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1. 发明公开

EP2741310A1 Système de détection de cathodoluminescence optimisant la collection du signal, la résolution spectrale et la conservation de la brillance, et microscope mettant en oeuvre un tel système 有权转让
标题翻译：使用该系统具有改进的信号接收，光谱分辨率和亮度保持和显微镜阴极发光检测系统
公开(公告)号：EP2741310A1
公开(公告)日：2014-06-11
申请号：EP14156672.9
申请日：2011-04-29
申请人： Centre National de la Recherche Scientifique , Université Paris-Sud 11 (Paris XI)
发明人： Kociak, Mathieu , Zagonel, Luiz Fernando , Tence, Marcel , Mazzucco, Stefano
IPC分类号： H01J37/02 , H01J37/244 , H01J37/256
CPC分类号： G01N23/2254 , G01N2201/08 , H01J37/228 , H01J37/244 , H01J37/261 , H01J37/28 , H01J2237/024 , H01J2237/063 , H01J2237/24475 , H01J2237/2448 , H01J2237/24485 , H01J2237/2602 , H01J2237/2802 , H01J2237/2808
摘要： L'invention concerne un système de détection de cathodoluminescence comprenant une source de particules chargées éclairant un échantillon avec un faisceau de particules chargées, et un chemin optique comprenant au moins deux éléments optiques pour collecter et transporter un rayonnement lumineux provenant dudit échantillon éclairé vers des moyens d'analyse, caractérisé en ce que chaque élément optique est choisi de sorte que :
- l'angle maximal de sortie dudit élément optique est inférieur ou égal à 120% de l'angle maximal d'acceptance de l'élément optique suivant ; et
- le diamètre du rayonnement provenant dudit élément optique dans le plan d'entrée de l'élément optique suivant est inférieur ou égal à 120% du diamètre utile d'entrée de l'élément optique suivant.
摘要翻译：所述可调节系统包括用于收集从通过带电粒子的束照射的样品所获得的光辐射并反射的光辐射引导到分析单元，用于定位所述收集光学器件沿维度外部圆筒形管的单元的收集光学器件（112）也被置于相对于在由收集光学器件的反射光辐射的传播轴和刚性地固定到所述收集光学器件，而在接收的光辐射适配单元外缸（306）放置内部圆筒形管。所述可调节系统包括用于收集从通过带电粒子的束照射的样品所获得的光辐射并反射的光辐射引导到分析单元，用于定位所述收集光学器件沿维度外部圆筒形管的单元的收集光学器件（112）也被置于相对于在由收集光学器件，用于接收所述光辐射适配单元注入的光反射，并刚性地固定到收集光学器件到外缸（306）放置内部圆筒形管的光辐射的传播轴在辐射在光纤（116），用于在光辐射，用于分析由收集光学器件收集的光辐射的单元，和一个密封单元的传播方向相反发射光束传播的光的来源。所述定位单元包括用于沿的空间，对于在旋转轴周围旋转的收集光学器件的单元，并且可动转盘方向的收集光学器件的水平方向的移动的元素。收集光学器件包括抛物面反射镜，并用一个聚光透镜相关联的平面镜或椭圆形的并放置在平面镜的下游，并且被集成到可动转盘。内筒是自由地相对于外筒旋转。适配单元被配置为适应角度和大小的光辐射收集gemäß的尺寸，并在检测器或光纤的开口的，并且在收集光学器件的下游。光束被引导朝向由收集光学器件的样品。所述分析单元包括分光计，电荷耦合器件照相机或光电倍增管。收集光学器件在压力这是小于在大气压下的室（302）放置。所述适配单元在将压力比在腔室中的压力大一个环境放置。密封单元在所述室和所述适配单元，以保持在所述腔室中的压力之间放置。一个独立的claimsoft包括用于显微镜。

2. 发明公开

EP2317536A2 Detection device and particle beam device having a detection device 有权转让
标题翻译： Detektor und Teilchenstrahlvorrichtung mit einem solchen Detektor
公开(公告)号：EP2317536A2
公开(公告)日：2011-05-04
申请号：EP10189439.2
申请日：2010-10-29
申请人： Carl Zeiss NTS GmbH
发明人： Thomas, Christian , Stefan, Lucian
IPC分类号： H01J37/244 , H01J37/20
CPC分类号： H01J37/244 , G01N23/2254 , G01N2223/612 , H01J37/20 , H01J37/226 , H01J37/228 , H01J2237/2445 , H01J2237/2808
摘要： The invention relates to a detection device (22) and a particle beam device (1) having a detection device (22). The detection device (22) and the particle beam device (1) ensure a good efficiency in detecting interaction particles and electro-magnetic radiation. The detection device (22) has a detector (14) for detecting electromagnetic radiation and/or interaction particles and a filter element (13) through which the electromagnetic radiation is transmitted and which is designed for preventing the interaction particles from striking the detector (14) wherein the filter element (13) is situated to move between a first position (A) and a second position (B), the filter element (13) in the first position (A) being situated in relation to the detector (14) in such a way that the filter element (13) prevents the interaction particles from striking the detector (14), and wherein the filter element (13) in the second position (B) is situated in relation to the detector (14) in such a way that the filter element (13) allows the interaction particles to strike the detector (14). As an alternative, the filter element (13) may be designed as an object holder.
摘要翻译：本发明涉及具有检测装置（22）的检测装置（22）和粒子束装置（1）。检测装置（22）和粒子束装置（1）确保了检测相互作用颗粒和电磁辐射的良好效率。检测装置（22）具有用于检测电磁辐射和/或相互作用颗粒的检测器（14）和电磁辐射透过的滤光元件（13），其被设计用于防止相互作用的颗粒撞击检测器（14）），其中所述过滤元件（13）位于在第一位置（A）和第二位置（B）之间移动，所述第一位置（A）中的所述过滤元件（13）相对于所述检测器（14）定位，以使得过滤元件（13）防止相互作用颗粒撞击检测器（14），并且其中处于第二位置（B）的过滤元件（13）相对于检测器（14）位于这样的位置过滤元件（13）允许相互作用颗粒撞击检测器（14）的方式。作为替代，过滤元件（13）可以被设计为物体保持器。

3. 发明公开

EP0995086A1 ELECTRON MICROSCOPE AND SPECTROSCOPY SYSTEM 无效
标题翻译：电子和光谱系统
公开(公告)号：EP0995086A1
公开(公告)日：2000-04-26
申请号：EP99920970.3
申请日：1999-05-05
申请人： Renishaw plc
发明人： DAY, John C. C.UnivofBristol Interface Analy. Cen , BENNETT, Robert
IPC分类号： G01J3/44 , H01J37/26
CPC分类号： H01J37/228 , G01J3/0202 , G01J3/0208 , G01J3/0216 , G01J3/0243 , G01J3/44 , H01J2237/2808
摘要： An electron microscope (10) is adapted to enable spectroscopic analysis of a sample (16). A parabolic mirror (18) has a central aperture (20) through which the electron beam can pass. The mirror (18) focuses laser illumination from a transverse optical path (24) onto the sample, and collects Raman and/or other scattered light, passing it back to an optical system (30). The mirror (18) is retractable (within the vacuum of the electron microscope) by a sliding arm assembly (22).

4. 发明公开

EP0598569A1 Cathodoluminescence detector 失效
标题翻译： Kathodolumineszens Detektor。
公开(公告)号：EP0598569A1
公开(公告)日：1994-05-25
申请号：EP93309077.1
申请日：1993-11-12
申请人： NATIONAL UNIVERSITY OF SINGAPORE
发明人： Phang, Jacob Chee Hong , Chan, Daniel Siu Hung , Pey, Kin Leong
IPC分类号： H01J37/244
CPC分类号： H01J37/228 , H01J37/244 , H01J2237/2808
摘要： A cathodoluminescence detector (11) for the vacuum chamber specimen stage of an electron microscope comprises a base member adaptor element (27) with threaded stub (30) to connect with the microscope specimen stage (not shown here), and supporting specimen (14) on support (15) mounted on threaded boss part (27a) of element (27). Boss (27a) is secured with a planar support (21) which carries an annular photosensitive member (19) with interposed insulant layer (22) and connections (24). A parabolic reflector (16) is located over member (19) and includes aperture (18) for passage of electron beam (13). The polished concave reflective surface (17) of reflector (16) reflects radiation emitted from specimen (14) to member (19) and absorbs backscattered electrons from the specimen (14).
摘要翻译：用于电子显微镜的真空室样品台的阴极发光检测器（11）包括具有螺纹短截线（30）的基座构件适配器元件（27），以与显微镜样本台（未示出）连接，并且支撑样本（14）在安装在元件（27）的螺纹凸台部分（27a）上的支撑件（15）上。凸台（27a）用平面支撑件（21）固定，所述平面支撑件（21）承载带有插入的绝缘层（22）和连接件（24）的环形感光构件（19）。抛物面反射器（16）位于构件（19）之上，并且包括用于电子束（13）通过的孔（18）。反射器（16）的抛光的凹面反射表面（17）将从样品（14）发射的辐射反射到构件（19），并从样品（14）吸收反向散射的电子。

5. 发明授权

EP2622330B1 DECONVOLUTION OF TIME-GATED CATHODOLUMINESCENCE IMAGES 有权
标题翻译：时间选通阴极发光图像的去卷积
公开(公告)号：EP2622330B1
公开(公告)日：2014-12-17
申请号：EP11760455.3
申请日：2011-09-16
申请人： Attolight SA
发明人： BERNEY, Jean
IPC分类号： G01N23/225 , H01J37/22
CPC分类号： G21K1/00 , G01N23/2254 , H01J37/222 , H01J37/28 , H01J2237/06333 , H01J2237/226 , H01J2237/2611 , H01J2237/2808 , H01J2237/30472

6. 发明公开

EP2419215A1 OPTICAL PROBING IN ELECTRON MICROSCOPES 有权转让
标题翻译： OPTICAL PROBING在电子显微镜
公开(公告)号：EP2419215A1
公开(公告)日：2012-02-22
申请号：EP10764742.2
申请日：2010-04-15
申请人： Nanofactory Instruments AB
发明人： DANILOV, Andrey , OLIN, Håkan , ANGENETE, Johan
IPC分类号： B01J37/20 , B25J7/00 , H01J37/26
CPC分类号： H01J37/228 , H01J37/20 , H01J2237/2808
摘要： The present invention relates to an optical arrangement and in particular to an optical arrangement for use in electron microscopy applications. This is used for sample characterization with simultaneous measurement with the electron microscopy of the sample and measurements with an optical setup and/or using a manipulator for probing of a light source or a scanning probe device.

7. 发明公开

EP2108947A2 Apparatus and method for inspection 有权
标题翻译： Vorrichtung und Verfahren zur Inspektion
公开(公告)号：EP2108947A2
公开(公告)日：2009-10-14
申请号：EP08254165.7
申请日：2008-12-24
申请人： JEOL Ltd.
发明人： Nishiyama, Hidetoshi
IPC分类号： G01N23/22
CPC分类号： G01N23/2204 , H01J37/20 , H01J37/228 , H01J37/28 , H01J2237/208 , H01J2237/2608 , H01J2237/2808
摘要： Inspection method and apparatus capable of observing or inspecting a liquid sample (20) well. An optical image of the sample and an image using a primary beam such as an electron beam (7) or charged particle beam can be obtained at the same time. The inspection apparatus has a film (32) including a first surface (32a) on which the liquid sample is held, a vacuum chamber (11) for reducing the pressure of an ambient in contact with a second surface (32b) of the film, primary beam irradiation means (1) connected with the vacuum chamber and irradiating the sample with a primary beam via the film, signal detection means (4) for detecting a secondary signal produced from a specimen (38) contained in the sample in response to the primary beam irradiation, and optical image acquisition means (27) for obtaining an optical image of the specimen. The primary beam irradiation means and optical image acquisition means are located on opposite sides of the film that acts to block the light.
摘要翻译：能够很好地观察或检查液体样品（20）的检查方法和装置。可以同时获得样品的光学图像和使用诸如电子束（7）或带电粒子束的主光束的图像。该检查装置具有：膜（32），其具有保持液体试样的第一表面（32a），用于降低与膜的第二表面（32b）接触的环境的压力的真空室（11）一次束照射装置（1），与真空室连接，并通过该膜用一次束照射样品;信号检测装置（4），用于检测由样品中包含的试样（38）产生的二次信号，一次束照射和用于获得样本的光学图像的光学图像获取装置（27）。主光束照射装置和光学图像获取装置位于胶片的阻挡光线的两侧。

8. 发明公开

EP2105727A1 Scanning electron microscope comprising a film for holding a sample and a dish for receiving sample material from a damaged film 有权
标题翻译：扫描型电子显微镜用薄膜作为样品保持器和用于受损膜的样品材料的收集碗
公开(公告)号：EP2105727A1
公开(公告)日：2009-09-30
申请号：EP09250792.0
申请日：2009-03-20
申请人： JEOL Ltd.
发明人： Nishiyama, Hidetoshi , Koizumi, Mitsuru
IPC分类号： G01N23/225 , H01J37/20 , H01J37/26 , H01J37/28
CPC分类号： G01N23/2251 , G01N23/2204 , G01N2223/307 , G01N2223/612 , G01N2223/637 , H01J37/20 , H01J37/228 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/182 , H01J2237/2004 , H01J2237/244 , H01J2237/2808
摘要： Method and apparatus capable of well observing or inspecting a liquid sample (20). The apparatus, for example a scanning electrode microscope, can be maintained and serviced better than heretofore. The apparatus has a film (32) including a first surface (32a) to hold the liquid sample (20) thereon, a vacuum chamber (11) for reducing the pressure of an ambient in contact with a second surface (32b) of the film (32), primary beam irradiation means (1) connected with the vacuum chamber (11) and irradiating the sample with a primary beam (7) via the film (32), signal detection means (4) for detecting a secondary signal produced from the sample (20) in response to the beam irradiation (7), a partitioning plate (14) for partially partitioning off the space between the film (32) and the primary beam irradiation means (1) in the vacuum chamber (11), and a vacuum gauge (15) for detecting the pressure inside the vacuum chamber (11).
Damage to the film is detected by a pressure increase inside the vacuum chamber. After detecting such a pressure increase the partitioning member is moved in the path of the irradiating beam in order to prevent sample material to spill into the irradiation means.
摘要翻译：方法和能够很好观察或检查的液体样品（20）装置。的装置，例如扫描电极显微镜，可以维护和服务比以前更好。该装置具有一个膜（32）包括第一表面（32A）以保持液体样品（20）在其上，在真空室（11），用于与膜的第二面（32B）减少接触的环境的压力（32），主光束照射单元（1）与所述真空室（11）连接，并且经由膜照射主光束（7）的样品（32）中，信号检测器，用于检测从产生的次级信号的装置（4）响应于所述光束照射（7）的样品（20），分隔板（14），用于在真空室中部分分隔从薄膜（32）和初级束照射设备（1）之间的空间（11），和真空计（15），用于检测所述真空室（11）内的压力。损坏膜是通过在真空室内部的压力增加来检测。检测寻求的压力增加分隔构件设置在照射光束的路径移动，以防止样品材料溢出到照射装置之后。

9. 发明公开

EP1412796A1 ELECTRON MICROSCOPE AND SPECTROSCOPY SYSTEM 审中-公开
标题翻译：电子和光谱系统
公开(公告)号：EP1412796A1
公开(公告)日：2004-04-28
申请号：EP02753135.9
申请日：2002-08-05
申请人： Renishaw plc
发明人： BENNETT, Robert , WOOLFREY, Andrew Mark , DAY, John Charles Clifford,University of Bristol , BEWICK, Angus,University of Bristol
IPC分类号： G02B7/00 , G02B21/06
CPC分类号： H01J37/228 , G01J3/02 , G01J3/0202 , G01J3/0208 , G01J3/0216 , G01J3/0243 , H01J37/256 , H01J2237/2445 , H01J2237/2808
摘要： An electron microscope (10) is adapted to enable spectroscopic analysis of a sample (16). A parabolic mirror (18) has a central aperture (20) through which the electron beam can pass. The mirror (18) focuses laser illumination from a transverse optical path (24) onto the sample, and collects Raman and/or other scattered light, passing it back to an optical system (30). The mirror (18) is retractable (within the vacuum of the electron microscope) by a sliding arm assembly (22). An adjustable kinematic mount (44) defines the inserted position of the parabolic mirror (18). A second parabolic mirror (104) is provided to direct the scattered or generated light towards an optical analyser. The parabolic mirrors are positioned in an aberration cancelling orientation and such that they compensate for inaccuracies in the position of the sliding arm assembly (22).

10. 发明公开

EP0306790A2 Kathodolumineszenzdetektor 失效
公开(公告)号：EP0306790A2
公开(公告)日：1989-03-15
申请号：EP88114026.3
申请日：1988-08-27
申请人： Firma Carl Zeiss
发明人： Schäfer, Norbert, Dipl.-Ing. , Eppli, Bernd, Dipl.-Ing. , Weimer, Eugen, Dr. Dipl.-Phys. , Rossow, Eberhard, Ing.(grad) , Gross, Herbert, Dipl.-Phys.
IPC分类号： G01N23/225 , G02B5/10
CPC分类号： H01J37/228 , G01N23/2254 , H01J37/244 , H01J2237/2445 , H01J2237/2808
摘要： Es wird ein Detektor beschrieben, der aus einem elliptischen Hohlspiegel (12h) und einem Rohr (13r) mit reflektierender Innenfläche zur Weiterleitung des Lichtes besteht. Das Vakuumfenster (13v) sitzt am äußeren Ende des Rohres (13r) unmittelbar vor dem Empfänger.
摘要翻译：描述了一种探测器，其由椭圆形凹面镜（12h）和具有用于透射光的反射内表面的管（13r）组成。真空窗（13v）位于接收器前面的管（13r）的外端。

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