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2. 发明公开

EP1672648A1 Rasterkraftsonde mit einer EBD-Abtastspitze. 有权
标题翻译： Rasterkraftsonde mit einer EBD-Abtastspitze。
公开(公告)号：EP1672648A1
公开(公告)日：2006-06-21
申请号：EP04029525.5
申请日：2004-12-14
申请人： Nanoworld AG
发明人： Krause, Oliver, Dr. , Lehrer, Christoph , Petersen, Silke
IPC分类号： G12B21/02
CPC分类号： G01Q70/12
摘要： Die Erfindung betrifft einen SPM-Sensor (1) für ein Rasterkraftmikroskop mit einem Biegebalken (3), einem Halteelement (2) an einem Ende des Biegebalkens (3) und einer Sensorspitze (4) mit einer EBD-Struktur (5) am anderen Ende des Biegebalkens (3) sowie ein Verfahren zur Herstellung derartiger Sensoren. Die EBD-Struktur (5) ist direkt im Substrat der Sensorspitze (4) verankert. Die Verankerung der EBD-Struktur (5) erfolgt form- und kraftschlüssig in einem Loch (6) der Sensorspitze (4), das durch Materialabtrag im Substrat der Sensorspitze (4) erzeugt ist. Das Verfahren sieht nach dem Materialabtrag durch fotolithographische Strukturierung mit nachfolgenden Ätzprozess bzw. mittels Teilchenstrahlen die Erzeugung der EBD-Struktur durch eine teilchenstrahlinduzierte Materialabscheidung im Loch der Sensorspitze vor.
摘要翻译：传感器具有设置在悬臂（3）的一端的保持部分（2）。传感器尖端（4）设置在悬臂的另一端，并且部分圆柱形的电子束感应沉积（EBD）扫描尖端从传感器尖端突出。该部分用于在扫描探针显微镜的测量头上接收和紧固传感器。悬臂带EBD扫描头的传感器端头。扫描探针显微镜（SPM）传感器的制造方法也包含独立的权利要求。

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