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    • 47. 发明专利
    • 半導体装置
    • 半导体器件
    • JP2016027622A
    • 2016-02-18
    • JP2015112158
    • 2015-06-02
    • 株式会社東芝
    • 小松 香奈子高橋 啓太猪原 正弘
    • H01L27/088H01L21/336H01L29/78H01L21/822H01L27/04H01L27/06H01L21/8234
    • H01L27/0629H01L27/0207H01L27/0266H01L27/088H01L29/0692H01L29/0847H01L29/1095H01L29/7835H01L21/823425H01L29/0653H01L29/1045
    • 【課題】低オン抵抗を維持しつつ、耐ESD性能が向上した半導体装置を提供することである。 【解決手段】実施形態に係る半導体装置は、基板と、前記基板上に設けられた第1トランジスタと、前記基板上に設けられた第2トランジスタと、を備える。前記第1トランジスタ及び前記第2トランジスタは、それぞれ、第1導電形のウェルと、前記ウェル上に設けられ、第1方向に延びる帯状領域と、前記ウェル上に設けられ、前記帯状領域から離隔し、前記第1方向に延びる第2導電形のドレイン領域と、を有する。前記帯状領域においては、バックゲート領域及びソース領域が前記第1方向に沿って交互に配列されている。前記第1トランジスタの前記帯状領域における前記第1方向に沿った前記バックゲート領域の長さに対する前記ソース領域の長さの比の値は、前記第2トランジスタの前記帯状領域における前記比の値よりも大きい。 【選択図】図2
    • 要解决的问题:提供一种在保持低导通电阻的同时实现改进的ESD电阻的半导体器件。解决方案:根据实施例的半导体器件包括衬底,设置在衬底上的第一晶体管和设置在衬底上的第二晶体管 。 第一晶体管和第二晶体管中的每一个具有第一导电类型阱,设置在阱上并沿第一方向延伸的带状区域和设置在阱上并远离的第二导电类型漏极区域。 带状区域并沿第一方向延伸。 在带状区域中,沿着第一方向交替布置背栅区和源区。 第一晶体管的带状区域中的源极区域的长度与沿着第一方向的背栅极区域的长度的比率大于第二晶体管的带状区域中的比率。选择图: 图2