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1. 发明专利

JP2011161340A Spin coating method and spin coater 有权
标题翻译：旋涂法和旋涂机
公开(公告)号：JP2011161340A
公开(公告)日：2011-08-25
申请号：JP2010025119
申请日：2010-02-08
申请人： Hitachi High-Technologies Corp , 株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人： YAMASHITA HISAAKI , MORI KYOICHI , ISHIGURO TAKAYUKI , SHIZAWA NORITAKE , ISHII SHINJIRO , AOKI MASASHI
IPC分类号： B05D1/40 , B05C11/08
CPC分类号： B05D1/002 , B05C11/08 , B05D1/26 , B05D7/52 , H01L21/6715
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a spin coating method which applies a resist uniformly to the surface of a circle-shaped disk substrate with a hole opened in the center thereof.
SOLUTION: In the spin coating method for discharging a film-forming material from a nozzle and applying it to the upper surface of the circle-shaped disk substrate with a hole opened in the center thereof while rotating the disk substrate, in an initial discharging stage where the discharge amount fluctuates, the inner diameter center of the nozzle is disposed at an initial discharge radius position, a position radially outside a position corresponding to a coating boundary of the disk substrate, to dischange the film-forming material, and in a subsequent stage where the discharge amount is stable, the inner diameter center of the nozzle is moved from the initial discharge radius position to a stabilized discharge radius position, a position in the vicinity of the coating boundary, to further discharge the film-forming material.
COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：提供一种将抗蚀剂均匀地施加到具有在其中心开口的孔的圆形盘基片的表面的旋涂方法。解决方案：在用于从喷嘴排出成膜材料并将其施加到圆形盘基片的上表面的旋涂方法中，在旋转盘基片的同时在其中心开孔，同时在喷射量波动的初始喷射阶段，喷嘴的内径中心配置在初始排出半径位置，位于对应于盘基板的涂布界面的位置的径向外侧的位置，以使成膜材料放出，以及在排出量稳定的后续阶段，喷嘴的内径中心从初始排出半径位置移动到稳定的排出半径位置，涂层边界附近的位置，以进一步排出成膜材料。版权所有（C）2011，JPO＆INPIT

2. 发明专利

JP2014209399A 熱アシスト磁気ヘッド検査装置及び熱アシスト磁気ヘッド検査方法审中-公开
标题翻译：热辅助磁头检测装置及热辅助磁头检查方法
公开(公告)号：JP2014209399A
公开(公告)日：2014-11-06
申请号：JP2013203457
申请日：2013-09-30
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ , Hitachi High-Technologies Corp
发明人： ISHII SHINJIRO , MURAKAMI SHINICHIRO
IPC分类号： G11B5/455 , G11B5/02 , G11B5/31
CPC分类号： G01Q30/06 , G01Q60/02 , G11B5/455 , G11B2005/0021
摘要：【課題】熱アシスト磁気ヘッドで発生する磁界と近接場光とを測定する場合において、カンチレバー交換時に位置ずれが生じてもこれを自動的に調整すること。【解決手段】熱アシスト磁気ヘッド検査装置1は、熱アシスト磁気ヘッド11が発生する磁界をカンチレバー10の変位量から測定するヘッド磁界検出系36,37と、熱アシスト磁気ヘッド11が発生する近接場光をカンチレバー位置で生じる散乱光から測定する近接場光検出系20と、近接場光検出系を搭載し2次元方向に移動させる光学系ステージ2と、カンチレバーと磁気ヘッドの位置関係をカメラ35により撮像して表示する画像表示部を備える。カンチレバーを交換したとき、制御部4は画像表示部を参照してカンチレバーの交換による位置ずれ量を算出し、算出した位置ずれ量だけ光学系ステージ2を移動させる。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：如果在测量在热辅助磁头中产生的磁场和近场光时的悬臂更换期间发生位置偏差，则自动调整位置偏差。解决方案：热辅助磁头检查装置1包括：头磁场检测系统36和37，其基于悬臂10的位移量来测量在热辅助磁头11中产生的磁场; 基于在悬臂位置产生的扩散光来测量在热辅助磁头11中产生的近场光的近场光检测系统20; 光学系统级2，其上安装有近场光检测系统，并且在二维方向上移动近场光检测系统; 以及图像显示单元，其通过照相机35拾取悬臂与磁头之间的位置关系的图像并显示图像。当更换悬臂时，控制单元4参照图像显示单元计算由悬臂的更换引起的位置偏差量，并使光学系统平台2移动计算出的位置偏差量。

3. 发明专利

JP2011165264A Transfer object positioning method of double-sided imprint device, and double-sided imprint device 有权
标题翻译：双面印刷装置的传递对象定位方法和双面印刷装置
公开(公告)号：JP2011165264A
公开(公告)日：2011-08-25
申请号：JP2010026250
申请日：2010-02-09
申请人： Hitachi High-Technologies Corp , 株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人： ISHII SHINJIRO , TARUMITSU TAKASHI , SHIZAWA NORITAKE
IPC分类号： G11B5/84 , G11B7/26 , H01L21/027
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a transfer object positioning method of a double-sided imprint device for positioning a transfer object and upper and lower stampers with high accuracy by use of one camera without providing an alignment mark on the transfer object and to provide the double-sided imprint device. SOLUTION: The center of a rugged pattern formed on a first stamper is aligned with the center of a rugged pattern formed on a second stamper by imaging an alignment mark of the first stamper in a visual field of a camera to obtain a coordinate value of the alignment mark, imaging an edge of a circular opening of the transfer object to obtain a center coordinate value of the transfer object, calculating a deviation value therebetween, further correcting the deviation value to place the transfer object on the first stamper and then imaging an alignment mark of a second stamper via the circular opening of the transfer object. COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：提供一种双面压印装置的转印对象定位方法，用于通过使用一个相机高精度地定位转印体和上下压印机，而不在转印体上提供对准标记，提供双面打印设备。解决方案：通过在照相机的视场中成像第一压模的对准标记，在第一压模上形成的凹凸图案的中心与形成在第二压模上的凹凸图案的中心对齐，以获得坐标对准标记的值，对转印对象的圆形开口的边缘进行成像以获得转印对象的中心坐标值，计算其间的偏差值，进一步校正偏差值以将转印对象放置在第一压模上，然后经由转印体的圆形开口成像第二压模的对准标记。版权所有（C）2011，JPO＆INPIT

4. 发明专利

JP2011018717A Apparatus and method for resist application 审中-公开
标题翻译：装置及其应用方法
公开(公告)号：JP2011018717A
公开(公告)日：2011-01-27
申请号：JP2009161494
申请日：2009-07-08
申请人： Hitachi High-Technologies Corp , 株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人： MORI KYOICHI , SHIZAWA NORITAKE , TARUMITSU TAKASHI , ISHII SHINJIRO , KOIKAWA KENTARO
IPC分类号： H01L21/027
CPC分类号： G03F7/162 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an apparatus and a method for resist application wherein spots of resist are deposited in a concentric pattern on a disk substrate, and the resist is applied simultaneously to both sides of the disc.SOLUTION: The apparatus for resist application includes a disk substrate rotating motor having a rotating shaft which is inserted removably into the through-hole of the disk substrate having the through-hole in the center, two inkjet heads provided on the obverse and reverse sides, respectively, of the disk substrate such that the heads are not in contact with the sides, and a carriage for causing the two inkjet heads to move radially inward and outward with respect to the disk substrate. The disk substrate having a through-hole in the center is applied over the rotating shaft of the disk substrate rotating motor, the inkjet heads are arranged on the obverse and reverse sides of the disk substrate such that the heads are not in contact with the sides, and then the inkjet heads are moved radially inward and outward with respect to the disk substrate while the disk is rotated by the disk substrate rotating means.
摘要翻译：要解决的问题：提供一种用于抗蚀剂应用的装置和方法，其中抗蚀剂的斑点以同心图案沉积在盘基底上，并且抗蚀剂同时施加到盘的两侧。解决方案：抗蚀剂应用装置包括具有旋转轴的盘基片旋转马达，旋转轴可拆卸地插入到具有中心通孔的盘基片的通孔中，分别设置在盘基片的正面和反面上的两个喷墨头，头部不与侧面接触，以及用于使两个喷墨头相对于盘基片径向向内和向外移动的滑架。将具有中心的通孔的盘基片涂覆在盘基片旋转马达的旋转轴上，喷墨头被布置在盘基片的正面和反面上，使得头部不与侧面接触然后当盘由盘基片旋转装置旋转时，喷墨头相对于盘基片径向向内和向外移动。

5. 发明专利

JP2014199690A 磁気ヘッド検査装置及び磁気ヘッド検査方法审中-公开
标题翻译：磁头检测装置及磁头检测方法
公开(公告)号：JP2014199690A
公开(公告)日：2014-10-23
申请号：JP2013073999
申请日：2013-03-29
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ , Hitachi High-Technologies Corp
发明人： MATSUSHITA NORIMITSU , HIDA AKIRA , ISHII SHINJIRO , SUGIYAMA TOSHINORI
IPC分类号： G11B5/455
摘要：【課題】ヘッド表面に急峻な段差や異物が存在しても、Zステージをこれに良く追従させ、カンチレバーの損傷を防止すること。【解決手段】磁気ヘッド検査装置は、磁気ヘッド(ローバー1)を載置し2次元方向に走査するXYステージ11,12と、先端に磁性探針を有し所定周波数で励振されるカンチレバー7と、カンチレバーを磁気ヘッドの表面から所定高さに保持するZステージ13と、磁気ヘッドの発生磁界により生じるカンチレバーの変位量を検出して変位信号を出力する変位検出部44と、変位信号の分布に基づいて磁気ヘッドの実効トラック幅を求める制御部30と、変位信号を目標値と比較し、その差分信号に応じてXYステージの走査速度を制御する走査速度制御部90と、を備える。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：即使当在磁头表面上存在陡峭的台阶或异物时，通过允许Z平台有利地遵循磁头来防止悬臂的损坏。解决方案：磁头检查装置包括：XY 其上安装有磁头（行杆1）并且二维地执行扫描的阶段11和12; 悬臂7，其尖端具有磁性探针并以规定的频率被激励; Z台13，其将悬臂从磁头的表面保持在规定的高度; 位移检测单元44，其检测由磁头产生的磁场引起的悬臂的位移量，并输出位移信号; 控制单元30，其基于位移信号的分布获得磁头的有效轨道宽度; 以及扫描速度控制单元90，其将位移信号与目标值进行比较，并且基于差信号来控制XY平台的扫描速度。

6. 发明专利

JP2012006088A Work edge detection mechanism, and work transferring mechanism 审中-公开
标题翻译：工作边缘检测机制和工作转移机制
公开(公告)号：JP2012006088A
公开(公告)日：2012-01-12
申请号：JP2010141308
申请日：2010-06-22
申请人： Hitachi High-Technologies Corp , 株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人： SHIRAISHI TOSHIMITSU , SHIZAWA NORITAKE , TARUMITSU TAKASHI , ISHII SHINJIRO , TAKAGO HISAMASA
IPC分类号： B25J19/04 , B25J15/06 , B65H3/08
CPC分类号： B25J15/0616
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a work edge detection mechanism that allows a user to clearly view the work edge by an alignment camera without adding an illumination device, and to provide a work transferring mechanism utilizing the same.SOLUTION: The work edge detection mechanism is composed of a tubular body having an opening at one end and a blocking member at the another end. The mechanism includes: a light-reflecting means provided on the lower-surface side of the blocking member in order to reflect light entering from the opening. The mechanism is configured such that the inner diameter (φ 2) on the side of the blocking member is larger than the inner diameter (φ 1) on the side of the opening of the tubular body. If an air suction port is bored inside the tubular body while a vacuum suction head is disposed at the upper part of the tubular body, it allows detection of the work edge while allowing work transfer by vacuum suction.
摘要翻译：要解决的问题：提供一种工作边缘检测机构，其允许用户通过对准摄像机清晰地观察工作边缘而不添加照明装置，并且提供利用其的工件传送机构。解决方案：工作边缘检测机构由在一端具有开口的管状体和另一端的阻挡构件组成。该机构包括：设置在阻挡构件的下表面侧上以反射从开口进入的光的光反射装置。该机构构造成使得阻挡构件侧的内径（φ2）大于管状体的开口侧的内径（φ1）。如果空气吸入口在管体内部钻孔，而真空吸头位于管状体的上部，则允许检测工作边缘，同时允许通过真空抽吸进行工作传送。版权所有（C）2012，JPO＆INPIT

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