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1. 发明专利

JP2016096140A 荷電粒子顕微鏡における非接触温度測定审中-公开
标题翻译：非接触式温度测量在充电颗粒显微镜中
公开(公告)号：JP2016096140A
公开(公告)日：2016-05-26
申请号：JP2015220167
申请日：2015-11-10
申请人：エフイーアイカンパニ , FEI COMPANY
发明人：ジェイコブサイモンフェーバー , ルボミールトウマ , ティモシーバーネット , リボルノヴァーク
IPC分类号： H01J37/244 , H01J37/20 , H01J37/28
CPC分类号： H01J37/261 , G01K11/30 , H01J37/20 , H01J37/244 , H01J2237/2001 , H01J2237/2065 , H01J2237/28
摘要：【課題】荷電粒子顕微鏡の使用。【解決手段】荷電粒子顕微鏡を使用する方法に関し、前記荷電粒子顕微鏡は、荷電粒子の一次ビーム(200)で、サンプルホルダ(101)に取り付けられたサンプル(100)を検査するように構成され、荷電粒子顕微鏡は、一次ビームによる前記サンプルの照射に応じて、サンプルから放射される二次粒子を検出する半導体検出器(202)を備えるように構成され、半導体検出器は、サンプルの直接的な光学ビューであり、当該方法は、サンプルを、早い熱応答時間を有するヒータに提供するステップを有し、当該方法は、半導体検出器を用いて、サンプルおよび/またはサンプルホルダの温度の非接触測定を実施するステップを有する。ヒータの加熱は、レーザ、マイクロ波加熱、誘導もしくは電子ビーム加熱による非接触加熱であり、または金属加熱トラックによって生じてもよい。【選択図】図2
摘要翻译：要解决的问题：使用带电粒子显微镜。解决方案：在使用带电粒子显微镜的方法中，带电粒子显微镜被配置为使用主光束（...）来检查附接到样品架（101）的样品（100） 200），带电粒子显微镜被配置为包括用于检测从样品辐射的次级颗粒的半导体检测器（202），这取决于具有主光束的样品的照射，并且半导体检测器是直接光学视图样品。该方法具有将样品提供到具有快速热响应时间的加热器的步骤，以及通过使用半导体检测器进行样品和/或样品保持器的非接触式温度测量的步骤。加热器的加热是通过激光，微波加热，感应或电子束加热的非接触加热，或者可以使用金属加热轨道。选择图：图2

2. 发明专利

JP5861967B2 インサイチュホルダーアセンブリ有权
标题翻译：在现场架组件
公开(公告)号：JP5861967B2
公开(公告)日：2016-02-16
申请号：JP2013521981
申请日：2011-07-28
申请人：イーエイフィシオネインストルメンツインコーポレーテッド , E.A.Fischione Instruments, Inc.
发明人：デシュムクプシュカライヴィー , グロンスキージェフリージェイ , フィシオネポールイー
IPC分类号： G01N23/04 , H01J37/20
CPC分类号： G01N21/0303 , H01J37/20 , H01J37/228 , H01J2237/2002 , H01J2237/2003 , H01J2237/206 , H01J2237/2065

3. 发明专利

JP2015028933A 透過電子回折測定装置および透過電子回折パターンの測定方法审中-公开
标题翻译：传输电子衍射测量装置和测量传输电子衍射图案的方法
公开(公告)号：JP2015028933A
公开(公告)日：2015-02-12
申请号：JP2014138331
申请日：2014-07-04
申请人：株式会社半導体エネルギー研究所 , Semiconductor Energy Lab Co Ltd
发明人： OGARANE DAISUKE , ORIKI KOJI , TAKAHASHI MASAHIRO , ITO SHUNICHI , TAKAHASHI ERIKA
IPC分类号： H01J37/26 , H01J37/20 , H01J37/22 , H01J37/244
CPC分类号： G01N23/2055 , G01N23/20058 , G01N2223/61 , H01J37/06 , H01J2237/2065 , H01J2237/2805
摘要：【課題】結晶領域間の物質の構造を解析することが可能な透過電子回折測定装置を提供する。または、物質の構造の変化を解析することが可能な透過電子回折測定装置を提供する。または、物質の2次元的な構造を解析することが可能な透過電子回折測定装置を提供する。または、物質の3次元的な構造を解析することが可能な透過電子回折測定装置を提供する。【解決手段】電子銃と、電子銃の下の第1の光学系と、第1の光学系の下の試料室と、試料室の下の第2の光学系と、第2の光学系の下の観察室と、観察室内の電子からエネルギーを受け取ることで発光する領域と、領域に向けて配置されたカメラと、を有する透過電子回折測定装置である。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供能够分析晶体区域之间的物质的结构的透射电子衍射测量装置，能够分析物质的结构变化的透射电子衍射测量装置，能够发射的透射电子衍射测量装置分析物质的二维结构或能够分析物质的三维结构的透射电子衍射测量装置。解决方案：透射电子衍射测量装置包括：电子枪; 电子枪下方的第一光学系统; 第一光学系统下方的样品室; 在样品室下方的第二光学系统; 第二光学系统下方的观察室; 从观察室中的电子接受能量的区域，从而发光。以及朝该地区安排的照相机。

4. 发明专利

JPWO2012147632A1 電子顕微鏡用試料保持装置及び電子顕微鏡装置有权
公开(公告)号：JPWO2012147632A1
公开(公告)日：2014-07-28
申请号：JP2013512317
申请日：2012-04-20
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：矢口　紀恵 , 紀恵矢口 , 渡部　明 , 明渡部 , 祐介大南 , 祐介大南
IPC分类号： H01J37/20 , H01J37/26 , H01J37/28
CPC分类号： H01J37/20 , H01J37/26 , H01J2237/006 , H01J2237/2003 , H01J2237/2065
摘要：本発明の電子顕微鏡用試料保持装置(80)は、上部隔膜保持部(20)、試料保持プレート(30)及び下部隔膜保持部(40)の3つの部品を組み立てることによって形成された試料保持アセンブリ(10)と、該試料保持アセンブリを交換可能に保持する保持部(80A)と、を有する。試料保持アセンブリは、上部隔膜保持部の隔膜(25)と下部隔膜保持部の隔膜(45)の間に形成されたセル(15)と、該セルに接続された流路(49a)を有し、試料保持プレートの突起部(31)に装着された試料(61)がセル内に配置されるように構成されている。上部隔膜保持部の隔膜、試料、及び、下部隔膜保持部の隔膜は、電子線の光軸(11)に沿って配置される。これにより、ガス、液体などの特殊雰囲気中における顕微鏡観察において、特定箇所の観察が容易に行え、かつ、観察ごとに隔膜の交換等の作業が不要な電子線顕微鏡用試料保持装置を提供できるようになった。

5. 发明专利

JP2009008657A Solid sample, and method and apparatus for manufacturing the same 审中-公开
标题翻译：固体样品及其制造方法和装置
公开(公告)号：JP2009008657A
公开(公告)日：2009-01-15
申请号：JP2008090920
申请日：2008-03-31
申请人： Canon Inc , キヤノン株式会社
发明人： YOKOI HIDETO , SANKUBO TAKESHI , KAMISHIRO KAZUHIRO , SUZUKI TOMOKO , MOTOI YASUKO
IPC分类号： G01N1/28 , B01L99/00 , H01J37/20
CPC分类号： G01N1/42 , H01J37/20 , H01J2237/2001 , H01J2237/2002 , H01J2237/20285 , H01J2237/2065 , H01J2237/28 , H01J2237/31 , H01J2237/31749
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a solid sample which allows accurate observation of the dispersion state of the substance in a liquid, while holding the dispersion state of the substance in droplets.
SOLUTION: The solid sample includes the liquid which takes on a liquid phase at normal temperature and pressure, and a substance different from the liquid, which takes on a solid phase or liquid phase at normal temperature and pressure. A method includes a step of preparing a specimen wherein the substance has been dispersed in the liquid, and a step of adhering the specimen to a cooled stage surface as the droplets, thereby making an entire observed area amorphous.
COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：提供一种固体样品，其能够在保持液体中物质的分散状态的同时，准确地观察物质在液体中的分散状态。
解决方案：固体样品包括在常温常压下接受液相的液体和不同于液体的物质，其在常温常压下承受固相或液相。一种方法包括制备其中物质已经分散在液体中的样品的步骤，以及将样品粘附到冷却的台表面作为液滴的步骤，从而使整个观察区域变为无定形。版权所有（C）2009，JPO＆INPIT

6. 发明专利

JP2015001530A 凍結含水試料をマイクロプローブへ結合する方法有权
标题翻译：将含有冷冻水样品与MICROPROBE组合的方法
公开(公告)号：JP2015001530A
公开(公告)日：2015-01-05
申请号：JP2014121183
申请日：2014-06-12
申请人：エフイーアイカンパニFei Company , Fei Co , エフイーアイカンパニFei Company
发明人： SCHAMPERS RUDOLF JOHANNES PETER GERARDUS , JOHANNES ANTONIUS HENGRICUS WILHELMUS GERARDS PERS , ANDREAS TEODORAS ENGELEN
IPC分类号： G01N1/28 , H01J37/20
CPC分类号： H01J37/20 , G01N1/28 , G01N1/42 , G02B21/32 , H01J37/26 , H01J37/315 , H01J2237/002 , H01J2237/2065 , H01J2237/31744 , H01J2237/31745
摘要：【課題】本発明は、約-137℃のガラス転移温度より低い温度のガラス状生体試料を、前記ガラス転移温度よりも低い温度に保たれているマイクロマニピュレータへ結合する方法に関する。【解決手段】従来技術に係る方法が、たとえばプロパン又は加熱されたニードル(抵抗加熱又はレーザーにより加熱された)と共にIBIDを用いた場合、本発明は、振動するニードルを用いて前記試料を局所的に融解する。前記振動を止めることによって、前記試料は凍結して前記マイクロマニピュレータへ結合する。前記の加熱された部分の熱容量は小さいので、ガラス状態にとどまる材料の量は多い。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供将温度低于约-137℃的玻璃化转变温度的玻璃状生物样品与保持在低于玻璃化转变温度的温度下的显微操纵器组合的方法。解决方案：通过方法这里公开的现有技术将使用IBID与丙烷或加热的针（通过电阻加热或激光加热）一起使用IBID，通过使用振动针局部熔化样品。通过停止振动，将样品冷冻并与显微操纵器组合。由于加热部件的热容量小，所以玻璃状态下剩余的材料量很大。

7. 发明专利

JP5260575B2 Electron microscope and the sample holder, 有权
公开(公告)号：JP5260575B2
公开(公告)日：2013-08-14
申请号：JP2010038105
申请日：2010-02-24
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：紀恵矢口 , 康平長久保 , 明渡部
IPC分类号： H01J37/20 , H01J37/18
CPC分类号： H01J37/26 , H01J37/20 , H01J2237/006 , H01J2237/2003 , H01J2237/206 , H01J2237/2065
摘要： An object of the present invention is to provide a sample holding unit for an electron beam apparatus which allows observation of a reaction between a sample and gas. In order to solve one of the above-stated problems, the present invention includes: electron beam apparatus sample holding means in which a diaphragm is placed on upper and lower sides of a sample to form a cell for separating a gas atmosphere and a vacuum atmosphere of a sample chamber and sealing an ambient atmosphere of the sample; a gas supply means for supplying gas to an inside of the cell; and exhaust means for exhausting gas. The exhaust means includes a gas exhaust pipe provided in the inside of the cell and an openable/closable exhaust hole provided in a sidewall of the sample holding means so as to pass through the cell. The diaphragm is an amorphous film made of light elements which can transmit an electron beam, such as carbon films, oxide films, and nitride films.

8. 发明专利

JP2013506137A A method using a temperature control device in an electron microscope 审中-公开
公开(公告)号：JP2013506137A
公开(公告)日：2013-02-21
申请号：JP2012531013
申请日：2010-09-23
申请人：プロトチップス,インコーポレイテッド
发明人：ダミアノ，ジョン , ミック，スティーブン , ナッカシ，デイビッド
IPC分类号： G01N23/04 , G01N23/225 , H01J37/20
CPC分类号： H01J37/20 , G01K17/00 , G01K17/006 , H01J37/26 , H01J2237/2001 , H01J2237/2003 , H01J2237/2065 , H01J2237/28
摘要：【課題】
【解決手段】電子顕微鏡において温度制御デバイスを用いる方法。デバイス構造の温度を制御して、以前は取得することができなかった反応及びプロセスに関する情報を抽出することを可能とする。
【選択図】図６

9. 发明专利

JP4598093B2 Defect inspection equipment 有权
公开(公告)号：JP4598093B2
公开(公告)日：2010-12-15
申请号：JP2008035242
申请日：2008-02-15
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：正弘笹島 , 浩之鈴木
IPC分类号： H01L21/66 , G01R31/26 , G01R31/28 , G01R31/302
CPC分类号： G01R31/2891 , G01R31/307 , H01J37/20 , H01J37/28 , H01J2237/2001 , H01J2237/2065 , H01J2237/24564

10. 发明专利

JP2010257617A Sample holder, usage of this sample holder, and charged particle device 有权
标题翻译：样品夹，使用本样品瓶和充电颗粒装置
公开(公告)号：JP2010257617A
公开(公告)日：2010-11-11
申请号：JP2009103518
申请日：2009-04-22
申请人： Hitachi High-Technologies Corp , 株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人： NAGAKUBO KOHEI , TANIGAKI TOSHIAKI , ITO KATSUJI
IPC分类号： H01J37/20
CPC分类号： H01J37/20 , G01N1/286 , H01J2237/2001 , H01J2237/20214 , H01J2237/2065 , H01J2237/2802 , H01J2237/30466 , H01J2237/31745 , H01J2237/31749
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a sample holder for efficiently performing processing or observation of a sample by means of charged particles while cooling, particularly, having the processing observation of a material which may be affected by the influence of heat damage in a state in which the material is cooled, and furthermore, effectively alleviating the influence due to a sample processing method using charged particles by cooling. SOLUTION: The sample holder includes a sample stage capable of fixing a sample piece extracted from a sample by ion beam irradiation, and a rotation mechanism for rotating the sample stage in a desired direction, wherein the sample holder can be attached to an ion beam device and a transmission electron microscope device. The sample holder has a movable heat transfer material for thermally connecting the sample stage and a cooling source, and an isolation material for thermally isolating the sample stage and the heat transfer material from the outside. The processing or observation of a sample by means of charged particle beams can be performed while efficiently cooling. COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：提供一种用于通过带电粒子在冷却时有效地进行样品的加工或观察的样品架，特别是具有可能受到热损伤影响的材料的加工观察材料被冷却的状态，此外，有效地减轻了通过冷却使用带电粒子的样品处理方法所产生的影响。解决方案：样品架包括能够通过离子束照射固定从样品提取的样品片的样品台和用于沿所需方向旋转样品台的旋转机构，其中样品保持器可以附着到离子束装置和透射电子显微镜装置。样品保持器具有用于热连接样品台和冷却源的可移动热传递材料，以及用于将样品台和传热材料从外部热隔离的隔离材料。可以在有效地冷却的同时进行通过带电粒子束的样品的处理或观察。版权所有（C）2011，JPO＆INPIT

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