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    • 7. 发明专利
    • ミラーデバイス
    • JPWO2017018312A1
    • 2018-05-24
    • JP2017530815
    • 2016-07-21
    • 京セラ株式会社
    • 岡田 浩希
    • G02B26/10B81B3/00G02B26/08
    • B81B3/00G02B26/08G02B26/10
    • 本開示の一態様に係るミラーデバイス(10)は、固定部(1)と、ミラー部(2)と、第1接続部(3)と、第1梁部(4)と、第2接続部(5)と、第2梁部(6)とを具備する。ミラー部(2)は、主面を有するとともにこの主面上に光反射面を有する。第1接続部(3)は、前記ミラー部(2)に接続された第1端を有するとともにこの第1端から第1方向(X軸方向)に延びている。第1梁部は、前記固定部(1)および前記第1接続部(3)を接続するとともに前記第1方向に対して交差するように延びている。また、第1梁部(4)は、電圧を印加することで変形可能である。第2接続部(5)は、前記第1端から前記第1方向に延びる仮想直線上において、前記第1梁部(4)または前記第1接続部(3)に接続された第2端を有するとともにこの第2端から前記第1方向に延びている。第2梁部(6)は、前記固定部(1)および前記第2接続部(5)を接続するとともに前記第1方向に対して交差するように延びており、電圧を印加することで変形可能である。