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1. 发明专利

JP6243762B2 圧力センサ有权
公开(公告)号：JP6243762B2
公开(公告)日：2017-12-06
申请号：JP2014051682
申请日：2014-03-14
申请人：サーパス工業株式会社
发明人：蓮沼正裕
IPC分类号： G01L9/04 , G01L19/12 , G01L19/06
CPC分类号： G01L19/0092 , G01L19/0672 , G01L27/007 , G01L7/08 , G01L9/06 , G01M3/20 , G01M3/38

2. 发明专利

JP2015135339A 圧力センサモジュール及び蓋体有权
标题翻译：压力传感器模块和盖子
公开(公告)号：JP2015135339A
公开(公告)日：2015-07-27
申请号：JP2015046488
申请日：2015-03-09
申请人：株式会社フジクラ
发明人：冨田道和
IPC分类号： H01L29/84 , G01L9/00
CPC分类号： G01L9/06 , G01L19/0038 , G01L19/069 , G01L19/147 , H01L2224/05554 , H01L2224/48091 , H01L2224/48137 , H01L2224/48227 , H01L2224/49109 , H01L2224/49175 , H01L2224/73265 , H01L23/053 , H01L25/167 , H01L2924/16151 , H01L2924/16152
摘要：【課題】圧力センサモジュール内部への光の進入を抑制し、出力特性の変化又は誤動作を防止することができる圧力センサモジュールを提供する。【解決手段】本発明の圧力センサモジュールは、基板(2)と、前記基板(2)に接合された蓋体(3)と、前記基板(2)及び前記蓋体(3)により囲まれてなる内部空間(C )に収容された、半導体圧力センサ素子(10)及び前記半導体圧力センサ素子(10) と機能的に接続された集積回路素子(20)と、前記内部空間(C)と外部空間とを連通させる圧力導入孔(S1)と、前記外部空間と前記内部空間(C)との間に設けられ、前記圧力導入孔(S1)の孔軸が変曲して形成された光遮断部(R1)と、を有する。【選択図】図3A
摘要翻译：要解决的问题：提供一种压力传感器模块，其能够抑制光进入压力传感器模块的内部并防止输出特性或故障的变化。解决方案：根据本发明的压力传感器模块具有：电路板（2）; 连接到电路板（2）的盖子（3）; 半导体压力传感器元件（10）和与半导体压力传感器元件（10）功能性连接的集成电路元件（20），两者都容纳在由电路板（2）封闭形成的内部空间（C）中，并且盖子（3）; 用于具有内部空间（C）和外部空间彼此连通的压力引入孔（S1）; 设置在所述外部空间和所述内部空间（C）之间并由所述压力导入孔（S1）的孔轴形成的遮光部（R1）变形。

3. 发明专利

JP2015511006A 圧力センサ及び対応するセンサの製造方法有权
标题翻译：的压力传感器的制造方法和相应的传感器
公开(公告)号：JP2015511006A
公开(公告)日：2015-04-13
申请号：JP2014560360
申请日：2013-03-06
申请人：オキシトロルエス.アー. , オキシトロルエス.アー. , セントレナショナルデラリシェルシェサイエンティフィックラボラトワールダナリセエダルキテクチャールデシステムズ , セントレナショナルデラリシェルシェサイエンティフィックラボラトワールダナリセエダルキテクチャールデシステムズ
发明人：ブリダ，セバスチャーノ , ネール，ジャン−フランソワル , ネール，ジャン−フランソワル
IPC分类号： G01L9/00 , H01L29/84
CPC分类号： B81B3/0021 , B32B38/08 , B81B7/0006 , B81B7/02 , B81B2201/0264 , B81B2203/0127 , B81B2207/07 , B81B2207/095 , B81B2207/096 , B81C1/00182 , B81C1/00341 , G01L7/08 , G01L9/0045 , G01L9/0052 , G01L9/0054 , G01L9/0055 , G01L9/006 , G01L9/008 , G01L9/04 , G01L9/06 , G01L19/0061 , G01L19/0069 , G01L19/0076 , G01L19/147 , G01L19/148 , H01L2224/45169 , Y10T29/49888 , Y10T156/10
摘要：本発明は圧力センサを製造する方法に関し、歪みゲージが堆積された可変薄膜と支持体を組み立てて微小機械構造体を得る、組み立て工程を含み、可変薄膜はその中心に薄化領域を有し、支持体は可変薄膜の上に配置され、支持体は上面と、可変薄膜と接触した下面とを有し、支持体は歪みゲージの上に配置された外側凹部と可変薄膜の薄化領域の上に配置された中央凹部とを更に含む。いったん組み立て工程が得られると、上記方法は、少なくとも1つの導電性物質を支持体の上面上及び支持体の外側凹部内に堆積する単一の工程を含み、導電性物質は歪みゲージと接触するために外側凹部に延在し、歪みゲージに接続する電気接点を形成する。
摘要翻译：涉及一种方法，本发明用于制造压力传感器，获得的微机械结构组装可变薄膜应变仪已经沉积支撑件包括一个装配步骤中，可变薄膜具有在中心具有薄区域，支撑被放置在可变薄膜，在支撑体和顶表面，并且与所述可变薄膜，在所述外凹部的薄区域和可变薄膜的基板设置在所述应变仪接触的下表面还包括一个设置中央凹部。一旦获得了组装过程中，该方法包括在上表面的外侧凹陷和在所述支撑载体的沉积至少一个导电材料的单个步骤，所述导电材料与所述应变仪接触向外延伸的凹部，以形成电接触以连接到应变仪。

4. 发明专利

JP2014215098A 力変換素子有权
标题翻译：力传感器
公开(公告)号：JP2014215098A
公开(公告)日：2014-11-17
申请号：JP2013090884
申请日：2013-04-24
申请人：横河電機株式会社 , Yokogawa Electric Corp
发明人： TAKENAKA KAZUMA
IPC分类号： G01L1/18 , H01L29/84
CPC分类号： H01L29/84 , G01L1/16 , G01L1/18 , G01L5/162 , G01L5/167 , G01L9/0052 , G01L9/008 , G01L9/06 , H01L29/1602
摘要：【課題】高配向性ダイヤモンドを用いたピエゾ抵抗体の結晶方位依存性を利用した力変換素子等を提供する。【解決手段】ダイヤモンドピエゾ抵抗体のピエゾ抵抗係数の絶対値が、方向を主軸としたときのピエゾ抵抗係数π11またはπ12の絶対値よりも大きくなるように、前記ダイヤモンドピエゾ抵抗体を形成する。高配向性ダイヤモンドを用いたピエゾ抵抗体の結晶方位依存性を利用して種々の力変換素子を得ることができる。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供力传感器等，利用使用高取向金刚石的压电阻器的晶体取向依赖性。解决方案：形成金刚石压电电阻器，使得压电 - 当假设<100>方向为主轴时，金刚石压电电阻器的电阻系数大于压电阻系数的绝对值; 11或＆pgr; 12。通过利用使用高取向金刚石的压电电阻的晶体取向依赖性可以获得各种力传感器。

5. 发明专利

JP2004061164A Semiconductor mechanical amount sensor 有权
公开(公告)号：JP2004061164A
公开(公告)日：2004-02-26
申请号：JP2002216648
申请日：2002-07-25
申请人： Denso Corp , 株式会社デンソー
发明人： YOSHIHARA SHINJI , TOYODA INEO , SUZUKI YASUTOSHI
IPC分类号： G01P21/00 , G01L1/22 , G01L9/00 , G01L9/06 , G01L27/00 , G01P15/12 , H01L21/00 , H01L27/14 , H01L29/84
CPC分类号： G01L9/0054 , G01L9/06 , G01L27/005 , G01L27/007
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a diaphragm semiconductor pressure sensor which can detect sensor output and failure diagnosis output from a bridge circuit formed by gauge resistances and can adjust offset voltage of both outputs.
SOLUTION: Each of the four gauge resistances Ra-Rd consists of separated gauge resistances Ra1-Rd2. Terminals B1 and C1, led out of wirings H2 and H9 located between the separated gauge resistances and having the same voltage when pressure is not applied thereon, can be used as failure diagnosis output terminals. In addition, each of the sensor output terminals C and B consists of three terminals Ba-Bc and Ca-Cc, respectively, and each of the three terminals led out of different positions of the wiring resistances of H3 and H8, respectively. One of the failure diagnosis output terminals B1 consists of three terminals B1a-B1c, each of which is led out from different positions of the wiring resistances of H2.
COPYRIGHT: (C)2004,JPO

6. 发明专利

JPS59162431A Pressure detecting circuit 失效
标题翻译：压力检测电路
公开(公告)号：JPS59162431A
公开(公告)日：1984-09-13
申请号：JP3595983
申请日：1983-03-07
申请人： Hitachi Ltd
发明人： UCHIYAMA KAORU , KURITA MASAHIRO
IPC分类号： G01L9/04 , G01L9/00 , G01L9/06
CPC分类号： G01L9/06
摘要： PURPOSE:To prevent the hunting of a switch and to make characteristic aging less, by comparing the outputs of intermediate points of a bridge formed by strain gages, controlling a driving terminal by feedback, and providing hysteresis. CONSTITUTION:A bridge circuit comprises resistors 4, 5, 6, and 7, whose resistances are decreased and increased with respect to pressures, and which are semiconductor piezoelectric resistors that are diffused and formed in silicon diaphragm. A pressure measuring strain gage is formed by the bridge circuit. The outputs of the intermediate points of the bridge circuit are compared and processed. The measured output corresponding to the pressure is outputted as a switching output for controlling the air fuel ratio and the like of an internal combustion engine. Meanwhile, the output of a comparator 10 is fed back to the driving terminal of the bridge circuit. Hysteresis is provided in the measured output from the comparator 10. Thus the hunting of the switch is prevented, abrasion and the like are not generated due to the constitution having no mechanical contact points and the like, and the characteristic aging variation are reduced.
摘要翻译：目的：通过比较由应变计形成的桥梁的中间点的输出，通过反馈控制驱动端子并提供滞后，防止开关的捕获和特性老化较少。构成：桥接电路包括电阻器4,5,6和7，其电阻相对于压力减小并增加，并且是在硅膜片中扩散和形成的半导体压电电阻器。压力测量应变计由桥式电路形成。对桥接电路的中间点的输出进行比较和处理。输出对应于压力的测量输出作为用于控制内燃机的空燃比等的切换输出。同时，比较器10的输出反馈到桥式电路的驱动端。在比较器10的测量输出中提供迟滞。因此，由于没有机械接触点等的结构，防止开关的振荡，不产生磨损等，并且特性老化变化减小。

7. 发明专利

JP2018159594A 圧力センサチップ、圧力発信器、および圧力センサチップの製造方法审中-公开
公开(公告)号：JP2018159594A
公开(公告)日：2018-10-11
申请号：JP2017056192
申请日：2017-03-22
申请人：アズビル株式会社
发明人：徳田智久
IPC分类号： H01L29/84 , G01L19/06 , G01L9/00
CPC分类号： G01L9/06 , G01L1/2287
摘要：【課題】測定レンジのマルチ化を実現することが可能な新たなチップ構造を有する圧力センサチップを提供する。【解決手段】本発明に係る圧力センサチップ1は、第1主面および第2主面に開口した圧力導入路111を有する第1層11と、圧力導入路の一端を覆うダイアフラム124と、第1ひずみゲージ126と、第2ひずみゲージ125とを有し、第1層の第2主面上に配置された第2層12と、第3主面と、第3主面に形成された凹部131とを有し、第3主面が第2層上に配置された第3層13とを有し、凹部は、ダイアフラムを介して圧力導入路と対面して形成され、凹部は、第1主面と垂直な方向から見て圧力導入路の内側に形成され、第1ひずみゲージは、第1主面と垂直な方向から見て凹部の外側の領域に形成され、第2ひずみゲージは、第1主面と垂直な方向から見て第1ひずみゲージよりも内側の領域に形成されていることを特徴とする。【選択図】図1B

8. 发明专利

JP2017156241A 圧力センサチップ及び圧力センサ审中-公开
公开(公告)号：JP2017156241A
公开(公告)日：2017-09-07
申请号：JP2016040305
申请日：2016-03-02
申请人：オムロン株式会社
发明人：森原大輔 , 井上勝之
IPC分类号： H01L29/84 , G01L9/00
CPC分类号： G01L9/06
摘要：【課題】小型化および高精度化が可能な圧力センサチップを提供する。【解決手段】半導体基板内に形成され密閉された圧力基準室と、該圧力基準室と外部との間に形成され前記圧力基準室内の圧力と外部の圧力の差によって変形するダイアフラムと、前記ダイアフラムに設けられ該ダイアフラムの変形に応じた電気信号を発生可能なセンサ部と、を備える圧力センサチップであって、前記半導体基板の平面視において、前記圧力基準室、前記ダイアフラム及び前記センサ部を含む検出部の周囲のうち一部を接続部とし、前記接続部を残して前記検出部の周囲に当該半導体基板を貫通する貫通溝が形成され、前記半導体基板内における前記検出部以外の部分と前記検出部とを前記貫通溝によって分離する。【選択図】図1

9. 发明专利

JP2015232538A 油充填パッケージングにおける表面電荷耐性のためのMEMS圧力センサフィールドシールドレイアウト有权
标题翻译： MEMS压力传感器油田填充包装中表面电荷免疫的场屏蔽布局
公开(公告)号：JP2015232538A
公开(公告)日：2015-12-24
申请号：JP2014231454
申请日：2014-11-14
申请人：センサータテクノロジーズインコーポレーテッド
发明人：マークピーマクニール , ダグラスビーストロット , スティーヴンピーグリーン
IPC分类号： H01L29/84 , B81B3/00 , G01L9/00
CPC分类号： G01L9/06 , G01F1/44 , G01F1/76 , G01L19/069 , G01L9/0054 , G01L9/0055 , H01L41/25 , Y10T29/42
摘要：【課題】油入パッケージに実装された半導体圧力感知素子はにおける表面電荷の蓄積によるオフセットドリフト、静電気放電などの影響を軽減する。【解決手段】センサ10は、ダイヤフラム34上に配置された感知副素子61を含み、感知副素子61、電気的コンタクトビア63および相互接続部62の上にフィールドシールド70を配置することにより、動作中に、シリコンダイ12上の外部の電荷の影響を実質的に取り除くように構成される。【選択図】図9
摘要翻译：要解决的问题：减少包装在含油包装中的半导体压力感测元件中由于表面电荷积聚引起的静电放电和偏移漂移的影响。解决方案：传感器10包括传感子元件61 设置在子元件61上的场屏蔽70，电接触通孔63和互连62被配置为基本上消除在操作期间外部电荷对硅芯片12的影响。

10. 发明专利

JP5761536B2 力変換素子有权
标题翻译：电源转换元件
公开(公告)号：JP5761536B2
公开(公告)日：2015-08-12
申请号：JP2013090884
申请日：2013-04-24
申请人：横河電機株式会社
发明人：竹中一馬
IPC分类号： H01L29/84 , G01L1/18
CPC分类号： H01L29/84 , G01L1/16 , G01L1/18 , G01L5/162 , G01L5/167 , G01L9/0052 , G01L9/008 , G01L9/06 , H01L29/1602

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