专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明专利

JP2017058565A ミラー保持機構审中-公开
公开(公告)号：JP2017058565A
公开(公告)日：2017-03-23
申请号：JP2015184631
申请日：2015-09-18
申请人：日東光学株式会社
发明人：山口貴
IPC分类号： G02B7/198 , G02B7/182
CPC分类号： G02B7/182 , G02B7/198 , G03B21/14 , G03B21/28
摘要：【課題】反射ミラーの反射面で反射されて投射面に投射される投射像を確認しながら反射ミラーの位置や角度を微調整することが可能なミラー保持機構を提供する。【解決手段】ミラー保持機構1は、反射ミラー2とミラー保持部材3とカム部材9とを備えており、ミラー保持部材3は、X方向において反射ミラー2を挟むように配置される2個の側面部3aを備えている。側面部3aには、反射ミラー2からX方向の外側へ突出する軸部10bが挿通されるガイド孔3gが側面部3aを貫通するように形成され、ガイド孔3gは、Y方向を長手方向とする長孔状に形成されている。カム部材9は、側面部3aよりもX方向の外側に配置されるとともに側面部3aに回動可能に保持され、カム部材9には、軸部10bの先端側部分が接触するカム面9eが形成されている。ミラー保持機構1では、カム部材9が回動すると、軸部10bがY方向へ移動する。【選択図】図3

2. 发明专利

JP2012515108A Drive unit for components should be adjusted 审中-公开
公开(公告)号：JP2012515108A
公开(公告)日：2012-07-05
申请号：JP2011545692
申请日：2010-01-13
申请人：マグナアウテカアーゲー
发明人：シャドラー，ベルンバード , ドーンホファ，ヘルマン
IPC分类号： B60R1/066
CPC分类号： G02B7/198 , B60R1/062 , B60R1/072
摘要： The drive has a housing (12) for receiving drive elements and an element partly encompassing the housing. The encompassing element is pivotably arranged with a support relative to the housing. The drive has a unit for elastic pretensioning between the housing and the encompassing element. The unit for elastic tensioning comprises a compensating element (6) arranged around a central axis (14) of the housing. The compensating element moves under the effect of a spring force axial to the exertion of pressure on the support and on the element encompassing the housing.

3. 发明专利

JP5950129B2 マイクロリソグラフィ露光装置の投影対物系有权
标题翻译：微光刻曝光设备的投射物镜
公开(公告)号：JP5950129B2
公开(公告)日：2016-07-13
申请号：JP2013537130
申请日：2011-11-03
申请人：カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー
发明人：エンキシュハルトムート , ミューレンダーシュテファン , マンハンス−ユールゲン , フライマンロルフ
IPC分类号： G02B17/08 , G02B13/24 , G02B13/14 , G03F7/20
CPC分类号： G03F7/702 , G02B7/198 , G03F7/70233 , G03F7/70308

4. 发明专利

JP2013543274A Projection objective of a microlithography exposure apparatus 有权
公开(公告)号：JP2013543274A
公开(公告)日：2013-11-28
申请号：JP2013537130
申请日：2011-11-03
申请人：カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー
发明人：ハルトムートエンキシュ , シュテファンミューレンダー , ハンス−ユールゲンマン , ロルフフライマン
IPC分类号： H01L21/027 , G02B13/14 , G02B13/24 , G02B17/08
CPC分类号： G03F7/702 , G02B7/198 , G03F7/70233 , G03F7/70308
摘要：本発明は、ＥＵＶに向けて設計されたマイクロリソグラフィ投影露光装置の作動において照明される物体平面を像平面に結像するための投影露光装置の投影対物系に関し、投影対物系は、複数の別々のミラーセグメント（１６１〜１６３；２６１〜２６６，２８１〜２８４；３１１，３１２；４１１，４１２；５１０〜５４０）を含む少なくとも１つのミラーセグメント配列（１６０，２６０，２８０，３１０，４１０，５００）を有し、同じミラーセグメント配列のミラーセグメントには、互いに異なり、かつ物体平面（ＯＰ）の像平面（ＩＰ）内への結像をそれぞれ可能にする部分ビーム経路が関連付けられ、これらの部分ビーム経路は、像平面（ＩＰ）内で重ね合わされ、像平面（ＩＰ）内の同じ点において重ね合わされる少なくとも２つの部分ビームは、同じミラーセグメント配列の異なるミラーセグメントによって反射されたものである。
【選択図】図１

5. 发明专利

JP2005517291A Surface mirror having a large number of mirror 有权
公开(公告)号：JP2005517291A
公开(公告)日：2005-06-09
申请号：JP2003566598
申请日：2002-12-23
申请人：カール・ツァイス・エスエムティー・アーゲー
发明人：ザイフェルト、アンドレアス , ズィンゲル、ボルフガング , バイス、マルクス , ハイスラー、アンドレアス , ファルタス、ユルゲン , ホルデラー、フベルト , マン、ハインツ , メルツァー、フランク
IPC分类号： G02B5/09 , G02B7/182 , G02B7/198 , G02B26/08 , G03F7/20 , H01L21/027
CPC分类号： G03F7/70075 , G02B5/09 , G02B7/1821 , G02B7/1824 , G02B7/198 , G02B26/0833 , G03F7/70108 , G03F7/70141 , G03F7/70175 , G03F7/702
摘要：【課題】多数の鏡面を有する面鏡【解決手段】本発明は、複数の面（１１）を具備し且つマイクロリソグラフィの特にＥＵＶリソグラフィの投影設備（１）用の照明機器（３）に使用される面鏡（１０）に関する。各鏡面（１１）には、球形本体（１７）が設けられている。鏡表面（１２）が球形本体（１７）の窪み（１８）に配列されている。上記鏡表面（１２）とは反対側の球形本体（１７）の側部は、軸受装置（１５）に位置決めされている。１つのこのような面鏡（１０）を調整するための装置において、レバー要素（２３）が鏡面（１１）の各々に、鏡表面（１２）とは反対側の球形本体（１７）の側部に、配列されている。調整システム（２７）は、球形本体（１７）とは反対側の領域に、レバー要素（２３）に係合して、球形本体（１７）がこの中心軸を中心にして変位するのを可能にする。

6. 发明专利

JP6312113B2 分割鏡式望遠鏡の鏡交換装置およびその鏡交換方法有权
公开(公告)号：JP6312113B2
公开(公告)日：2018-04-18
申请号：JP2017547635
申请日：2016-02-15
申请人：三菱電機株式会社
发明人：春名正樹 , 福島一彦 , 金利映 , 惣福諭 , 仲尾次利崇 , 堀内弥 , 猿田祐輔 , 高木淳治 , 川口昇 , 江崎豊
IPC分类号： G02B23/02 , G02B7/198 , B25J13/08
CPC分类号： B25J13/085 , B25J5/04 , B25J9/0018 , B25J9/003 , B25J9/04 , B25J13/088 , B25J13/089 , B25J15/0206 , B25J15/0253 , B25J19/02 , B25J19/023 , G02B5/09 , G02B7/183 , G02B7/198 , G02B23/02

7. 发明专利

JPWO2016199262A1 カセグレン鏡保持機構及びこれを備えた顕微鏡、並びに、カセグレン鏡の取付方法审中-公开
公开(公告)号：JPWO2016199262A1
公开(公告)日：2017-11-09
申请号：JP2017523041
申请日：2015-06-11
申请人：株式会社島津製作所
发明人：上田　篤 , 篤上田
IPC分类号： G02B7/198 , G02B21/06
CPC分类号： G02B7/182 , G02B7/198 , G02B21/06
摘要：カセグレン鏡200は、主鏡201、及び、当該主鏡201と同軸上に配置され、側方から複数の支持棒によって支持された副鏡202を有する。カセグレン鏡200は、主鏡201の軸線L上に形成された開口部212から入射する光を副鏡202で反射させた後、主鏡201で反射させて副鏡202の側方の開口部231から測定位置に出射させる。カセグレン鏡200を保持するためのカセグレン鏡保持機構6は、カセグレン鏡200を保持する保持部61と、軸線Lを中心として、保持部61に保持されたカセグレン鏡200における複数の支持棒の回転位置を調整する回転調整機構60(ナット部62及び取付部材63)とを備える。

8. 发明专利

JP5787659B2 撮像装置有权
公开(公告)号：JP5787659B2
公开(公告)日：2015-09-30
申请号：JP2011166965
申请日：2011-07-29
申请人：キヤノン株式会社
发明人：山名一彰
IPC分类号： G03B19/12
CPC分类号： G03B19/12 , G02B7/1821 , G02B7/198

9. 发明专利

JP5556621B2 Vehicle outside mirror device 有权
公开(公告)号：JP5556621B2
公开(公告)日：2014-07-23
申请号：JP2010264175
申请日：2010-11-26
申请人：市光工業株式会社
发明人：郁夫坂田
IPC分类号： B60R1/074
CPC分类号： B60R1/074 , B60R1/07 , G02B7/182 , G02B7/198

10. 发明专利

JP6326936B2 表示装置有权
公开(公告)号：JP6326936B2
公开(公告)日：2018-05-23
申请号：JP2014089189
申请日：2014-04-23
申请人：日本精機株式会社
发明人：石橋亮一 , 小林哲志 , 牛田典彦 , 安達由子
IPC分类号： B60K35/00 , H02P8/00 , G02B27/01
CPC分类号： G02B27/0149 , B60K35/00 , B60K37/02 , B60K2350/2065 , B60K2350/352 , G02B7/182 , G02B7/198 , G02B26/08 , G02B26/0816 , G02B27/01 , G02B27/0179 , G02B27/14 , G02B2027/0154 , G02B2027/0159 , G02B2027/0161 , G02B2027/0163 , G02B2027/0181 , G02B2027/0185 , G09G3/001 , G09G5/32 , G09G2300/04 , G09G2380/10 , H02P8/00 , H02P8/22 , H02P8/24

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式