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1. 发明申请

WO2004097499A1 BELEUCHTUNGS- UND ABBILDUNGSSYSTEM MIT DIFFRAKTIVEM STRAHLTEILER 审中-公开
标题翻译：照明及图象系统与衍射分光镜
公开(公告)号：WO2004097499A1
公开(公告)日：2004-11-11
申请号：PCT/EP2004/004160
申请日：2004-04-20
申请人： CARL ZEISS SMS GMBH , BRUNNER, Robert , DOBSCHAL, Hans-Jürgen , GREIF-WÜSTENBECKER, Jörn , ROSENKRANZ, Norbert , SCHERÜBL, Thomas
发明人： BRUNNER, Robert , DOBSCHAL, Hans-Jürgen , GREIF-WÜSTENBECKER, Jörn , ROSENKRANZ, Norbert , SCHERÜBL, Thomas
IPC分类号： G02B27/10
CPC分类号： G03F7/70158 , G02B17/00 , G02B19/0019 , G02B19/0023 , G02B19/0047 , G02B19/0095 , G02B21/12 , G02B21/16 , G02B27/1086 , G02B27/14
摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft ein Abbildungssystem bei dem ein diffraktiv optisches Element sowohl vom Beleuchtungs- als auch vom Abbildungsstrahlengang verwendet wird. Ob dieses diffraktive Element in Reflektion oder Transmission arbeitet ist abhängig von den Vorgaben des Systemdesigns. Bei dem erfindungsgemässen diffraktiven Strahlteiler für Abbildungssysteme wird mindestens eines der im Strahlengang vorhandenen abbildenden optischen Elemente sowohl für den Beleuchtungsstrahlengang als auch für den Abbildungsstrahlengang verwendet wird. Dieses Element ist ein diffraktiv optisches Element (DOE) und verlangt durch Verwendung verschiedener Beugungsordnungen keine räumliche Trennung von Abbildungs- und Beleuchtungsstrahlengang im Objektraum. Durch die Verwendung von diffraktiven optischen Elementen kann die Anzahl der reflektiven optischen Elemente reduziert werden. Dadurch ergibt sich erstens eine Systemkostenreduzierung und zweitens wird die Lebensdauer der optischen Bauelemente durch Verwendung einer EUV-Quelle mit geringerer Leistung heraufgesetzt.
摘要翻译：本发明涉及一种成像系统，其中衍射光学元件用于由照明和成像光束路径两者。是否此衍射元件中的反射或透射操作是依赖于系统设计的规格。在本发明中，用于成像系统的存在于两者的照明光束路径以及用于成像光束路径中的成像光学元件的光路中的至少一个的衍射分光镜。此元素是一个衍射光学元件（DOE），并且通过使用不同的衍射级在对象空间中的成像和照明光束路径的无空间分离的要求。通过使用衍射光学元件的，可以减少反射光学元件的数量。这导致，首先，系统的成本降低，其次，在光学部件的使用寿命提高通过使用EUV源与较少的功率。

2. 发明申请

WO2004095136A2 ANORDNUNG ZUR INSPEKTION VON OBJEKTEN, INSBESONDERE VON MASKEN IN DER MIKROLITHOGRAPHIE 审中-公开
标题翻译：安排检查的对象，尤其是在MASK微光刻
公开(公告)号：WO2004095136A2
公开(公告)日：2004-11-04
申请号：PCT/EP2004/004161
申请日：2004-04-20
申请人： CARL ZEISS SMS GMBH , DOBSCHAL, Hans-Jürgen , HARNISCH, Wolfgang , SCHERÜBL, Thomas , ROSENKRANZ, Norbert , SEMMLER, Ralph
发明人： DOBSCHAL, Hans-Jürgen , HARNISCH, Wolfgang , SCHERÜBL, Thomas , ROSENKRANZ, Norbert , SEMMLER, Ralph
IPC分类号： G03F1/00
CPC分类号： B82Y10/00 , B82Y40/00 , G01N21/956 , G03F1/24 , G03F1/84
摘要： Anordnung zur Inspektion von Objekten, insbesondere von Masken in der Mikrolithographie, die sich in einer Vakuumkammer befinden, wobei ein Wandler zur Umwandlung der vom Objekt kommenden Beleuchtungsstrahlung in eine Strahlung grösserer Wellenlänge vorgesehen ist sowie ein Sensor zur Bildaufzeichnung vorgesehen ist, wobei sich der Sensor ausserhalb der Vakuumkammer befindet und als optische Schnittstelle von der Vakuumkammer zum Sensor der Wandler oder zumindest ein Teil eines Abbildungobjektives als Fenster in der Vakuumkammer angeordnet ist.
摘要翻译：为对象的检查的装置，特别是在微光刻掩模，其位于在真空室中，其中在较大的波长的辐射提供了一种用于从对象的照明辐射转换来转换器和传感器被提供用于图像记录的，其中所述传感器外真空室被定位和被布置为从真空室至换能器的传感器的光学接口，或至少一个成像透镜如在真空室中的窗的一部分。

3. 发明申请

WO2005091051A1 BELEUCHTUNGSANORDNUNG 审中-公开
标题翻译：照明装置
公开(公告)号：WO2005091051A1
公开(公告)日：2005-09-29
申请号：PCT/EP2005/002199
申请日：2005-03-02
申请人： CARL ZEISS SMS GMBH , HOLLEMANN, Susanne , ERDMANN, Lars , DOBSCHAL, Hans-Jürgen , STEINER, Reinhard , ENGEL, Thomas
发明人： HOLLEMANN, Susanne , ERDMANN, Lars , DOBSCHAL, Hans-Jürgen , STEINER, Reinhard , ENGEL, Thomas
IPC分类号： G02B27/48
CPC分类号： G02B27/48
摘要： Es wird bereitgestellt eine Beleuchtungsanordnung mit einem Kohärenzminderer (1), der einem zugeführten kohärenten Strahlenbündel (12) unterschiedliche Phasenverschiebungen in Abhängigkeit von der Position im Strahlquerschnitt einprägt und als Beleuchtungsstrahlenbündel (13) abgibt, einer dem Kohärenzminderer (1) nachgeordneten Aufteilungseinrichtung (4), die eine erste Optik (5) mit einer Vielzahl von Optikelementen (10), die rasterartig angeordnet sind, aufweist und einer der Aufteilungseinrichtung (4) nachgeordneten Abbildungsoptik (7), wobei das Beleuchtungsstrahlenbündel (13) auf die Aufteilungseinrichtung (4) trifft, die das Beleuchtungsstrahlenbündel . (13) in eine Vielzahl von Strahlen (M1, M2., M3, M4, M5, M1', M2', M3', M4', M5') aufteilt, die von der Abbildungsoptik (7) zur Beleuchtung eines Objektfeldes (16) eingesetzt werden können, wobei die Aufteilungseinheit (4) eine zweite Optik (6) mit mindestens einem diffraktiven Element (11) und/oder einem doppelbrechenden Element (20) umfaßt, so daß ein Teilstrahl (S1, S2, S3, S4, S5) des Beleuchtungsstrahlenbündels (13), der durch das zumindest eine Element (20) und die erste Optik (5) läuft, in mindestens zwei Strahlen (M1 - M5; Ml' - M5') aufgeteilt ist.
摘要翻译：将会写入提供具有相干性减速器的照明装置（1）（12）印象取决于在光束截面的位置的供给相干辐射束不同的相移，并作为照明光束（13），一个相干减速器（1）下游的分束装置（4），的第一光学系统（5），其具有多个光学元件（10），其被布置网格状的方式，以及具有该分割单元中的一个（4）下游的成像光学器件（7），其中所述照明光束（13）到划分装置（4）为真，则照明光束。（13）分割为多个束（M1，M2，M3，M4，M5，M1 'M2' ，M3'，M4' ，M5“）被用于照明物场（7）分割，通过成像光学系统（16 ）可以被使用，其中，所述分割单元（4）包括第二光学系统（6）具有至少一个衍射元件（11）和/或一个双折射元件（20），使得部分光束（S1，S2，S3，S4，S5 ）照明光束（13）通过至少（一个元件20）和所述第一光学系统（5）的运行（在至少两个波束M1 - M5; ML“ - M5”）被分割。

4. 发明申请

WO2005062084A1 ELEMENT ZUR SPEKTRALSELEKTIVEN STRAHLFÜHRUNG IN OPTISCHEN GERÄTEN 审中-公开
标题翻译：元用于光学设备光谱BEAM领导
公开(公告)号：WO2005062084A1
公开(公告)日：2005-07-07
申请号：PCT/EP2004/014316
申请日：2004-12-16
申请人： CARL ZEISS SMS GMBH , STEINER, Reinhard , DOBSCHAL, Hans-Jürgen , ENGEL, Thomas
发明人： STEINER, Reinhard , DOBSCHAL, Hans-Jürgen , ENGEL, Thomas
IPC分类号： G02B5/18
CPC分类号： G02B27/145 , G01J3/10 , G01J3/18 , G01J2003/1282 , G02B5/203 , G02B27/1086
摘要： Das Element zur spektralselektiven Strahlführung dient der Ausfilterung breitbandiger bis zu extrem schmalbandiger Verteilungen aus den Emissionsspektren von Beleuchtungssystemen. Das erfindungsgemäße Element besteht aus einem zumindest teilweise transparenten Trägersubstrat mit ein oder zwei spektralselektiven Schichten, bei dem eine erste spektralselektive Schicht als diffraktive Beugungsstruktur und die mögliche zweite spektralselektive Schicht als Spiegelschicht oder ebenfalls als diffraktive Beugungsstruktur ausgeführt sind, wobei die diffraktive Beugungsstruktur(en) jeweils für mindestens ein schmalbandiges Spektrum und die Spiegelschicht für mindestens ein weiteres Spektrum reflektiv wirken und die aus dem Emissionsspektrum selektierten Spektren in die gleiche Richtung reflektiert werden. Durch Kombination der Elemente sind die unterschiedlichsten spektralen Verteilungen selektierbar. Derartige Anordnungen sind außer in Mikroskopen, auch in Projektionssystemen, in Beleuchtungssystemen für Fluoreszenzlicht-Anwendungen und Photometrie, als dichroitische Strahlteilersysteme und bei Umkehrung der Strahlrichtung bei Systemen zur Überlagerung von Strahlen oder aber auch in Systemen zur Spektralanalyse anwendbar.
摘要翻译：用于光谱选择性束引导元件用于过滤宽带照明系统的发射光谱的极窄的频带分布。根据本发明的元件由与一个或两个光谱选择性层中每种情况下至少部分透明的载体衬底，其中，第一光谱选择性层作为衍射图案和可能的第二光谱选择层作为反射层，或者也可以作为衍射图案被执行，其中，所述衍射图案（多个）的用于至少一个窄带谱和用于至少另一范围行为反射性，并从发射光谱的光谱选择的镜层，反映在相同的方向。通过组合的各种各样的光谱分布的元件是可选择的。这种安排，除了在显微镜，同样在投影系统，在用于荧光灯的应用程序和测光，作为二向色分束器系统的照明系统和在逆转在光束的叠加系统的光束的方向，或者在用于光谱适用的系统。

5. 发明申请

WO2003001272A2 OBJEKTIV 审中-公开
标题翻译： LENS
公开(公告)号：WO2003001272A2
公开(公告)日：2003-01-03
申请号：PCT/EP2002/006798
申请日：2002-06-19
申请人： CARL ZEISS JENA GMBH , BRUNNER, Robert , HAGE, Knut , DOBSCHAL, Hans-Jürgen , RUDOLF, Klaus , STEINER, Reinhard
发明人： BRUNNER, Robert , HAGE, Knut , DOBSCHAL, Hans-Jürgen , RUDOLF, Klaus , STEINER, Reinhard
IPC分类号： G02B21/00
CPC分类号： G02B21/02
摘要： Bei einem Objektiv (1), insbesondere einem Mikroskopobjektiv, wobei das Objektiv eine objektseitige erste Optikgruppe (5) mit positiver Brechkraft und eine der ersten Optikgruppe (5) nachgeschaltete zweite Optikgruppe (6) mit negativer Brechkraft aufweist und wobei die erste Optikgruppe (5) mehrere refraktive Elemente (7, 8, 9, 10) umfaßt, enthält die erste Optikgruppe (5) zumindest ein diffraktives Element (11), das brechungsverstärkend und achromatisierend wirkt.
摘要翻译：
在一个透镜（1），特别是一个显微镜物镜，具有正折射光焦度和所述第一光学器件组中的一个（5）下游的第二光学器件组的物侧的第一光学组（5）的目标（6）负屈光力的且其中所述第一光学器件组（5）的多个折射元件（7，8，9，10）涵盖的大街吨，包含保持第一光学器件组（5）包括至少一个衍射元件（11），所述brechungsverst BEAR影响rkend和消色差<。 / p>

6. 发明申请

WO2004031828A1 ABBILDUNGSOPTIK 审中-公开
标题翻译：图OPTICS
公开(公告)号：WO2004031828A1
公开(公告)日：2004-04-15
申请号：PCT/EP2003/010476
申请日：2003-09-19
申请人： CARL ZEISS JENA GMBH , CARL ZEISS MICROELECTRONIC SYSTEMS GMBH , DOBSCHAL, Hans-Jürgen , BRUNNER, Robert , HAGE, Knut , RUDOLF, Klaus , STEINER, Reinhard
发明人： DOBSCHAL, Hans-Jürgen , BRUNNER, Robert , HAGE, Knut , RUDOLF, Klaus , STEINER, Reinhard
IPC分类号： G02B13/14
CPC分类号： G02B21/02
摘要： Bei einer Abbildungsoptik (1) mit einer mehrere Optikelemente (2, 3, 4, 5, 6, 7) aufweisenden Hauptoptik (9), die für eine Beobachtungsstrahlung korrigiert ist, ist ferner ein transmissives diffraktiven Elements (10) vorgesehen, das im Beobachtungsstrahlengang der Abbildungsoptik (1) so angeordnet and ausgebildet ist, dass zumindest ein Abbildungsfehler der Hauptoptik für eine Untersuchungsstrahlung mit einer anderen Wellenlänge als die der Beobachtungsstrahlung durch die diffraktive Wirkung des diffraktiven Elements (10) korrigiert ist.
摘要翻译：在具有多个光学元件的成像光学系统（1）（2，3，4，5，6，7），其具有主光学系统（9），其用于观察辐射校正的透射衍射元件（10）被进一步设置，这在观测光束路径在成像光学器件（1），从而布置和形成在比由所述衍射元件的衍射作用的观察的辐射以外的波长为检查辐射主透镜中的至少一种像差（10）进行校正。

7. 发明申请

WO2003098316A3 OPTISCHE ANORDNUNG ZUR HOMOGENISIERUNG EINES ZUMINDEST TEILWEISE KOHÄRENTEN LICHTFELDES 审中-公开
公开(公告)号：WO2003098316A3
公开(公告)日：2003-11-27
申请号：PCT/EP2003/005275
申请日：2003-05-20
申请人： CARL ZEISS JENA GMBH , STEINER, Reinhard , RUDOLF, Klaus , BRUNNER, Robert , BISCHOFF, Jörg , TRAEGER, Stefan , KOWARSCHIK, Richard , ZÖLLNER, Friedrich , ECKARDT, Peter , DARSCHT, Maxim , DOBSCHAL, Hans-Jürgen
发明人： STEINER, Reinhard , RUDOLF, Klaus , BRUNNER, Robert , BISCHOFF, Jörg , TRAEGER, Stefan , KOWARSCHIK, Richard , ZÖLLNER, Friedrich , ECKARDT, Peter , DARSCHT, Maxim , DOBSCHAL, Hans-Jürgen
IPC分类号： G02B27/48
摘要： Die Erfindung bezieht sich auf eine Anordnung zur Homogenisierung eines zumindest teilweise kohärenten Lichtfeldes, insbesondere von einem Laser, vorzugsweise einem Excimer-Laser. Erfindungsgemäss ist eine Anordnung vorgesehen, die im wesentlichen besteht aus einem optischen Umlauf, mindestens einem Einkoppelelement zur Einkopplung eines Lichtfeldes in des optischen Umlauf und mindestens einem Auskoppelelement, wobei das eingekoppelte Lichtfeld (1) oder ein Teil dieses Lichfeldes (1) wiederholt den optischen Umlauf durchläuft und dabei die Wellenfront des Lichtfeldes (1) zumindest teilweise deformiert wird, und wobei Teile des Lichfeldes (1) ausgekoppelt werden, wenn sie den optischen Umlauf ein oder mehrere Male durchlaufen haben. Dabei wird das Lichtfeld (1) mit einer gegebenen Wellenfront in den optischen Umlauf eingekoppelt. Während des Ständig wiederholten Durchlaufens des optischen Umlaufes werden Anteile des Lichfeldes (1) deren Wellenfronten voneinander abweichen, aus dem Umlauf ausgekoppelt. Handelt es sich um gepulste Laserstrahlung, sind die Weglängen, die die Einzelnen Anteile des Lichtfeldes zurücklegen, grösser als die zeitliche Kohärenzlänge.

8. 发明申请

WO2003001272A3 OBJEKTIV 审中-公开
公开(公告)号：WO2003001272A3
公开(公告)日：2003-01-03
申请号：PCT/EP2002/006798
申请日：2002-06-19
申请人： CARL ZEISS JENA GMBH , BRUNNER, Robert , HAGE, Knut , DOBSCHAL, Hans-Jürgen , RUDOLF, Klaus , STEINER, Reinhard
发明人： BRUNNER, Robert , HAGE, Knut , DOBSCHAL, Hans-Jürgen , RUDOLF, Klaus , STEINER, Reinhard
IPC分类号： G02B21/02
摘要： Bei einem Objektiv (1), insbesondere einem Mikroskopobjektiv, wobei das Objektiv eine objektseitige erste Optikgruppe (5) mit positiver Brechkraft und eine der ersten Optikgruppe (5) nachgeschaltete zweite Optikgruppe (6) mit negativer Brechkraft aufweist und wobei die erste Optikgruppe (5) mehrere refraktive Elemente (7, 8, 9, 10) umfaßt, enthält die erste Optikgruppe (5) zumindest ein diffraktives Element (11), das brechungsverstärkend und achromatisierend wirkt.

9. 发明申请

WO2012038298A1 SPEKTROMETER 审中-公开
标题翻译：光谱仪
公开(公告)号：WO2012038298A1
公开(公告)日：2012-03-29
申请号：PCT/EP2011/065799
申请日：2011-09-13
申请人： CARL ZEISS AG , DOBSCHAL, Hans-Jürgen , BURKHARDT, Matthias
发明人： DOBSCHAL, Hans-Jürgen , BURKHARDT, Matthias
IPC分类号： G01J3/02 , G01J3/18
CPC分类号： G01J3/02 , G01J3/021 , G01J3/0256 , G01J3/0291 , G01J3/18
摘要： Das Spektrometer besteht aus einer Spaltblende mit einem Eintrittsspalt, einem hohlspiegelförmigen, abbildenden Gitter, welches eine Flächennormale aufweist und einem Detektor mit zellenförmig angeordneten Detektorelementen, die in Lichtausbreitungsrichtung nacheinander angeordnet sind. In unmittelbarer Umgebung des Eintrittspaltes ist in einer Spaltebene eine Reflexionsfläche angeordnet, wobei der Krümmungsmittelpunkt des hohlspiegelförmigen, abbildenden Gitters in einer Spaltebene liegt und die Flächennormale des abbildenden Gitters weist zum Eintrittspalt einen solchen Versatz auf, dass die Flächennormale den Eintrittsspalt nicht durchstößt, und wobei das abbildende Gitter eine 1:1 Abbildung des Eintrittspaltes auf die Reflexionsfläche für die nulle Ordnung erzeugt.
摘要翻译：该光谱仪包括具有入口狭缝，其具有表面法线和布置在被布置在连续的光传播方向上的形式的细胞的检测器具有检测器元件的凹面镜形成像的光栅中的狭缝光阑。在一个反射面的解理面的狭缝入口的紧邻处设置，其特征在于，位于一个解理面和表面法线成像网格面向入口的凹面镜形成像网格的曲率中心狭缝这样的偏移到的表面法线不通过入射狭缝推，并且其中所述成像光栅，1：用于nulle顺序反射表面上产生的入口狭缝的1成像。

10. 发明申请

WO2012034750A1 ANZEIGEVORRICHTUNG MIT EINER AUF DEN KOPF EINES BENUTZERS AUFSETZBAREN HALTEVORRICHTUNG 审中-公开
标题翻译：以一个倒转用户可连接HOLDING器件显示器件
公开(公告)号：WO2012034750A1
公开(公告)日：2012-03-22
申请号：PCT/EP2011/062528
申请日：2011-07-21
申请人： CARL ZEISS AG , DOBSCHAL, Hans-Jürgen , LINDIG, Karsten , RUDOLPH, Günter
发明人： DOBSCHAL, Hans-Jürgen , LINDIG, Karsten , RUDOLPH, Günter
IPC分类号： G02B27/01 , G02B3/08 , G02B27/00
CPC分类号： G02B27/0101 , G02B3/08 , G02B6/00 , G02B27/0172 , G02B2027/011 , G02B2027/0178
摘要： Es wird bereitgestellt eine Anzeigevorrichtung mit einer auf den Kopf eines Benutzers aufsetzbaren Haltevorrichtung (2), einem an der Haltevorrichtung (2) befestigten Bilderzeugungsmodul (8, 9), das ein Bild erzeugt, und einer an der Haltevorrichtung (2) befestigten Abbildungsoptik (5, 6), die ein Brillenglas (5) mit einer gekrümmten Vorderseite (14) und einer gekrümmten Rückseite (13) aufweist und die das erzeugte Bild im auf den Kopf aufgesetzten Zustand der Haltevorrichtung (2) so abbildet, daß es der Benutzer in Überlagerung mit der Umgebung wahrnehmen kann, wobei das vom Bilderzeugungsmodul (8, 9) kommende Licht über einen Eintrittsabschnitt (15) in einen Lichtkanal (17) im Brillenglas (5) eingekoppelt, im Lichtkanal (17) bis zu einem Austrittsabschnitt (16) geführt und über den Austrittsabschnitt (16) aus dem Brillenglas (5) ausgekoppelt wird, und wobei der Lichtkanal (17) im Bereich der Vorder- und Rückseite (14, 13) jeweils eine Fresnel-Struktur (18, 19) mit einer Mehrzahl von Facetten (20, 21) aufweist, an denen das im Lichtkanal (17) geführte Licht reflektiert wird und die zueinander parallel ausgerichtet sind.
摘要翻译：提供了一种显示装置，具有可安装在用户的头部保持装置（2）上，一个保持装置（2）上固定到图像形成模块（8,9），其形成的图像，并且安装在保持装置（2）的成像光学器件上的一个（5 ，6）具有透镜（5），其具有弯曲的前表面（14）和弯曲的后表面（13）和形成在所述保持装置的安装倒置状态下的图像的所谓的图像（2）用户在覆盖可以感知的环境中，从图像生成模块，所述（8，9），光通过在耦接在所述眼镜镜片（5）一个光信道（17）的入口段（15）的到来，在光信道（17）出来的出口部分（16）和在透镜（5）的出口部分（16）耦合，并且其中，在所述前部的区域侧和后侧的光导管（17）（14，13）的每一个包括一个菲涅耳结构（18，19）与多具有多个刻面（20，21），在该通道中（17）的光被反射被引导的光，并且在相互平行的对齐。

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