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1. 发明申请

WO2005091051A1 BELEUCHTUNGSANORDNUNG 审中-公开
标题翻译：照明装置
公开(公告)号：WO2005091051A1
公开(公告)日：2005-09-29
申请号：PCT/EP2005/002199
申请日：2005-03-02
申请人： CARL ZEISS SMS GMBH , HOLLEMANN, Susanne , ERDMANN, Lars , DOBSCHAL, Hans-Jürgen , STEINER, Reinhard , ENGEL, Thomas
发明人： HOLLEMANN, Susanne , ERDMANN, Lars , DOBSCHAL, Hans-Jürgen , STEINER, Reinhard , ENGEL, Thomas
IPC分类号： G02B27/48
CPC分类号： G02B27/48
摘要： Es wird bereitgestellt eine Beleuchtungsanordnung mit einem Kohärenzminderer (1), der einem zugeführten kohärenten Strahlenbündel (12) unterschiedliche Phasenverschiebungen in Abhängigkeit von der Position im Strahlquerschnitt einprägt und als Beleuchtungsstrahlenbündel (13) abgibt, einer dem Kohärenzminderer (1) nachgeordneten Aufteilungseinrichtung (4), die eine erste Optik (5) mit einer Vielzahl von Optikelementen (10), die rasterartig angeordnet sind, aufweist und einer der Aufteilungseinrichtung (4) nachgeordneten Abbildungsoptik (7), wobei das Beleuchtungsstrahlenbündel (13) auf die Aufteilungseinrichtung (4) trifft, die das Beleuchtungsstrahlenbündel . (13) in eine Vielzahl von Strahlen (M1, M2., M3, M4, M5, M1', M2', M3', M4', M5') aufteilt, die von der Abbildungsoptik (7) zur Beleuchtung eines Objektfeldes (16) eingesetzt werden können, wobei die Aufteilungseinheit (4) eine zweite Optik (6) mit mindestens einem diffraktiven Element (11) und/oder einem doppelbrechenden Element (20) umfaßt, so daß ein Teilstrahl (S1, S2, S3, S4, S5) des Beleuchtungsstrahlenbündels (13), der durch das zumindest eine Element (20) und die erste Optik (5) läuft, in mindestens zwei Strahlen (M1 - M5; Ml' - M5') aufgeteilt ist.
摘要翻译：将会写入提供具有相干性减速器的照明装置（1）（12）印象取决于在光束截面的位置的供给相干辐射束不同的相移，并作为照明光束（13），一个相干减速器（1）下游的分束装置（4），的第一光学系统（5），其具有多个光学元件（10），其被布置网格状的方式，以及具有该分割单元中的一个（4）下游的成像光学器件（7），其中所述照明光束（13）到划分装置（4）为真，则照明光束。（13）分割为多个束（M1，M2，M3，M4，M5，M1 'M2' ，M3'，M4' ，M5“）被用于照明物场（7）分割，通过成像光学系统（16 ）可以被使用，其中，所述分割单元（4）包括第二光学系统（6）具有至少一个衍射元件（11）和/或一个双折射元件（20），使得部分光束（S1，S2，S3，S4，S5 ）照明光束（13）通过至少（一个元件20）和所述第一光学系统（5）的运行（在至少两个波束M1 - M5; ML“ - M5”）被分割。

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