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11. 发明专利

JP2014199696A 磁気リードライト検査方法及びその装置有权
标题翻译：磁读/写检查方法及其装置
公开(公告)号：JP2014199696A
公开(公告)日：2014-10-23
申请号：JP2013074150
申请日：2013-03-29
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ , Hitachi High-Technologies Corp
发明人： SAKURAI YOSHIHIRO , SUZUKI TOSHIAKI , KISHIE KAZUHIKO
IPC分类号： G11B5/84 , G11B5/00 , G11B5/455 , G11B21/10
摘要：【課題】位置決め精度を維持しながら過大な熱ドリフト変位を補償することにより、高精度な磁気リードライト検査を可能にする。【解決手段】磁気リードライト検査装置を、磁気ディスクを搭載して回転可能なスピンドルと、磁気ヘッドを磁気ディスク上の所望の位置に位置決めする微動ステージ手段と、磁気ヘッドの位置を微調整する微動アクチュエータ手段と、磁気ディスク上に形成されたサーボパターンを磁気ヘッドで読み取ったデータを処理するデータ処理手段と、磁気ヘッドを磁気ディスク上のサーボトラックに追従させるサーボ制御手段とを備えて構成し、サーボ制御手段は、磁気ヘッドをサーボトラックに追従させるために微動アクチュエータ手段で磁気ヘッドの位置を微調整する調整量の磁気ディスク1周分の平均値が予め設定した許容範囲を超えた場合には微動ステージ手段を駆動して磁気ヘッドの位置を調整するようにした。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：通过在保持定位精度的同时补偿过多的热漂移位移来允许高精度的磁读/写检查。解决方案：磁读/写检测装置包括：主轴安装在其上并旋转磁盘; 微动平台装置，用于将磁头定位到磁盘上的期望位置; 精细运动致动器装置，用于微调磁头的位置; 数据处理装置，用于处理通过用磁头读取形成在磁盘上的伺服模式而获得的数据; 以及用于使磁头跟随磁盘上的伺服轨道的伺服控制装置。伺服控制装置驱动精细运动级装置来调节磁头的位置，在使用一磁盘的数据的平均值，其中使用精细运动致动器装置，以使磁头跟随伺服轨道超过允许范围。

12. 发明专利

JP2014199690A 磁気ヘッド検査装置及び磁気ヘッド検査方法审中-公开
标题翻译：磁头检测装置及磁头检测方法
公开(公告)号：JP2014199690A
公开(公告)日：2014-10-23
申请号：JP2013073999
申请日：2013-03-29
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ , Hitachi High-Technologies Corp
发明人： MATSUSHITA NORIMITSU , HIDA AKIRA , ISHII SHINJIRO , SUGIYAMA TOSHINORI
IPC分类号： G11B5/455
摘要：【課題】ヘッド表面に急峻な段差や異物が存在しても、Zステージをこれに良く追従させ、カンチレバーの損傷を防止すること。【解決手段】磁気ヘッド検査装置は、磁気ヘッド(ローバー1)を載置し2次元方向に走査するXYステージ11,12と、先端に磁性探針を有し所定周波数で励振されるカンチレバー7と、カンチレバーを磁気ヘッドの表面から所定高さに保持するZステージ13と、磁気ヘッドの発生磁界により生じるカンチレバーの変位量を検出して変位信号を出力する変位検出部44と、変位信号の分布に基づいて磁気ヘッドの実効トラック幅を求める制御部30と、変位信号を目標値と比較し、その差分信号に応じてXYステージの走査速度を制御する走査速度制御部90と、を備える。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：即使当在磁头表面上存在陡峭的台阶或异物时，通过允许Z平台有利地遵循磁头来防止悬臂的损坏。解决方案：磁头检查装置包括：XY 其上安装有磁头（行杆1）并且二维地执行扫描的阶段11和12; 悬臂7，其尖端具有磁性探针并以规定的频率被激励; Z台13，其将悬臂从磁头的表面保持在规定的高度; 位移检测单元44，其检测由磁头产生的磁场引起的悬臂的位移量，并输出位移信号; 控制单元30，其基于位移信号的分布获得磁头的有效轨道宽度; 以及扫描速度控制单元90，其将位移信号与目标值进行比较，并且基于差信号来控制XY平台的扫描速度。

13. 发明专利

JP2014120181A Magnetic head positioning device, magnetic head and magnetic disk inspection device 审中-公开
标题翻译：磁头定位装置，磁头和磁盘检查装置
公开(公告)号：JP2014120181A
公开(公告)日：2014-06-30
申请号：JP2012272596
申请日：2012-12-13
申请人： Hitachi High-Technologies Corp , 株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人： ANDO YASUHIRO
IPC分类号： G11B5/455 , G11B21/10 , G11B21/21
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a magnetic head positioning device capable of increasing a resonant frequency and performing highly precise positioning and to provide a magnetic head and a magnetic disk inspection device.SOLUTION: A magnetic head positioning device includes: a coarse actuator for coarsely moving a magnetic head in a two-dimensional manner; and first and second fine actuators mounted on the coarse actuator for finely moving the magnetic head. The first fine actuator includes a movable part for moving a head gimbal assembly (HGA) with a piezo actuator in a direction of extension and contraction of the piezo actuator. The movable part includes: a movable beam that extends in the extension and contraction direction and a vertical direction and receives pressing force by the piezo actuator in the extension and contraction direction through a hinge for transmitting the pressing force in the extension and contraction direction and a hinge for preventing the movable beam from moving in a direction other than the extension and contraction direction because of motion of the piezo actuator; and a restraint beam that is provided parallel to the movable beam and restrains a head fixing part from moving in the extension and contraction direction.
摘要翻译：要解决的问题：提供一种能够增加谐振频率并执行高精度定位并提供磁头和磁盘检查装置的磁头定位装置。解决方案：一种磁头定位装置，包括：粗略的致动器以二维方式移动磁头; 以及安装在粗略致动器上的第一和第二精细致动器，用于使磁头微细移动。第一精细致动器包括用于使压电致动器沿压电致动器的伸缩方向移动头部万向节组件（HGA）的可移动部件。可移动部分包括：可移动梁，其在伸缩方向和垂直方向上延伸并且通过用于在延伸和收缩方向上传递按压力的铰链在伸缩方向上受到压电致动器的按压力，并且铰链，用于防止可移动光束由于压电致动器的运动而在除了延伸和收缩方向之外的方向上移动; 以及与所述可动光束平行设置的约束光束，并且抑制头部固定部在伸出和收缩方向上移动。

14. 发明专利

JP2014071925A Method and apparatus for inspecting thermally assisted magnetic head 有权
标题翻译：用于检查热辅助磁头的方法和装置
公开(公告)号：JP2014071925A
公开(公告)日：2014-04-21
申请号：JP2012216219
申请日：2012-09-28
申请人： Hitachi High-Technologies Corp , 株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人： MURAKAMI SHINICHIRO , TOKUTOMI TERUAKI , SAITO NAOYA , HIROSE TAKESHI , CHANG KE-BONG , KITANO KEISHO
IPC分类号： G11B5/455 , G01Q60/02 , G01Q60/18 , G01Q60/54 , G01Q80/00
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an apparatus for inspecting a thermally assisted magnetic head that optimizes a positional relation between a near-field light emitting unit and scattered light detection means.SOLUTION: An apparatus for inspecting a thermally assisted magnetic head comprises: scanning type probe microscope means provided with a cantilever whose tip has a probe having its surface formed with a magnetic film; image taking means for taking an image of a thermally assisted magnetic head element in the visual field that is mounted on a XY table; scattered light detection means having a light detector for detecting scattered light generated from the probe when the probe is in a generation area of near-field light generated from a near-field light emitting unit formed on the thermally assisted magnetic head element; light detector switching means for mechanically switching between a layout of a CCD camera of the image taking means and a layout of the light detector of the scattered light detection means, except a lens system used in common for both the means, to enable application of either one of the means; and alignment means for recognizing and processing an image taken by the image taking means to adjust a relative position between the near-field light emitting unit and the scattered light detection means to an appropriate position for detecting the scattered light with the scattered light detection means.
摘要翻译：要解决的问题：提供一种用于检查热辅助磁头的装置，其优化近场发光单元和散射光检测装置之间的位置关系。解决方案：用于检查热辅助磁头的装置包括：扫描型具有悬臂的探针显微镜装置，其尖端具有其表面形成有磁性膜的探针; 用于在安装在XY工作台上的视场中拍摄热辅助磁头元件的图像的摄像装置; 散射光检测装置，具有光检测器，用于当探针处于形成在热辅助磁头元件上的近场发光单元产生的近场光的产生区域中时，用于检测由探头产生的散射光; 光检测器切换装置，用于在图像获取装置的CCD照相机的布局与散射光检测装置的光检测器的布局之间机械地切换，除了用于两个装置的共同使用的透镜系统之外，以使得能够应用其中一种手段; 以及对准装置，用于识别和处理由摄像装置拍摄的图像，以将近场发光单元和散射光检测装置之间的相对位置调整到用于利用散射光检测装置检测散射光的适当位置。

15. 发明专利

JP2014070970A Method and apparatus for inspecting thermally assisted magnetic head 有权
标题翻译：用于检查热辅助磁头的方法和装置
公开(公告)号：JP2014070970A
公开(公告)日：2014-04-21
申请号：JP2012216337
申请日：2012-09-28
申请人： Hitachi High-Technologies Corp , 株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人： KITANO KEISHO , TOKUTOMI TERUAKI , SAITO NAOYA , HIROSE TAKESHI , CHANG KE-BONG
IPC分类号： G01Q60/18 , G01Q60/50 , G01Q80/00 , G11B5/31 , G11B5/455
CPC分类号： G01Q60/22 , B82Y20/00 , B82Y25/00 , B82Y35/00 , G01Q60/02 , G01Q60/56 , G11B5/455 , G11B2005/0021
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To surely detect scattered light generated at a probe in a tip of a cantilever in a near-field light emitting area when detecting a thermally assisted magnetic head.SOLUTION: An apparatus for inspecting a thermally assisted magnetic head comprises: scanning type probe microscope means provided with a cantilever whose tip has a probe having its surface formed with a magnetic film; a probe unit that feeds an AC current to a terminal formed on a thermally assisted magnetic head element and makes a laser incident to a near-field light emitting unit; image taking means for taking images of the probe unit and the thermally assisted magnetic head element; scattered light detection means for detecting scattered light generated from the probe through a pinhole when the probe is in a generation area of near-field light in the thermally assisted magnetic head element; and signal processing means for performing detection, by the use of an output signal output from scanning type probe microscope means by scanning with the probe in a state where an AC current is fed to the terminal and an output signal output from the scattered light detection means by scanning with the probe in a state where near-field light is generated.
摘要翻译：要解决的问题：当检测到热辅助磁头时，确保在近场发光区域中检测在悬臂的尖端处的探针处产生的散射光。解决方案：用于检查热辅助磁头的装置包括：扫描型探针显微镜装置，其具有悬臂，其尖端具有其表面形成有磁性膜的探针; 探针单元，其将AC电流馈送到形成在热辅助磁头元件上的端子，并使激光入射到近场发光单元; 用于拍摄探针单元和热辅助磁头元件的图像的图像拍摄装置; 散射光检测装置，用于当探头处于热辅助磁头元件中的近场光的产生区域时，通过针孔检测从探针产生的散射光; 以及信号处理装置，用于通过使用从扫描型探针显微镜装置输出的输出信号，通过在AC电流被馈送到端子的状态下用探头扫描并且从散射光检测装置输出的输出信号进行检测通过在产生近场光的状态下用探针进行扫描。

16. 发明专利

JP2014070959A Method and apparatus for inspecting thermally assisted magnetic head 有权
标题翻译：用于检查热辅助磁头的方法和装置
公开(公告)号：JP2014070959A
公开(公告)日：2014-04-21
申请号：JP2012216218
申请日：2012-09-28
申请人： Hitachi High-Technologies Corp , 株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人： HIDA AKIRA , TOKUTOMI TERUAKI , SAITO NAOYA , HIROSE TAKESHI , CHANG KE-BONG , KITANO KEISHO
IPC分类号： G01Q60/18 , G01Q60/24 , G01Q60/50 , G11B5/31 , G11B5/455
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an apparatus for inspecting a thermally assisted magnetic head that optimizes a positional relation between a near-field light emitting unit and scattered light detection means.SOLUTION: An apparatus for inspecting a thermally assisted magnetic head comprises: scanning type probe microscope means provided with a cantilever whose tip has a probe having its surface formed with a magnetic film; image taking means for taking an image of a heat assisted magnetic head element, in the visual field, mounted on a XY table; scattered light detection means having a light detector for detecting scattered light generated from the probe when the probe is in a generation area of near-field light generated from a near-field light emitting unit formed on the thermally assisted magnetic head element; optical system switching means for mechanically switching between a layout of the image taking means and a layout of the scattered light detection means to enable application of either one of the means; and alignment means for recognizing and processing an image taken by the image taking means to adjust a relative position between the near-field light emitting unit and the scattered light detection means to an appropriate position for detecting the scattered light with the scattered light detection means.
摘要翻译：要解决的问题：提供一种用于检查热辅助磁头的装置，其优化近场发光单元和散射光检测装置之间的位置关系。解决方案：用于检查热辅助磁头的装置包括：扫描型具有悬臂的探针显微镜装置，其尖端具有其表面形成有磁性膜的探针; 摄像装置，用于拍摄安装在XY台上的视野中的热辅助磁头元件的图像; 散射光检测装置，具有光检测器，用于当探针处于形成在热辅助磁头元件上的近场发光单元产生的近场光的产生区域中时，用于检测由探头产生的散射光; 光学系统切换装置，用于在图像拍摄装置的布局和散射光检测装置的布局之间进行机械切换，以实现装置中的任一个; 以及对准装置，用于识别和处理由摄像装置拍摄的图像，以将近场发光单元和散射光检测装置之间的相对位置调整到用于利用散射光检测装置检测散射光的适当位置。

17. 发明专利

JP2013242937A Magnetic device measuring apparatus and magnetic device measuring method 有权
标题翻译：磁性装置测量装置和磁性装置测量方法
公开(公告)号：JP2013242937A
公开(公告)日：2013-12-05
申请号：JP2012115195
申请日：2012-05-21
申请人： Hitachi Information & Telecommunication Engineering Ltd , 株式会社日立情報通信エンジニアリング
发明人： WATANABE AKIHIKO
IPC分类号： G11B5/455 , G01R33/09 , G11B5/00 , G11B5/39
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a magnetic device measuring apparatus capable of increasing an update frequency of magnetic field.SOLUTION: The magnetic device measuring apparatus comprises: a D/A converter 11 that uses as an input a sampling clock signal generated by a D/A sampling clock generator 12 generating a sampling clock signal having a constant cycle, and outputs a control voltage V obtained by D/A converting the sampling clock signal; a coil power source 10 that generates sine wave coil current for driving an electromagnet 15 by using the control voltage V outputted from the D/A converter 11; and a D/A converter 13 that D/A converts the sampling clock signal and outputs the converted signal as a measurement timing clock for a characteristics measuring apparatus 14. The D/A converter 13 generates a measurement timing clock having a timing at which amounts of change in isomagnetic field of the electromagnet are the same.
摘要翻译：要解决的问题：提供一种能够增加磁场更新频率的磁性装置测量装置。解决方案：磁性装置测量装置包括：D / A转换器11，其使用由D产生的采样时钟信号作为输入采样时钟发生器12产生具有恒定周期的采样时钟信号，并输出通过对采样时钟信号进行D / A转换而获得的控制电压V; 线圈电源10，其通过使用从D / A转换器11输出的控制电压V产生用于驱动电磁铁15的正弦波线圈电流; 以及D / A转换器13，D / A转换采样时钟信号，并输出转换信号作为特性测量装置14的测量定时时钟.D / A转换器13产生测量定时时钟，其具有定时量电磁铁的等磁场变化是相同的。

18. 发明专利

JP5201332B2 Characteristic measuring method and apparatus for thin-film magnetic head element 有权
公开(公告)号：JP5201332B2
公开(公告)日：2013-06-05
申请号：JP2008053612
申请日：2008-03-04
申请人： Tdk株式会社
发明人：昭雄小川 , 努近松 , 和範松岩 , 山口　　晴彦
IPC分类号： G11B5/455 , G11B5/31

19. 发明专利

JP5087887B2 Head magnetic field measurement method and the head magnetic field measuring device 有权
公开(公告)号：JP5087887B2
公开(公告)日：2012-12-05
申请号：JP2006229758
申请日：2006-08-25
申请人：富士通株式会社
发明人：貴之安部 , 利明永井 , 伸一若菜
IPC分类号： G01R33/02 , G11B5/455

20. 发明专利

JP2012526336A How to retrieve apparatus and method for positioning to the disk for acceptance and test read / write heads, as well as the read / write heads tested from the test apparatus 审中-公开
公开(公告)号：JP2012526336A
公开(公告)日：2012-10-25
申请号：JP2012508985
申请日：2010-04-27
申请人：ザイラテックステクノロジーリミテッドXyratex Technology Limited
发明人：コリンズ，グラハム , ロウランドチャールズブレイディ，キース
IPC分类号： G11B5/455
CPC分类号： G11B5/455 , G11B5/4555
摘要：読み取り／書き込みヘッド（１００）を受け容れてディスク（５）に対して位置決めする装置及び関連する方法を開示する。当該装置は、デッキ（２）；該デッキ上のスピンドル（４）；少なくとも該スピンドルを囲んでいる安全囲い（３）；及び、少なくとも１つのヘッド受容部位を有する可動キャリッジ（５０）を含んでなる。キャリッジ（５０）は、ヘッド受容部位が安全囲いの外側にある第１の位置とヘッド受容部位が安全囲いの内側にある第２の位置との間を移動できる。当該装置はさらに、第２の位置にあるときにヘッドをヘッド受容部位から取り上げて該ヘッドを試験用ディスクへとロードするように構成された自動機構（６）を含む。
【選択図】図５

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