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1. 发明专利

JP6415730B2 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム审中-公开
公开(公告)号：JP6415730B2
公开(公告)日：2018-10-31
申请号：JP2017536466
申请日：2016-08-24
申请人：株式会社KOKUSAI ELECTRIC
发明人：橋本良知 , ▲ひろせ▼ 義朗
IPC分类号： H01L21/31 , H01L21/318 , C23C16/44 , C23C16/455 , H01L21/316
CPC分类号： C23C16/4412 , C23C16/401 , C23C16/4401 , C23C16/4482 , C23C16/45536 , C23C16/45544 , C23C16/45561 , H01L21/02164 , H01L21/02219 , H01L21/02274 , H01L21/0228 , H01L21/31 , H01L21/67 , H01L21/67017 , H01L21/67109

2. 发明专利

JP2017076800A ガス制御システム、及び、ガス制御システム用プログラム审中-公开
公开(公告)号：JP2017076800A
公开(公告)日：2017-04-20
申请号：JP2016202066
申请日：2016-10-13
申请人：株式会社堀場エステック
发明人：西里洋 , 瀧尻興太郎 , 南雅和 , 寺岡温子
IPC分类号： C23C16/448 , C23C16/455 , H01L21/205
CPC分类号： C23C16/52 , C23C16/4481 , C23C16/4482 , G01N21/3504 , G01N21/84 , G05D11/00 , G01N2021/8411 , G01N2021/8578
摘要：【課題】材料ガスが再液化した液滴や材料の熱分解により生じたパーティクルによる濃度又は流量の制御への影響が表れるのを防ぎ、予め定められた濃度又は流量で混合ガスを供給する事が可能なガス制御システムを提供する。【解決手段】キャリアガスラインL1又は前記ガス供給ラインL2に設けられた第1バルブ22と、希釈ガスラインL3に設けられ、流量センサ32及び第2バルブ33を具備する流量制御機構MFCと、非接触式の第1濃度センサ21と、第1バルブ制御部23と、予め設定される前記希釈後混合ガスの設定総流量と、前記希釈後測定濃度と、に基づいて前記希釈ガスラインにおいて流されるべき希釈ガスの流量である希釈ガス設定流量を算出する希釈ガス設定流量算出部35と、前記希釈ガス設定流量、及び、前記流量センサで測定される測定流量の偏差が小さくなるように前記第2バルブ33の開度を制御する第2バルブ制御部34と、を備えた。【選択図】図1

3. 发明专利

JP2016208026A 前駆体材料の送達のための容器及び方法有权
标题翻译：容器和方法用于递送所述前体材料的
公开(公告)号：JP2016208026A
公开(公告)日：2016-12-08
申请号：JP2016081953
申请日：2016-04-15
申请人：エアプロダクツアンドケミカルズインコーポレイテッド , AIR PRODUCTS AND CHEMICALS INCORPORATED
发明人：チャールズマイケルバーチャー , トーマスアンドリュースタイデル , セルゲイウラジーミラビチイワノフ
IPC分类号： H01L21/205 , C23C16/448 , H01L21/31
CPC分类号： C23C16/4481 , C23C16/4482 , C23C16/45561
摘要：【課題】キャリヤーガスを用いて容器内に含まれる前駆体材料から前駆体含有流体流を運ぶための容器を提供する。【解決手段】容器は、上部容積と下部容積とに分割される内部容積を画定しており、上部容積は下部容積と流体連通しており、下部容積は実質的に全ての前駆体材料を含み、セパレーターにより上部容積から隔てられている。容器は、入口ポートから、セパレーターを通って延在し、そこに形成される複数の開口部を有する遠位端部を有し、容器の底部内部壁に沿って延在する、ディフューザ管を備える。【選択図】図1
摘要翻译：为了提供包含在与载气携带含前驱物的流体流的容器中的前体材料的容器。一种容器限定内部容积被划分成上部体积和较低的音量，在与下部体积流体连通的上部体积，更低的体积将包含基本上所有的前体材料的，它是从由隔板上部容积分开。容器，从入口端口延伸穿过所述分离器，具有形成在其中具有多个开口的前端部，其沿容器的底部内壁延伸，包括一个扩散管。点域1

4. 发明专利

JP5974121B2 送達デバイス、その製造方法、およびそれを含む物品有权
标题翻译：输送装置，其制造方法，以及制品，其包括在同一
公开(公告)号：JP5974121B2
公开(公告)日：2016-08-23
申请号：JP2015006066
申请日：2015-01-15
申请人：ロームアンドハースエレクトロニックマテリアルズエルエルシー , Rohm and Haas Electronic Materials LLC
发明人：エグベルト・ヴォルク , ロナルド・エル・ディカルロ , デオダッタ・ビナヤク・シェナイ−ハトハテ
IPC分类号： F27B14/08 , F27D3/16 , C23C16/448
CPC分类号： C23C16/4482 , B01B1/005 , B01B1/06 , B01D1/14 , B01J4/002 , B01J4/004 , B01J4/02 , C23C16/4407 , C23C16/45561 , Y10T137/0391 , Y10T137/2076

5. 发明专利

JP5889971B2 安定した先駆物質供給のための泡供給システム有权
标题翻译：泡沫供给系统稳定的前体供应
公开(公告)号：JP5889971B2
公开(公告)日：2016-03-22
申请号：JP2014148227
申请日：2014-07-18
申请人：レール・リキード−ソシエテ・アノニム・プール・レテュード・エ・レクスプロワタシオン・デ・プロセデ・ジョルジュ・クロード
发明人：坂田洋一 , 柳田和孝 , 中川利幸 , 中本直之
IPC分类号： B05B1/20 , C23C16/448
CPC分类号： H01L21/02 , C23C16/4482 , C23C16/52 , Y10T137/0318

6. 发明专利

JP5810101B2 液体気化器有权
标题翻译：液体蒸发器
公开(公告)号：JP5810101B2
公开(公告)日：2015-11-11
申请号：JP2012553555
申请日：2011-09-01
申请人： CKD株式会社
发明人：纐纈雅之 , 板藤寛
IPC分类号： B01J7/00
CPC分类号： C23C16/4482 , B01B1/00 , B01B1/005 , B01D1/14 , B01F3/022 , C23C14/24 , H01L21/67017

7. 发明专利

JP5726831B2 化学気相堆積のための装置及び方法有权
标题翻译：装置和方法，用于化学气相沉积
公开(公告)号：JP5726831B2
公开(公告)日：2015-06-03
申请号：JP2012226073
申请日：2012-10-11
申请人：アプライドマテリアルズインコーポレイテッド , APPLIED MATERIALS,INCORPORATED
发明人：カールソン, ディヴィッド, ケー. , サンチェス, エロール , クプラオ, サティーシ
IPC分类号： H01L21/31 , C23C16/448
CPC分类号： C23C16/4482

8. 发明专利

JP2014114463A Raw material vaporization and supply device 有权
标题翻译：原料气化和供应装置
公开(公告)号：JP2014114463A
公开(公告)日：2014-06-26
申请号：JP2012267021
申请日：2012-12-06
申请人： Fujikin Inc , 株式会社フジキン
发明人： HIDAKA ATSUSHI , NAGASE MASAAKI , YAMASHITA SATORU , NISHINO KOJI , IKEDA SHINICHI
IPC分类号： C23C16/448 , H01L21/31
CPC分类号： C23C16/4485 , C23C16/4481 , C23C16/4482 , C23C16/52 , F17C9/02 , F22B1/284 , F22B1/285
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To stably supply a raw material gas with high purity and desired concentration to a process chamber while performing flow rate control with high precision by making substantially any raw material gas into a raw material gas with desired high temperature and high vapor pressure without causing any thermal decomposition irrelevantly to whether the raw material is solid or liquid.SOLUTION: In a raw material gas supply device comprising a raw material receiving tank, a vaporizer which vaporizes a liquid pressure-fed from the liquid receiving tank, a flow rate control device which controls the flow rate of a raw material gas from the vaporizer, and a heating device which heats desired parts of the vaporizer, high-temperature and pressure type flow rate control device, and a pipeline connected thereto, respective liquid contact parts or gas contact parts of metal surfaces of any of at least the raw material receiving tank, vaporizer, flow rate control device, pipeline connecting the devices to one another, and an on/off valve interposed in the pipeline are subjected to AlOpassive-state processing, CrOpassive state processing, or FeFpassive state processing.
摘要翻译：要解决的问题：通过将基本上任何原料气体基本上成为具有期望的高温和高蒸气压的原料气体，来将高纯度和期望浓度的原料气体稳定地供应到处理室，同时以高精度进行流量控制不会对原料是固体还是液体造成任何热分解。解决方案：在原料气体供给装置中，包括原料接收罐，蒸发从液体接收罐供给的液体的蒸发器，控制装置，其控制来自蒸发器的原料气体的流量;以及加热装置，其加热蒸发器，高温和压力型流量控制装置的所需部分以及与其连接的管道，各自的液体接触部分或至少原料接收罐，蒸发器，流量控制装置，管道c中任何一个的金属表面的气体接触部分将设备彼此连接，并且插入管道中的开/关阀进行AlOpassive状态处理，CrOpassive状态处理或FeFpassive状态处理。

9. 发明专利

JPWO2012098730A1 液体気化器有权
公开(公告)号：JPWO2012098730A1
公开(公告)日：2014-06-09
申请号：JP2012553555
申请日：2011-09-01
申请人： Ckd株式会社 , Ckd株式会社
发明人：雅之纐纈 , 雅之纐纈 , 板藤　寛 , 寛板藤
IPC分类号： B01J7/00
CPC分类号： C23C16/4482 , B01B1/00 , B01B1/005 , B01D1/14 , B01F3/022 , C23C14/24 , H01L21/67017
摘要：本発明は、薬液供給口から供給された薬液を気化させて媒体ガスに混合させる液体気化器100を提供する。液体気化器100は、混合ガス生成空間116を有する気化器本体110と、混合ガス生成空間116の内部に配置された気化部120と、を備える。気化部120は、気化面87が形成されている気化部120本体と、線材を網目状に規則的に編むことによって面状に形成されている網状体69とを有する。網状体69は、線材によって囲まれている空間であって、網状体69の面内方向に規則的に配列されている複数の網目空間を形成し、気化部120は、網状体69と気化面87とが相互に当接することによって線材と気化面87とによって囲まれている空間であって、網状体69の面内方向に規則的に配列されている複数の薬液供給空間を形成している。

10. 发明专利

JP5383038B2 Bubbler for constant supply steam solid compound 有权
公开(公告)号：JP5383038B2
公开(公告)日：2014-01-08
申请号：JP2007517248
申请日：2005-05-17
申请人：アクゾノーベルナムローゼフェンノートシャップAkzo Nobel N.V.
发明人：ナム，ハントラン， , デニス，レオンダベンポート， , タエホコ， , ナダエル−ツェイン，
IPC分类号： H01L21/205 , C23C16/448
CPC分类号： C23C16/4482 , C23C16/4481

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