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31. 发明授权

EP2906357B1 SPRÜHDÜSENEINRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM BESCHICHTEN 有权
标题翻译：喷涂涂料喷嘴和方法
公开(公告)号：EP2906357B1
公开(公告)日：2016-08-03
申请号：EP13807969.4
申请日：2013-12-11
申请人： Ev Group E. Thallner GmbH
发明人： MASSA, Felix
IPC分类号： B05B1/26 , B05B1/30 , B05D1/02
CPC分类号： B05B1/30 , B05B1/267 , B05B5/0426 , B05B7/0815 , B05B12/122 , B05B12/18 , B05B17/06 , B05D1/02 , B05D3/042

32. 发明公开

EP3043378A2 VERFAHREN ZUM PERMANENTEN BONDEN VON WAFERN MITTELS FESTKÖRPERDIFFUSION ODER PHASENUMWANDLUNG MIT ANWENDUNG EINER FUNKTIONSSCHICHT 审中-公开
标题翻译：方法永久性粘结WAFERS采用固态扩散或相位切换具有的功能层中的应用
公开(公告)号：EP3043378A2
公开(公告)日：2016-07-13
申请号：EP15201506.1
申请日：2011-08-30
申请人： EV Group E. Thallner GmbH
发明人： MARTINSCHITZ, Klaus , WIMPLINGER, Markus , REBHAN, Bernhard , HINGERL, Kurt
IPC分类号： H01L21/60 , B23K20/02 , H01L23/488 , B23K20/233
CPC分类号： H01L21/76251 , B23K20/021 , B23K20/023 , B23K35/001 , B23K35/0255 , B23K35/262 , B23K35/302 , B23K2201/40 , H01L21/185 , H01L24/05 , H01L24/08 , H01L24/27 , H01L24/29 , H01L24/32 , H01L24/83 , H01L24/94 , H01L25/0657 , H01L25/50 , H01L2224/038 , H01L2224/0384 , H01L2224/04026 , H01L2224/05557 , H01L2224/05647 , H01L2224/0801 , H01L2224/08501 , H01L2224/2745 , H01L2224/27452 , H01L2224/275 , H01L2224/27505 , H01L2224/278 , H01L2224/2784 , H01L2224/29019 , H01L2224/2908 , H01L2224/29111 , H01L2224/29124 , H01L2224/29144 , H01L2224/29147 , H01L2224/29166 , H01L2224/29181 , H01L2224/29184 , H01L2224/29211 , H01L2224/29311 , H01L2224/29347 , H01L2224/3201 , H01L2224/325 , H01L2224/32501 , H01L2224/7565 , H01L2224/83013 , H01L2224/83022 , H01L2224/83191 , H01L2224/83193 , H01L2224/83203 , H01L2224/83345 , H01L2224/83365 , H01L2224/83385 , H01L2224/838 , H01L2224/8383 , H01L2224/8384 , H01L2224/94 , H01L2924/01029 , H01L2924/01327 , H01L2924/1434 , H01L2924/351 , H01L2924/3511 , H01L2924/0105 , H01L2224/83
摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum permanenten Bonden eines ersten Festkörpersubstrats (1) mit einem eine erste Materie (A) enthaltenden zweiten Festkörpersubstrat (2) mit folgendem Ablauf:
- Aufbringung und/oder Ausbildung einer eine zweite Materie (B) enthaltenden Funktionsschicht (5) auf das zweite Festkörpersubstrat (2), wobei die Funktionsschicht (5) vor der Ausbildung des permanenten Bonds eine mittlere Dicke (R) zwischen 0,1 nm und 25 nm aufweist,
- Kontaktieren des ersten Festkörpersubstrats (1) mit dem zweiten Festkörpersubstrat (2) an der Funktionsschicht (5),
- Zusammenpressen der Festkörpersubstrate (1, 2),
wobei nach dem Kontaktieren eine Reaktion (Festkörperdiffusion und/oder Phasenumwandlung) der zweiten Materie (B) mit der ersten Materie (A) derart erfolgt, dass durch Unebenheiten der Oberflächen der Festkörpersubstrate (1, 2) vorhandene Lücken verschlossen werden.
Während des Bondens wird die Löslichkeitsgrenze des ersten Materials (A) für das zweite Material (B) nicht oder nur geringfügig überschritten, so dass Ausscheidung von intermetallischen Phasen möglichst weitgehend vermieden wird und dagegen Mischkristall ausgebildet wird.
Das erste Material (A) kann Kupfer und das zweite Material (B) kann Zinn sein.
摘要翻译：一种用于在第一固体基材粘结到第二固体基材方法，其包含以下步骤的第一材料，爱尤其是以下序列：形成或其中包含的第二材料的第二固体基材的功能层的应用，使得接触第一固体基材与所述功能层上的第二固体基材，压合在固体基质用于形成第一和第二固体基材之间形成永久键，通过固相扩散和/或与所述第一材料的相变的至少部分增强第二材料，以在被引发的功能层增加体积。

33. 发明授权

EP2931502B1 VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINES LINSENWAFERS 有权
标题翻译：一种用于生产透镜晶圆
公开(公告)号：EP2931502B1
公开(公告)日：2016-06-15
申请号：EP12816464.7
申请日：2012-12-11
申请人： Ev Group E. Thallner GmbH
发明人： KAST, Michael
IPC分类号： B29D11/00 , G02B3/00 , H01L27/146
CPC分类号： G02B3/00 , B29D11/00307 , H01L27/14685

34. 发明公开

EP3011589A1 VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM AUSRICHTEN VON SUBSTRATEN 有权
公开(公告)号：EP3011589A1
公开(公告)日：2016-04-27
申请号：EP13731716.0
申请日：2013-06-17
申请人： Ev Group E. Thallner GmbH
发明人： THALLNER, Erich
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/68
CPC分类号： H01L21/681 , B65G47/26 , H01L21/67092 , H01L22/26
摘要： The invention relates to a method for aligning and contacting a first substrate (15) with a second substrate (15') using several detection units and to a corresponding device.
摘要翻译：本发明涉及一种使用多个检测单元和相应的装置使第一基板（15）与第二基板（15'）对准和接触的方法。

35. 发明公开

EP3011391A1 STEMPEL MIT EINER STEMPELSTRUKTUR SOWIE VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG 有权
标题翻译：与用于印模结构装置及方法邮票是
公开(公告)号：EP3011391A1
公开(公告)日：2016-04-27
申请号：EP13736507.8
申请日：2013-06-20
申请人： Ev Group E. Thallner GmbH
发明人： TREIBLMAYR, Dominik
IPC分类号： G03F7/00
CPC分类号： C23C16/45525 , B29C2043/025 , C23C14/06 , C23C14/22 , C23C16/06 , C23C16/22 , G03F7/0002 , G03F7/0005 , G03F7/0035 , G03F7/20 , G03F2007/2067
摘要： The invention relates to a method for producing a patterned mould with mould patterning for applying micropatterning and/or nanopatterning to substrates or soft moulds, wherein the mould patterning is at least partially coated with a coating. The invention also relates to a corresponding patterned mould and an apparatus for producing a patterned mould with mould patterning for applying micropatterning and/or nanopatterning to substrates or soft moulds, said apparatus having coating means for coating the mould patterning.
摘要翻译：一种用于生产结构，其确实的方法具有对于衬底或软此，由此所述模具结构至少有涂层涂覆部分上涂覆微结构和/或纳米结构的结构。此外，本发明涉及到一个相应的结构，其除了用于生产结构，其确实的装置具有用于基板或软的，由此所述装置具有涂层上涂覆微结构和/或纳米结构的结构的手段用于涂覆模具结构。

37. 发明授权

EP2870511B1 VERFAHREN ZUM PRÄGEN 有权
标题翻译：涂层工艺
公开(公告)号：EP2870511B1
公开(公告)日：2015-10-21
申请号：EP12766624.6
申请日：2012-09-18
申请人： Ev Group E. Thallner GmbH
发明人： TREIBLMAYR, Dominik
IPC分类号： G03F7/00 , B29C33/06
CPC分类号： B29C59/026 , B29C71/04 , B29L2009/005 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002

38. 发明公开

EP2893556A1 VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM AUSRICHTEN VON SUBSTRATEN 有权
公开(公告)号：EP2893556A1
公开(公告)日：2015-07-15
申请号：EP13802610.9
申请日：2013-12-06
申请人： Ev Group E. Thallner GmbH
发明人： WAGENLEITNER, Thomas
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/68
CPC分类号： G03F9/7088 , G01R31/2887 , G03F7/70733 , G03F9/7011 , G03F9/7023 , H01L21/67092 , H01L21/681 , H01L21/6838 , H01L22/26
摘要： The invention relates to a method for aligning and bringing a first substrate (14) in contact with a second substrate (14') as well as to a corresponding device comprising at least four detection units (3, 3', 3", 3"') of which: a) at least two first detection units (3, 3") can be moved at least in the X direction and the Y direction; and b) at least two second detection units (3', 3"') can be moved exclusively in the Z direction.
摘要翻译：本发明涉及一种用于对准并且使第一基板（14）与第二基板（14'）接触的方法以及包括至少四个检测单元（3,3'，3“，3”）的相应设备。 '），其中：a）至少两个第一检测单元（3,3'）可以至少在X方向和Y方向上移动;以及b）至少两个第二检测单元（3'，3“'）只能在Z方向移动。

39. 发明公开

EP2878006A1 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM PERMANENTEN BONDEN VON WAFERN 有权
标题翻译：方法和装置永久性粘结WAFERS
公开(公告)号：EP2878006A1
公开(公告)日：2015-06-03
申请号：EP12742856.3
申请日：2012-07-24
申请人： Ev Group E. Thallner GmbH
发明人： PLACH, Thomas , HINGERL, Kurt , WIMPLINGER, Markus , FLÖTGEN, Christoph
IPC分类号： H01L21/18 , H01L21/20
CPC分类号： B32B38/10 , B32B37/0046 , H01J37/32036 , H01J37/32082 , H01J37/32165 , H01J37/32339 , H01J37/32532 , H01J37/32798 , H01J2237/334 , H01L21/187 , H01L21/2007 , H01L21/67092
摘要： The present invention relates to a method for bonding a first contact area of a first substrate to a second contact area of a second substrate, wherein the second substrate has at least one reaction layer, comprising the following steps, more particularly the following sequence: receiving the substrates between a first electrode and a second electrode, or within a coil, and forming a reservoir in a reservoir-forming layer at the first contact area by exposing the first contact area to a plasma generated by means of capacitive coupling of the electrodes, wherein, during the plasma generation, a first frequency is applied to the first electrode, said first frequency being different from a second frequency of the second electrode, or plasma generated by means of inductive coupling of a coil, wherein, during the plasma generation, a first frequency is generated at the first generator, said first frequency being different from a second frequency at the second generator. The present invention additionally relates to a corresponding device.

40. 发明公开

EP2855131A1 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM HERSTELLEN EINER VIELZAHL VON MIKROLINSEN 有权
公开(公告)号：EP2855131A1
公开(公告)日：2015-04-08
申请号：EP12725375.5
申请日：2012-05-30
申请人： Ev Group E. Thallner GmbH
发明人： KAST, Michael
IPC分类号： B29D11/00 , B29C37/00 , B29C33/30
CPC分类号： G02B13/0085 , B29C33/303 , B29C35/0888 , B29C37/005 , B29C39/006 , B29C39/26 , B29C2035/0827 , B29D11/00365 , B29D11/00951 , B29L2011/0016
摘要： The invention relates to a method for producing a plurality of microlenses (10) made of a lens material, involving the following steps, in particular involving the following sequence: - applying the lens material provided for embossing the microlenses (10), in particular a curable fluid (2), preferably a polymer, in fluid form to a plurality of first lens forms (5) distributed on a first embossing side (3o) of a first plunger (3) in order to emboss the microlenses (10), - moving the first plunger (3) and a second plunger (4), which is arranged substantially parallel, namely in an X-Y plane, and opposite the first plunger (3), towards each other in a Z-direction that runs substantially perpendicular to the X-Y plane, - embossing the microlenses (10) by shaping and curing the lens material, the shaping being performed by moving the first and second embossing side (3o, 4o) towards each other in a Z-direction up to a thickness Di of the lens material, characterised in that the lens material of each microlens (10) is separated from the lens material of every adjacent microlens (10) in the X-Y plane at least during curing. The present invention further relates to a corresponding device.
摘要翻译：用于从透镜材料制造多个微透镜的装置和方法。该方法包括：将用于将微透镜压花的透镜材料应用于分布在第一模具的第一压花侧上的多个第一透镜模具，用于压印微透镜，使第一模具和第二模具基本平行地移动， XY平面，并且与第一模具相对，在基本上垂直于XY平面的Z方向上彼此顶部，通过使透镜材料成形和固化来压印微透镜，通过移动第一和第二压花这些透镜材料在Z方向上达到透镜材料的厚度D1，其中至少在固化期间每个微透镜的透镜材料与在XY平面中相邻的每个微透镜的透镜材料分离。

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