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    • 1. 发明申请
    • BELEUCHTUNGSANORDNUNG
    • 照明装置
    • WO2005091051A1
    • 2005-09-29
    • PCT/EP2005/002199
    • 2005-03-02
    • CARL ZEISS SMS GMBHHOLLEMANN, SusanneERDMANN, LarsDOBSCHAL, Hans-JürgenSTEINER, ReinhardENGEL, Thomas
    • HOLLEMANN, SusanneERDMANN, LarsDOBSCHAL, Hans-JürgenSTEINER, ReinhardENGEL, Thomas
    • G02B27/48
    • G02B27/48
    • Es wird bereitgestellt eine Beleuchtungsanordnung mit einem Kohärenzminderer (1), der einem zugeführten kohärenten Strahlenbündel (12) unterschiedliche Phasenverschiebungen in Abhängigkeit von der Position im Strahlquerschnitt einprägt und als Beleuchtungsstrahlenbündel (13) abgibt, einer dem Kohärenzminderer (1) nachgeordneten Aufteilungseinrichtung (4), die eine erste Optik (5) mit einer Vielzahl von Optikelementen (10), die rasterartig angeordnet sind, aufweist und einer der Aufteilungseinrichtung (4) nachgeordneten Abbildungsoptik (7), wobei das Beleuchtungsstrahlenbündel (13) auf die Aufteilungseinrichtung (4) trifft, die das Beleuchtungsstrahlenbündel . (13) in eine Vielzahl von Strahlen (M1, M2., M3, M4, M5, M1', M2', M3', M4', M5') aufteilt, die von der Abbildungsoptik (7) zur Beleuchtung eines Objektfeldes (16) eingesetzt werden können, wobei die Aufteilungseinheit (4) eine zweite Optik (6) mit mindestens einem diffraktiven Element (11) und/oder einem doppelbrechenden Element (20) umfaßt, so daß ein Teilstrahl (S1, S2, S3, S4, S5) des Beleuchtungsstrahlenbündels (13), der durch das zumindest eine Element (20) und die erste Optik (5) läuft, in mindestens zwei Strahlen (M1 - M5; Ml' - M5') aufgeteilt ist.
    • 将会写入提供具有相干性减速器的照明装置(1)(12)印象取决于在光束截面的位置的供给相干辐射束不同的相移,并作为照明光束(13),一个相干减速器(1)下游的分束装置(4), 的第一光学系统(5),其具有多个光学元件(10),其被布置网格状的方式,以及具有该分割单元中的一个(4)下游的成像光学器件(7),其中所述照明光束(13)到划分装置(4)为真,则 照明光束。 (13)分割为多个束(M1,M2,M3,M4,M5,M1 'M2' ,M3',M4' ,M5“)被用于照明物场(7)分割,通过成像光学系统(16 )可以被使用,其中,所述分割单元(4)包括第二光学系统(6)具有至少一个衍射元件(11)和/或一个双折射元件(20),使得部分光束(S1,S2,S3,S4,S5 )照明光束(13)通过至少(一个元件20)和所述第一光学系统(5)的运行(在至少两个波束M1 - M5; ML“ - M5”)被分割。
    • 4. 发明申请
    • ELEMENT ZUR SPEKTRALSELEKTIVEN STRAHLFÜHRUNG IN OPTISCHEN GERÄTEN
    • 元用于光学设备光谱BEAM领导
    • WO2005062084A1
    • 2005-07-07
    • PCT/EP2004/014316
    • 2004-12-16
    • CARL ZEISS SMS GMBHSTEINER, ReinhardDOBSCHAL, Hans-JürgenENGEL, Thomas
    • STEINER, ReinhardDOBSCHAL, Hans-JürgenENGEL, Thomas
    • G02B5/18
    • G02B27/145G01J3/10G01J3/18G01J2003/1282G02B5/203G02B27/1086
    • Das Element zur spektralselektiven Strahlführung dient der Ausfilterung breitbandiger bis zu extrem schmalbandiger Verteilungen aus den Emissionsspektren von Beleuchtungssystemen. Das erfindungsgemäße Element besteht aus einem zumindest teilweise transparenten Trägersubstrat mit ein oder zwei spektralselektiven Schichten, bei dem eine erste spektralselektive Schicht als diffraktive Beugungsstruktur und die mögliche zweite spektralselektive Schicht als Spiegelschicht oder ebenfalls als diffraktive Beugungsstruktur ausgeführt sind, wobei die diffraktive Beugungsstruktur(en) jeweils für mindestens ein schmalbandiges Spektrum und die Spiegelschicht für mindestens ein weiteres Spektrum reflektiv wirken und die aus dem Emissionsspektrum selektierten Spektren in die gleiche Richtung reflektiert werden. Durch Kombination der Elemente sind die unterschiedlichsten spektralen Verteilungen selektierbar. Derartige Anordnungen sind außer in Mikroskopen, auch in Projektionssystemen, in Beleuchtungssystemen für Fluoreszenzlicht-Anwendungen und Photometrie, als dichroitische Strahlteilersysteme und bei Umkehrung der Strahlrichtung bei Systemen zur Überlagerung von Strahlen oder aber auch in Systemen zur Spektralanalyse anwendbar.
    • 用于光谱选择性束引导元件用于过滤宽带照明系统的发射光谱的极窄的频带分布。 根据本发明的元件由与一个或两个光谱选择性层中每种情况下至少部分透明的载体衬底,其中,第一光谱选择性层作为衍射图案和可能的第二光谱选择层作为反射层,或者也可以作为衍射图案被执行,其中,所述衍射图案(多个)的 用于至少一个窄带谱和用于至少另一范围行为反射性,并从发射光谱的光谱选择的镜层,反映在相同的方向。 通过组合的各种各样的光谱分布的元件是可选择的。 这种安排,除了在显微镜,同样在投影系统,在用于荧光灯的应用程序和测光,作为二向色分束器系统的照明系统和在逆转在光束的叠加系统的光束的方向,或者在用于光谱适用的系统。