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1. 发明专利

JP5707082B2 液体の表面を浮遊する試料の走査電子顕微鏡観察方法有权
标题翻译：扫描电子显微镜的方法标本浮在液体的表面
公开(公告)号：JP5707082B2
公开(公告)日：2015-04-22
申请号：JP2010228064
申请日：2010-10-08
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：塩野正道 , 西村雅子 , 許斐麻美 , 桑畑進
IPC分类号： G01N1/10 , G01N23/225 , G01N1/28
CPC分类号： G01N23/2202 , G01N23/2251 , H01J37/20 , H01J37/28 , G01N1/2813 , H01J2237/2002 , H01J2237/2605

2. 发明专利

JP6035602B2 荷電粒子線装置、試料台ユニット、及び試料観察方法有权
标题翻译：的带电粒子束的装置，所述试样台单元和样品观察方法
公开(公告)号：JP6035602B2
公开(公告)日：2016-11-30
申请号：JP2012254835
申请日：2012-11-21
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：大南祐介 , 許斐麻美 , 河西晋佐 , 鈴木宏征
IPC分类号： H01J37/20 , H01J37/28
CPC分类号： H01J37/20 , H01J37/16 , H01J37/224 , H01J37/28 , H01J2237/2002 , H01J2237/2003 , H01J2237/2004 , H01J2237/2608 , H01J2237/28

3. 发明专利

JP5799147B2 荷電粒子線装置有权
公开(公告)号：JP5799147B2
公开(公告)日：2015-10-21
申请号：JP2014162024
申请日：2014-08-08
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：重藤訓志 , 佐藤貢 , 飯泉紀子 , 能田弘行 , 西村雅子 , 渡邉俊哉 , 許斐麻美 , 富田真一 , 多持隆一郎
IPC分类号： H01J37/24 , H01J37/153 , H01J37/21 , H01J37/22

4. 发明专利

JP6118870B2 試料観察方法有权
公开(公告)号：JP6118870B2
公开(公告)日：2017-04-19
申请号：JP2015199039
申请日：2015-10-07
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：大南祐介 , 許斐麻美 , 伊東祐博 , 大瀧智久 , 河西晋佐
IPC分类号： H01J37/28 , H01J37/18 , H01J37/20

5. 发明专利

JP5923412B2 観察装置および光軸調整方法有权
标题翻译：观察装置和光轴调整方法
公开(公告)号：JP5923412B2
公开(公告)日：2016-05-24
申请号：JP2012184844
申请日：2012-08-24
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：大南祐介 , 許斐麻美 , 河西晋佐 , 伊東祐博
IPC分类号： H01J37/16 , H01J37/20 , H01J37/04 , H01J37/18
CPC分类号： H01J37/18 , H01J37/04 , H01J37/09 , H01J37/16 , H01J37/20 , H01J37/228 , H01J37/261 , H01J37/28 , H01J2237/045 , H01J2237/164 , H01J2237/1825 , H01J2237/2602 , H01J2237/2605

6. 发明专利

JP5857158B2 イオンミリング装置有权
公开(公告)号：JP5857158B2
公开(公告)日：2016-02-10
申请号：JP2015522636
申请日：2014-04-28
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：金子朝子 , 高須久幸 , 武藤宏史 , 岩谷徹 , 許斐麻美
IPC分类号： H01J37/30 , G01N1/28 , H01J37/20
CPC分类号： H01J37/20 , G01K1/14 , H01J37/3002 , H01J37/3023 , H01J37/3053 , G01N1/32 , H01J2237/002 , H01J2237/026 , H01J2237/08 , H01J2237/2001 , H01J2237/2007 , H01J2237/20271 , H01J2237/20285 , H01J2237/317 , H01J37/30

7. 发明专利

JP2016001629A 試料観察方法有权
标题翻译：样本观察方法
公开(公告)号：JP2016001629A
公开(公告)日：2016-01-07
申请号：JP2015199039
申请日：2015-10-07
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：大南祐介 , 許斐麻美 , 伊東祐博 , 大瀧智久 , 河西晋佐
IPC分类号： H01J37/28 , H01J37/20
摘要：【課題】使い勝手良く試料を荷電粒子技術及び光学技術にて的確に検査又は観察することが可能な検査装置、観察装置が提供される。【解決手段】荷電粒子照射部から放出された一次荷電粒子線が試料に到達する間の少なくとも一部の領域となる真空状態に維持可能な第一空間の少なくとも一部を形成する第一の筐体と、該第一筐体に具備され前記試料を格納可能な第二空間の少なくとも一部を形成する第二筐体と、前記荷電粒子照射部から照射された一次荷電粒子線が試料上に照射する際の前記荷電粒子照射部の同軸上に配置され、前記第一空間と前記第二空間とを隔てる隔壁部と、前記試料に対し光を照射し、前記荷電粒子照射部と同方向から前記試料からの光を検出する光学式観察部と、を備える検査又は観察装置が提供される。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供一种能够使用带电粒子技术和光学技术适当地检查或观察样品的用户友好的检查系统或观察系统。解决方案：提供一种检查或观察系统，包括：第一壳体，其形成第一空间的至少一部分，其能够保持在真空状态，所述真空状态是至少一部分区域，直到从带电粒子照射部发射的初级带电粒子的辐射到达样品; 包括在第一壳体中的第二壳体，其形成能够存储样品的第二空间的至少一部分; 分隔壁部，与带电粒子照射部同轴配置，当从带电粒子照射部发射一次带电粒子时照射样品并将第一空间与第二空间分离; 以及光学观察部，其照射所述样品并从与所述带电粒子照射部的方向相同的方向检测来自所述样品的光线。

8. 发明专利

JP5723801B2 荷電粒子線装置および配線方法有权
标题翻译：带电粒子束的装置和接线方法
公开(公告)号：JP5723801B2
公开(公告)日：2015-05-27
申请号：JP2012022637
申请日：2012-02-06
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：橋本陽一朗 , 中澤英子 , 許斐麻美 , 竹内秀一
IPC分类号： G01N1/28 , H01J37/20
CPC分类号： C23C14/221 , H01J37/3178 , H01J2237/31732 , H01J2237/31735

9. 发明专利

JP6276563B2 荷電粒子線装置、試料観察システムおよび操作プログラム有权
公开(公告)号：JP6276563B2
公开(公告)日：2018-02-07
申请号：JP2013234858
申请日：2013-11-13
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：小西弥生 , 佐藤貢 , ▲高▼野昌樹 , 玉山尚太朗 , 西村雅子 , 渡邉俊哉 , 許斐麻美
IPC分类号： H01J37/22 , H01J37/24
CPC分类号： H01J37/222 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/2806

10. 发明专利

JP5951223B2 電子顕微法、電子顕微鏡および観察標体作製装置有权
标题翻译：电子显微镜，电子显微镜和观察样品制作装置
公开(公告)号：JP5951223B2
公开(公告)日：2016-07-13
申请号：JP2011241040
申请日：2011-11-02
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：三羽貴文 , 小瀬洋一 , 中澤英子 , 許斐麻美 , 渡邉俊哉 , 木村嘉伸 , 津野夏規
IPC分类号： H01J37/28 , H01J37/20 , G01B15/02 , G01N1/28
CPC分类号： H01J37/261 , G01B15/02 , G01N23/00 , H01J37/026 , H01J37/28 , H01J2237/0044 , Y10T428/24331 , Y10T428/261

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