出源として液体リチウムを用いる電子発生方法において、放出電流量を安定させることができる。

7. 发明专利

JP5005192B2 Apparatus for evacuating the sample 有权
公开(公告)号：JP5005192B2
公开(公告)日：2012-08-22
申请号：JP2005188439
申请日：2005-06-28
申请人：エフイーアイカンパニFei Company
发明人：アーエムメンティンクエス , ウェリー−ディーレマンエム , テーメーウェッセエム , ハーイェービスホップステー , ビュッセベー
IPC分类号： H01J37/18 , H01J37/20 , H01J37/28
CPC分类号： H01J37/18 , H01J37/20 , H01J2237/2003 , H01J2237/2605

9. 发明专利

JP2010114081A Scanning transmission electron microscope using gas amplification 有权
标题翻译：扫描传输使用气体放大的电子显微镜
公开(公告)号：JP2010114081A
公开(公告)日：2010-05-20
申请号：JP2009251999
申请日：2009-11-02
申请人： Fei Co , エフ・イ−・アイ・カンパニー
发明人： WILLIAM RALPH KNOWLES , TOTH MILOS
IPC分类号： H01J37/244 , H01J37/28
CPC分类号： H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/2002 , H01J2237/2444 , H01J2237/24445 , H01J2237/2449 , H01J2237/2605 , H01J2237/2802
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a scanning transmission electron microscope operated with a sample in a high pressure environment.
SOLUTION: A preferred detector uses gas amplification by converting either scattered or unscattered transmitted electrons to secondary electrons for efficient gas amplification.
COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

10. 发明专利

JP2009152087A Transmission electron microscope 审中-公开
标题翻译：传输电子显微镜
公开(公告)号：JP2009152087A
公开(公告)日：2009-07-09
申请号：JP2007329552
申请日：2007-12-21
申请人： Jeol Ltd , 日本電子株式会社
发明人： FUKUSHIMA KURIO
IPC分类号： H01J37/26 , H01J37/09 , H01J37/18
CPC分类号： H01J37/18 , H01J37/09 , H01J37/20 , H01J37/26 , H01J2237/006 , H01J2237/0451 , H01J2237/0455 , H01J2237/0458 , H01J2237/182 , H01J2237/188 , H01J2237/2002 , H01J2237/206 , H01J2237/24465 , H01J2237/24475 , H01J2237/2605 , H01J2237/2614
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a device capable of observing an HAADF image based on high scattering angle annular detection without restricting maximum allowable pressure of a gas introduced into a sample chamber.
SOLUTION: This device is provided with: an electron gun 2; the sample chamber 7 for setting a sample 5 therein; a gas cylinder 37 supplying an atmosphere gas in the vicinity of a surface of the sample 5 through a gas flow control device 39 and a gas nozzle 40; an vacuum pump 36 evacuating the inside of the sample chamber 7; an object lens having the sample set between an upper electrode 8' and a lower electrode 9' and making an electron beam from the electron gun 2 pass therethrough; a detector 15 detecting electrons having passed through the sample; a display device 19 displaying a transmission image of the sample based on a detection signal; holders 51a, 51b, 51c and 51d movable in a direction crossing an electron beam optical axis O on the upper surface part and the lower surface part of each of the upper electrode 8' and the lower electrode 9' of the object lens, and supporting orifice plates 50a, 50b, 50c and 50d each having a plurality of minute holes A, B, C and D, respectively; and their drive devices 52 and movement control device 53.
COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：提供一种能够基于高散射角环形检测观察HAADF图像的装置，而不限制引入样品室的气体的最大允许压力。解决方案：该装置具有：电子枪2; 用于将样品5设置在其中的样品室7; 通过气体流量控制装置39和气体喷嘴40在样品5的表面附近供给气氛气体的气瓶37; 真空泵36抽出样品室7的内部; 具有在上电极8'和下电极9'之间并使来自电子枪2的电子束的样品的透镜通过其中的物镜; 检测器15，检测经过样品的电子; 基于检测信号显示样本的发送图像的显示装置19; 在物镜的上部电极8'和下部电极9'的上表面部分和下表面部分上沿与电子束光轴O交叉的方向移动的保持器51a，51b，51c和51d，孔板50a，50b，50c和50d分别具有多个微孔A，B，C和D; 及其驱动装置52和移动控制装置53.版权所有（C）2009，JPO＆INPIT

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式