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1. 发明授权

EP3100034B1 PROCEDE ET DISPOSITIF POUR ACQUERIR ET TRAITER DES DIAGRAMMES DE DIFFRACTION ISSUS D'UN EQUIPEMENT METTANT EN OEUVRE UN FAISCEAU DE PARTICULES FOCALISEES, ET SYSTEME D'IMAGERIE ANALYTIQUE INTEGRANT CE DISPOSITIF 有权
标题翻译：方法和装置用于获取和处理衍射图案从设备使用粒子束聚焦，成像系统集成装置概要
公开(公告)号：EP3100034B1
公开(公告)日：2018-01-31
申请号：EP14790524.4
申请日：2014-10-07
申请人： Newtec Scientific
发明人： MENARD, Jean-Claude
IPC分类号： G01N23/225 , H01J37/244 , H01J37/295 , G02B26/08
CPC分类号： G01N23/2254 , G01N2223/313 , G01N2223/418 , G01N2223/606 , G02B26/0833 , H01J37/244 , H01J37/2955 , H01J2237/24475

2. 发明公开

EP2741310A1 Système de détection de cathodoluminescence optimisant la collection du signal, la résolution spectrale et la conservation de la brillance, et microscope mettant en oeuvre un tel système 有权转让
标题翻译：使用该系统具有改进的信号接收，光谱分辨率和亮度保持和显微镜阴极发光检测系统
公开(公告)号：EP2741310A1
公开(公告)日：2014-06-11
申请号：EP14156672.9
申请日：2011-04-29
申请人： Centre National de la Recherche Scientifique , Université Paris-Sud 11 (Paris XI)
发明人： Kociak, Mathieu , Zagonel, Luiz Fernando , Tence, Marcel , Mazzucco, Stefano
IPC分类号： H01J37/02 , H01J37/244 , H01J37/256
CPC分类号： G01N23/2254 , G01N2201/08 , H01J37/228 , H01J37/244 , H01J37/261 , H01J37/28 , H01J2237/024 , H01J2237/063 , H01J2237/24475 , H01J2237/2448 , H01J2237/24485 , H01J2237/2602 , H01J2237/2802 , H01J2237/2808
摘要： L'invention concerne un système de détection de cathodoluminescence comprenant une source de particules chargées éclairant un échantillon avec un faisceau de particules chargées, et un chemin optique comprenant au moins deux éléments optiques pour collecter et transporter un rayonnement lumineux provenant dudit échantillon éclairé vers des moyens d'analyse, caractérisé en ce que chaque élément optique est choisi de sorte que :
- l'angle maximal de sortie dudit élément optique est inférieur ou égal à 120% de l'angle maximal d'acceptance de l'élément optique suivant ; et
- le diamètre du rayonnement provenant dudit élément optique dans le plan d'entrée de l'élément optique suivant est inférieur ou égal à 120% du diamètre utile d'entrée de l'élément optique suivant.
摘要翻译：所述可调节系统包括用于收集从通过带电粒子的束照射的样品所获得的光辐射并反射的光辐射引导到分析单元，用于定位所述收集光学器件沿维度外部圆筒形管的单元的收集光学器件（112）也被置于相对于在由收集光学器件的反射光辐射的传播轴和刚性地固定到所述收集光学器件，而在接收的光辐射适配单元外缸（306）放置内部圆筒形管。所述可调节系统包括用于收集从通过带电粒子的束照射的样品所获得的光辐射并反射的光辐射引导到分析单元，用于定位所述收集光学器件沿维度外部圆筒形管的单元的收集光学器件（112）也被置于相对于在由收集光学器件，用于接收所述光辐射适配单元注入的光反射，并刚性地固定到收集光学器件到外缸（306）放置内部圆筒形管的光辐射的传播轴在辐射在光纤（116），用于在光辐射，用于分析由收集光学器件收集的光辐射的单元，和一个密封单元的传播方向相反发射光束传播的光的来源。所述定位单元包括用于沿的空间，对于在旋转轴周围旋转的收集光学器件的单元，并且可动转盘方向的收集光学器件的水平方向的移动的元素。收集光学器件包括抛物面反射镜，并用一个聚光透镜相关联的平面镜或椭圆形的并放置在平面镜的下游，并且被集成到可动转盘。内筒是自由地相对于外筒旋转。适配单元被配置为适应角度和大小的光辐射收集gemäß的尺寸，并在检测器或光纤的开口的，并且在收集光学器件的下游。光束被引导朝向由收集光学器件的样品。所述分析单元包括分光计，电荷耦合器件照相机或光电倍增管。收集光学器件在压力这是小于在大气压下的室（302）放置。所述适配单元在将压力比在腔室中的压力大一个环境放置。密封单元在所述室和所述适配单元，以保持在所述腔室中的压力之间放置。一个独立的claimsoft包括用于显微镜。

3. 发明公开

EP2317536A2 Detection device and particle beam device having a detection device 有权转让
标题翻译： Detektor und Teilchenstrahlvorrichtung mit einem solchen Detektor
公开(公告)号：EP2317536A2
公开(公告)日：2011-05-04
申请号：EP10189439.2
申请日：2010-10-29
申请人： Carl Zeiss NTS GmbH
发明人： Thomas, Christian , Stefan, Lucian
IPC分类号： H01J37/244 , H01J37/20
CPC分类号： H01J37/244 , G01N23/2254 , G01N2223/612 , H01J37/20 , H01J37/226 , H01J37/228 , H01J2237/2445 , H01J2237/2808
摘要： The invention relates to a detection device (22) and a particle beam device (1) having a detection device (22). The detection device (22) and the particle beam device (1) ensure a good efficiency in detecting interaction particles and electro-magnetic radiation. The detection device (22) has a detector (14) for detecting electromagnetic radiation and/or interaction particles and a filter element (13) through which the electromagnetic radiation is transmitted and which is designed for preventing the interaction particles from striking the detector (14) wherein the filter element (13) is situated to move between a first position (A) and a second position (B), the filter element (13) in the first position (A) being situated in relation to the detector (14) in such a way that the filter element (13) prevents the interaction particles from striking the detector (14), and wherein the filter element (13) in the second position (B) is situated in relation to the detector (14) in such a way that the filter element (13) allows the interaction particles to strike the detector (14). As an alternative, the filter element (13) may be designed as an object holder.
摘要翻译：本发明涉及具有检测装置（22）的检测装置（22）和粒子束装置（1）。检测装置（22）和粒子束装置（1）确保了检测相互作用颗粒和电磁辐射的良好效率。检测装置（22）具有用于检测电磁辐射和/或相互作用颗粒的检测器（14）和电磁辐射透过的滤光元件（13），其被设计用于防止相互作用的颗粒撞击检测器（14）），其中所述过滤元件（13）位于在第一位置（A）和第二位置（B）之间移动，所述第一位置（A）中的所述过滤元件（13）相对于所述检测器（14）定位，以使得过滤元件（13）防止相互作用颗粒撞击检测器（14），并且其中处于第二位置（B）的过滤元件（13）相对于检测器（14）位于这样的位置过滤元件（13）允许相互作用颗粒撞击检测器（14）的方式。作为替代，过滤元件（13）可以被设计为物体保持器。

4. 发明公开

EP3392650A1 VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR SPEKTROSKOPISCHEN ANALYSE 有权
公开(公告)号：EP3392650A1
公开(公告)日：2018-10-24
申请号：EP18176182.6
申请日：2014-05-15
申请人： Carl Zeiss Microscopy GmbH
发明人： CORRENS, Nico , RODE, Michael
IPC分类号： G01N23/2254
CPC分类号： G01N21/64 , G01J3/28 , G01N23/2254 , G01N2021/213 , G01N2223/501
摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft Vorrichtungen zur spektrometrischen Analyse von lichtemittierenden Proben, umfassend ein abbildendes Gitter, das so angeordnet ist, dass von der Probe frei gesetzte Photonen dispergiert werden und einen Detektor, der das durch Dispersion erzeugte Spektrum detektiert.

5. 发明授权

EP2980566B1 FORSTERITE CONFIRMATION METHOD, FORSTERITE EVALUATION DEVICE, AND STEEL SHEET PRODUCTION LINE 有权
公开(公告)号：EP2980566B1
公开(公告)日：2018-10-10
申请号：EP14773833.0
申请日：2014-03-24
申请人： JFE Steel Corporation
发明人： NAGOSHI, Masayasu , YAMASHITA, Takako , USUI, Yukio , TAKAJO, Shigehiro , HANAZAWA, Kazuhiro
IPC分类号： G01N23/225 , H01F1/16 , H01F1/18 , C21D8/12
CPC分类号： G01N21/66 , C21D8/12 , C21D8/1283 , G01N21/8851 , G01N21/95 , G01N23/2254 , G01N2021/8887 , H01F1/16
摘要： Provided is a technique for easily checking the presence of forsterite without destroying a measurement object. The location where forsterite is present is checked in a region from which light excited by an electron beam is emitted when a material containing forsterite is irradiated with an electron beam. The present invention is preferably applied to the case where the material is a grain oriented electrical steel sheet having a forsterite layer. In addition, it is preferable that the accelerating voltage be 30 kV or more when an electron beam is radiated in the case where the material is a grain oriented electrical steel sheet having a tension coating layer on the forsterite layer.

6. 发明授权

EP2317536B1 Detection device and particle beam device having a detection device 有权转让
标题翻译：具有检测装置的检测装置和粒子束装置
公开(公告)号：EP2317536B1
公开(公告)日：2017-12-06
申请号：EP10189439.2
申请日：2010-10-29
申请人： Carl Zeiss Microscopy GmbH
发明人： Thomas, Christian , Stefan, Lucian
IPC分类号： H01J37/244 , H01J37/20 , G01N23/225 , H01J37/22
CPC分类号： H01J37/244 , G01N23/2254 , G01N2223/612 , H01J37/20 , H01J37/226 , H01J37/228 , H01J2237/2445 , H01J2237/2808
摘要： The invention relates to a detection device (22) and a particle beam device (1) having a detection device (22). The detection device (22) and the particle beam device (1) ensure a good efficiency in detecting interaction particles and electro-magnetic radiation. The detection device (22) has a detector (14) for detecting electromagnetic radiation and/or interaction particles and a filter element (13) through which the electromagnetic radiation is transmitted and which is designed for preventing the interaction particles from striking the detector (14) wherein the filter element (13) is situated to move between a first position (A) and a second position (B), the filter element (13) in the first position (A) being situated in relation to the detector (14) in such a way that the filter element (13) prevents the interaction particles from striking the detector (14), and wherein the filter element (13) in the second position (B) is situated in relation to the detector (14) in such a way that the filter element (13) allows the interaction particles to strike the detector (14). As an alternative, the filter element (13) may be designed as an object holder.

7. 发明授权

EP2755021B1 Method of analyzing a sample and charged particle beam device for analyzing a sample 有权
标题翻译：用于分析样品用于分析样品的方法和带电粒子射线装置
公开(公告)号：EP2755021B1
公开(公告)日：2016-06-22
申请号：EP13151344.2
申请日：2013-01-15
申请人： Carl Zeiss Microscopy Ltd.
发明人： Hill, Edward , Bean, Stewart
IPC分类号： G01N23/225
CPC分类号： H01J37/26 , G01N23/2254 , H01J2237/2804 , H01J2237/2806 , H01J2237/2808 , H01J2237/2809

8. 发明公开

EP2577707A1 SYSTEME DE DETECTION DE CATHODOLUMINESCENCE REGLABLE ET MICROSCOPE METTANT EN OEUVRE UN TEL SYSTEME 有权转让
标题翻译：定制KATHODOLUMINESZENZDETEKTIONSYSTEM和显微镜的这种系统
公开(公告)号：EP2577707A1
公开(公告)日：2013-04-10
申请号：EP11723543.2
申请日：2011-04-29
申请人： Centre National de la Recherche Scientifique
发明人： KOCIAK, Mathieu , ZAGONEL, Luiz Fernando , TENCE, Marcel , MAZZUCCO, Stefano
IPC分类号： H01J37/02 , H01J37/244 , H01J37/256
CPC分类号： G01N23/2254 , G01N2201/08 , H01J37/228 , H01J37/244 , H01J37/261 , H01J37/28 , H01J2237/024 , H01J2237/063 , H01J2237/24475 , H01J2237/2448 , H01J2237/24485 , H01J2237/2602 , H01J2237/2802 , H01J2237/2808
摘要： Cathodoluminescence detection system comprising a collecting optic (112), for collecting light radiation coming from a specimen illuminated by a beam of charged particles and reflecting said light radiation onto analysis means, characterized in that it comprises means (606,614-618) for positioning said collecting optic (112) along at least one dimension.

9. 发明公开

EP0065456A3 Device for the determination of the density of non-occupied electronic states of a material below the fermi level 失效
标题翻译：用于确定FERMI级以下材料的非占位性电子状态的密度的装置
公开(公告)号：EP0065456A3
公开(公告)日：1983-08-03
申请号：EP82400834
申请日：1982-05-06
申请人： COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ETABLISSEMENT DE CARACTERE SCIENTIFIQUE TECHNIQUE ET INDUSTRIEL
发明人： BAPTIST, ROBERT , CHAUVET, GERARD
IPC分类号： G01N23/225 , H01J37/252
CPC分类号： G01N23/2254 , G01N2223/0568 , G01N2223/08

10. 发明授权

EP2818853B1 Vorrichtung und Verfahren zur spektroskopischen Analyse 有权
公开(公告)号：EP2818853B1
公开(公告)日：2018-07-04
申请号：EP14168505.7
申请日：2014-05-15
申请人： Carl Zeiss Microscopy GmbH
发明人： Correns, Nico , Rode, Michael
IPC分类号： G01N21/62 , G01N23/225
CPC分类号： G01N21/64 , G01J3/28 , G01N23/2254 , G01N2021/213 , G01N2223/501

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