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1. 发明专利

JPWO2012098730A1 液体気化器有权
公开(公告)号：JPWO2012098730A1
公开(公告)日：2014-06-09
申请号：JP2012553555
申请日：2011-09-01
申请人： Ckd株式会社 , Ckd株式会社
发明人：雅之纐纈 , 雅之纐纈 , 板藤　寛 , 寛板藤
IPC分类号： B01J7/00
CPC分类号： C23C16/4482 , B01B1/00 , B01B1/005 , B01D1/14 , B01F3/022 , C23C14/24 , H01L21/67017
摘要：本発明は、薬液供給口から供給された薬液を気化させて媒体ガスに混合させる液体気化器100を提供する。液体気化器100は、混合ガス生成空間116を有する気化器本体110と、混合ガス生成空間116の内部に配置された気化部120と、を備える。気化部120は、気化面87が形成されている気化部120本体と、線材を網目状に規則的に編むことによって面状に形成されている網状体69とを有する。網状体69は、線材によって囲まれている空間であって、網状体69の面内方向に規則的に配列されている複数の網目空間を形成し、気化部120は、網状体69と気化面87とが相互に当接することによって線材と気化面87とによって囲まれている空間であって、網状体69の面内方向に規則的に配列されている複数の薬液供給空間を形成している。

2. 发明专利

JP5637714B2 真空二重配管の接続構造有权
标题翻译：真空双层管的连接结构
公开(公告)号：JP5637714B2
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：JP2010074342
申请日：2010-03-29
申请人： Ckd株式会社 , Ckd株式会社 , 株式会社ミラプロ
发明人：雅之纐纈 , 雅之纐纈 , 板藤　寛 , 寛板藤 , 早川　慎司 , 慎司早川 , 靖河野 , 靖河野
IPC分类号： F16L39/04 , F16L9/18 , F16L51/02 , F16L59/06

3. 发明专利

JPWO2012105109A1 真空制御バルブ、真空制御装置、およびコンピュータプログラム有权
公开(公告)号：JPWO2012105109A1
公开(公告)日：2014-07-03
申请号：JP2012538900
申请日：2011-11-21
申请人： Ckd株式会社 , Ckd株式会社
发明人：雅之纐纈 , 雅之纐纈 , 板藤　寛 , 寛板藤
IPC分类号： F16K31/126 , F16K31/128 , F16K37/00 , F16K51/02
CPC分类号： F16K3/06 , F16J1/01 , F16K31/1262 , F16K51/02 , H01L21/67017
摘要：プラズマを使用する真空容器の気体の流れを制御するポペット方式の真空制御バルブを提供する。本発明は、プラズマを発生させる真空容器と真空ポンプとの間に接続され、弁開度の操作によって真空容器内の真空圧力を制御する真空制御バルブ10を提供する。真空制御バルブ10は、真空流路に形成されている弁座43を有する制御バルブ本体40と、直線運動によって弁座43との間の距離であるリフト量Laを調整して弁開度の操作を行う弁体33と、駆動力を発生させる直線駆動部からの駆動力を伝達させるロッドと、ロッドを摺動させて真空流路を封止する摺動封止部と、ロッドの摺動範囲を被覆する円筒型部材32とを備える。摺動範囲は、リフト量の操作によって、バルブボディ流路46側から外部側に移動可能な範囲を含む。円筒型部材32は、ロッドの外表面よりも単位面積当たりの作動流体の吸収量が少ない外周面を有する。

4. 发明专利

JPWO2011040067A1 液体気化システム有权
公开(公告)号：JPWO2011040067A1
公开(公告)日：2013-02-21
申请号：JP2010537983
申请日：2010-03-30
申请人： Ckd株式会社 , Ckd株式会社
发明人：雅之纐纈 , 雅之纐纈 , 板藤　寛 , 寛板藤
IPC分类号： H01L21/027 , B01J7/02
CPC分类号： B01B1/005
摘要：液体材料の残留の問題を解消しつつ、液体材料の気化の促進を図ることができる液体気化システムを提供する。液体気化システム10には、液体気化装置20が設けられている。本装置20は、ポンプ11と、気化器12とを備えている。気化器12は、ケース21と、ケース21の内部に設けられたヒータと、ヒータにより加熱される蓄熱板23と、蓄熱板23上に設けられたメッシュ24とを備えている。メッシュ24は、線材24aが編み込まれることにより形成され、全体としては平板状をなしている。蓄熱板23の上面にメッシュ24が重ねられることで蓄熱板23上にはメッシュ24により微細な凹凸が設けられている。メッシュ24の上方にはノズル27が設けられ、ノズル27から液体材料が蓄熱板23(メッシュ24)上に滴下される。液体材料は蓄熱板23上を薄膜状に拡がり蓄熱板23の上面で加熱され気化される。

5. 发明专利

JP5261545B2 Vacuum control system and vacuum control method 有权
公开(公告)号：JP5261545B2
公开(公告)日：2013-08-14
申请号：JP2011159146
申请日：2011-07-20
申请人： Ckd株式会社
发明人：雅之纐纈 , 寛板藤
IPC分类号： G05D16/20 , F16K31/126 , F16K51/02
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide technology for controlling gas flow in a vacuum vessel. SOLUTION: A vacuum controlling system 10 is provided, which controls using a vacuum pump the vacuum pressure and flow of process gas in a vacuum vessel 500 that performs a process to a subject of process with a supply of process gas from a gas supply unit. The vacuum control system 10 is provided with vacuum controlling valves 100, 200 that are connected between a plurality of gas exhaust ports 561, 562 disposed at different positions from each other in the vacuum vessel 500 and a vacuum pump 300; a pressure measurement unit 631 that measures the vacuum pressure of the process gas supplied to the subject of process; and a control device 610 that operates a degree of opening of the plurality of vacuum control valves 561, 562 in accordance with a measured vacuum pressure. COPYRIGHT: (C)2012,JPO&INPIT

6. 发明专利

JPWO2015034005A1 電磁アクチュエータ用電機子コイル、電磁アクチュエータ、露光装置、及びデバイス製造方法审中-公开
标题翻译：电枢线圈电磁致动器，电磁致动器，曝光装置，以及元件制造方法
公开(公告)号：JPWO2015034005A1
公开(公告)日：2017-03-02
申请号：JP2015535515
申请日：2014-09-04
申请人： Ckd株式会社 , 株式会社ニコン
发明人：彰浩伊藤 , 雅之纐纈 , 樹森本 , 宏充吉元 , 幸次田中
IPC分类号： H02K3/04 , H01F7/06
CPC分类号： H01F5/06 , G03F7/70758 , H01F5/00 , H01F7/08 , H01F27/2847 , H01F2027/2857 , H02K3/04 , H02K3/47 , H02K41/031
摘要： X軸リニアモータの固定子を構成し、通電により磁場を生成する電機子コイル(60)は、銅により形成され、所定の巻線軸周りに巻かれた帯状の導電層(62a)と、導電層(62a)の対向する面部間に設けられ、対向する導電層(62a)相互間を電気的に絶縁する帯状の絶縁層(62b)と、導電層(62a)の対向面同士を絶縁層(62b)を介して接着する接着層(62c)とを備える。
摘要翻译：配置在X轴的线性马达的定子，用于产生由通电磁场中的电枢线圈（60）由铜制成的，带状的导电层缠绕在预定的卷绕轴（62A），所述导电层相对的（62A）的表面部分，朝向（62A）带状绝缘层的导电层电绝缘的相互和（62B），所述导电层的绝缘层的相对的面（62A）（62B之间设置）通过与用于结合（62C接合层）。

7. 发明专利

JP5337082B2 Sample injector 有权
公开(公告)号：JP5337082B2
公开(公告)日：2013-11-06
申请号：JP2010053323
申请日：2010-03-10
申请人： Ckd株式会社
发明人：寛板藤 , 雅之纐纈
IPC分类号： G01N30/20 , G01N1/00
CPC分类号： G01N30/20 , G01N35/1097 , G01N2030/201 , G01N2030/202 , G01N2030/207
摘要： This invention provides a sample injector for injecting a fixed amount of a sample into a mobile phase medium and discharging the mobile phase medium with the sample. The sample injector includes a first member having a medium passage for supplying the mobile phase medium and a sample passage for supplying the sample and a second member having a discharge passage for discharging the mobile phase medium with the sample to an outside of the injector. The second member is provided in contact with the first member. The first member and the second member are configured to move to a sample charging position and a sample injection position. The sample charging position is for the sample chamber to connect with the sample passage. The sample injection position is for the sample chamber to connect with the medium passage and the discharge passage.

8. 发明专利

JP5166655B2 Vacuum control valve, vacuum control apparatus, and computer program 有权
公开(公告)号：JP5166655B2
公开(公告)日：2013-03-21
申请号：JP2012538900
申请日：2011-11-21
申请人： Ckd株式会社
发明人：雅之纐纈 , 寛板藤
IPC分类号： F16K1/36 , F16K1/00 , F16K31/126 , F16K51/02 , H01L21/302
CPC分类号： F16K3/06 , F16J1/01 , F16K31/1262 , F16K51/02 , H01L21/67017
摘要： A vacuum control valve connected between a vacuum chamber and a vacuum pump includes a control valve main body having a valve seat formed in a vacuum flow passage, a valve body that manipulates the valve opening by performing a linear motion to adjust a lift, a rod that transmits driving force from a linear driving unit that generates the driving force, a sliding/sealing member that seals the vacuum flow passage while allowing the rod to slide, and a cylindrical member that covers a sliding range of the rod. The sliding range includes a range movable from a valve body flow passage side to an exterior side. The cylindrical member has an outer peripheral surface, a working fluid absorption amount per unit area of the outer peripheral surface being smaller than that of an outer surface of the rod.

9. 发明专利

JP5410456B2 Liquid vaporization system 有权
公开(公告)号：JP5410456B2
公开(公告)日：2014-02-05
申请号：JP2011003760
申请日：2011-01-12
申请人： Ckd株式会社
发明人：雅之纐纈 , 寛板藤
IPC分类号： B01J7/02 , B05B7/16 , H01L21/027 , H01L21/31
CPC分类号： B01B1/005

10. 发明专利

JPWO2014174926A1 ゲートバルブ有权
标题翻译：闸阀
公开(公告)号：JPWO2014174926A1
公开(公告)日：2017-02-23
申请号：JP2015513612
申请日：2014-03-11
申请人： Ckd株式会社
发明人：雅之纐纈 , 寛板藤
IPC分类号： F16K41/10 , F16K3/314 , F16K51/02
CPC分类号： F16K51/02 , F16K3/184
摘要：ゲートバルブ10は、開口部12aに対応した形状を有する弁体95と、貫通孔12cを通じて真空室12の外部から内部へ開口部12aの開口方向に交差する第1方向に沿って挿通され、弁体95に接続された弁軸96と、弁軸96のうち真空室12の外部にある部分を密閉状態で覆い、且つ第1方向に沿って伸縮可能な覆い部材74と、真空室12の外部に配置され、覆い部材74と貫通孔の周囲との間をシールするOリングと、真空室12の外部に配置され、弁軸96及び覆い部材71を介して、第1方向及び開口部12aの開口方向である第2方向へ弁体95を往復動させる駆動機構と、駆動機構により弁体95を往復動させる際に、Oリングによりシールした状態を維持しつつ、覆い部材74と貫通孔の周囲とを相対移動させる相対移動機構90と、を備える。
摘要翻译：闸阀10包括：阀体具有对应于开口12a的形状95，它沿着从外侧到在开口12a的开口方向上的真空室12的内部的第一方向交叉穿过通孔12c插入时，阀并连接到阀杆96到主体95，覆盖有密封部分，其外部的阀轴96的真空腔室12，并且沿着该第一方向的可伸展盖部件74，真空室12的外部布置，所述O形环的通孔在盖构件74的外周之间进行密封，设置在真空腔室12的外侧，通过阀轴96和盖构件71中，第一方向和开口12a 用于在第二方向上的阀元件95的驱动机构是开口方向往复运动，当阀体95由驱动机构作往复运动，同时保持由所述O形环，所述覆盖部件74通孔被密封的状态下包括用于相对移动的环境中，相对移动机构90。

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