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1. 发明申请

WO2010136358A3 MICROMECHANICAL COMPONENT AND PRODUCTION METHOD FOR A MICROMECHANICAL COMPONENT 审中-公开
标题翻译：微机械结构和方法微机械结构
公开(公告)号：WO2010136358A3
公开(公告)日：2013-05-02
申请号：PCT/EP2010056813
申请日：2010-05-18
申请人： BOSCH GMBH ROBERT , NJIKAM NJIMONZIE FREDERIC , SCHOCK WOLFRAM , MUCHOW JOERG , LESTYAN ZOLTAN
发明人： NJIKAM NJIMONZIE FREDERIC , SCHOCK WOLFRAM , MUCHOW JOERG , LESTYAN ZOLTAN
IPC分类号： B81B3/00
CPC分类号： G02B26/0841 , B81B3/0021 , B81B2201/033 , B81B2201/042 , Y10T29/49002
摘要： The invention relates to a micromechanical component comprising an outer stator electrode component (28) and an outer actuator electrode component (24) connected to a holding element (55) by means of at least one outer spring (81). A mobile element (10) can be moved about a first rotational axis (12) by applying a first voltage between the outer actuator electrode component (24) and the outer stator electrode component (28). Said micromechanical component also comprises an inner stator electrode component (30) and an inner actuator electrode component (26) comprising a first web (50) provided with at least one electrode finger (26a,26b), the mobile element (10) being mobile about a second rotational axis (14) by applying a second voltage between the at least one electrode finger (26a, 26b) of the inner actuator electrode component (26) and the inner stator electrode component (30), the inner actuator electrode component (26) being connected to the outer actuator electrode component (24) by means of an intermediate spring (52) oriented in the direction of the second rotational axis (14). The invention also relates to a production method for a micromechanical component.
摘要翻译：本发明涉及一种具有外部定子电极组件（28）和外致动器电极组件（24），其经由至少一个外弹簧（81）配有一个支座（55），其特征在于，可调节的元件连接的微机械部件（10）的外执行器电极组件（24）和围绕旋转（12）的第一轴的外定子电极组件（28）之间施加第一电压是可调的，内部定子电极部件（30）和一个内执行器电极组件（26）与第一土地（50）具有至少一个布置的电极指（26A，26B），其中所述可调元件（10）将所述至少一个电极指之间的第二电压（26A，26B）内的致动器电极的组件（26）和围绕旋转的第二轴内部定子电极部件（30）（14）是可调节的，并且其中所述内部执行器电极组件（26）连接到外耳炎沿着所述弹簧（52）之间的旋转（14）的第二轴线对齐ßeren执行器电极组件（24）连接。此外，本发明涉及一种用于微机械部件的制造方法。

2. 发明申请

WO2010136356A3 MICROMECHANICAL COMPONENT, AND METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF 审中-公开
标题翻译：微机械结构和方法微机械结构
公开(公告)号：WO2010136356A3
公开(公告)日：2011-04-14
申请号：PCT/EP2010056806
申请日：2010-05-18
申请人： BOSCH GMBH ROBERT , NJIKAM NJIMONZIE FREDERIC , SCHOCK WOLFRAM , MUCHOW JOERG , LESTYAN ZOLTAN
发明人： NJIKAM NJIMONZIE FREDERIC , SCHOCK WOLFRAM , MUCHOW JOERG , LESTYAN ZOLTAN
IPC分类号： B81B3/00
CPC分类号： G02B26/0833 , H02N1/006
摘要： The invention relates to a micromechanical component comprising an adjustable element which is connected to a holder (16) at least by means of a spring (12), a first sensor device (22) that includes at least one first piezo-resistive sensor element (76b to 82b) and supplies a first sensor signal relating to a first mechanical stress, wherein the first piezo-resistive sensor element (76b to 82b) is arranged on or inside the spring (12) and/or within an anchoring zone of the spring (12), and a second sensor device (24) that includes at least one second piezo-resistive sensor element (96b to 102b) and supplies a second sensor signal relating to a second mechanical stress, wherein the second piezo-resistive sensor element (96b to 102b) is arranged on or inside the spring (12) and/or within an anchoring zone of the spring (12). The invention further relates to a method for producing a micromechanical component.
摘要翻译：本发明通过一个弹簧（12）被连接到托架（16），第一传感器装置（22）至少涉及具有可调节的元件的微机械部件具有至少一个第一压阻传感器元件（76B至82B），这是一个第一传感器信号相对于提供给第一机械功率，其中，第一压阻传感器元件（76B至82B）上或在所述弹簧（12）和/或弹簧的锚定部分（12）布置，和第二传感器装置（24）与至少一个第二压阻传感器元件（96B至102B），其提供一第二传感器信号相对于一个第二应变，其中，所述第二压电电阻传感器元件（96B至102B）上或在所述弹簧（12）和/或的一个锚定区域弹簧（12）被布置。此外，本发明涉及一种用于微机械部件的制造方法。

3. 发明申请

WO2009124605A2 MICROMECHANICAL COMPONENT HAVING A SLANTED STRUCTURE AND CORRESPONDING PRODUCTION METHOD 审中-公开
标题翻译：与斜面结构及相应方法微机械结构
公开(公告)号：WO2009124605A2
公开(公告)日：2009-10-15
申请号：PCT/EP2008066388
申请日：2008-11-28
申请人： BOSCH GMBH ROBERT , PIRK TJALF , PINTER STEFAN , BENZEL HUBERT , WEBER HERIBERT , KRUEGER MICHAEL , SATTLER ROBERT , NJIKAM NJIMONZIE FREDERIC , MUCHOW JOERG , FRITZ JOACHIM , SCHELLING CHRISTOPH , FRIESE CHRISTOPH
发明人： PIRK TJALF , PINTER STEFAN , BENZEL HUBERT , WEBER HERIBERT , KRUEGER MICHAEL , SATTLER ROBERT , NJIKAM NJIMONZIE FREDERIC , MUCHOW JOERG , FRITZ JOACHIM , SCHELLING CHRISTOPH , FRIESE CHRISTOPH
IPC分类号： B81C1/00
CPC分类号： B81C1/00103 , B81B2203/0118 , B81B2203/0307
摘要： The invention relates to a micromechanical component having a slanted structure and to a corresponding production method. Said component comprises a substrate (1) having a surface (O); a first anchor (3e; 3e') that is provided on the surface (O) of the substrate (1) and which extends away from the substrate (1); and at least one arm (3c, 3d; 3c; 3c') that is oriented away from the anchor (3e; 3e') and that is provided on one lateral surface (S1, S2; S1'; S1'') of the anchor (3e; 3e').
摘要翻译：本发明提供了螺旋结构和相应的制造方法的微机械部件。该组件包括具有表面（O）的基板（1）; 在基板（1）的表面上的第一锚（3E，3E“），该（O）被设置，并且从衬底（1）延伸离开; 指向离开和在侧面的至少一个; '（其被从电枢倾斜臂3c和3d，3c和3c）中所提供的电枢的（S1，S2 S1”，S1' '）（3E，3E） '（图3e' 3E）是。

4. 发明申请

WO2009095108A2 FIXED BODY JOINT AND MICROMECHANICAL COMPONENT 审中-公开
标题翻译： SOLID STATE关节和微机械部件
公开(公告)号：WO2009095108A2
公开(公告)日：2009-08-06
申请号：PCT/EP2008065532
申请日：2008-11-14
申请人： BOSCH GMBH ROBERT , PIRK TJALF , PINTER STEFAN , BENZEL HUBERT , WEBER HERIBERT , KRUEGER MICHAEL , SATTLER ROBERT , NJIKAM NJIMONZIE FREDERIC , MUCHOW JOERG , FRITZ JOACHIM , SCHELLING CHRISTOPH , FRIESE CHRISTOPH
发明人： PIRK TJALF , PINTER STEFAN , BENZEL HUBERT , WEBER HERIBERT , KRUEGER MICHAEL , SATTLER ROBERT , NJIKAM NJIMONZIE FREDERIC , MUCHOW JOERG , FRITZ JOACHIM , SCHELLING CHRISTOPH , FRIESE CHRISTOPH
IPC分类号： B81B7/00
CPC分类号： G02B26/0841 , B81B7/0006 , B81B2201/042 , B81B2203/058
摘要： The invention relates to a fixed body joint (16) for suspending a micromechanical device (2), comprising a support beam (17) and a thin layer (22) applied to the support beam (17). The thin layer extends laterally beyond the support beam (17). One or more conductor tracks (18) are embedded in said thin layer (22).
摘要翻译：根据本发明（16），用于悬挂的微机械装置（2）包括在所述轴承的光束（17）的支撑梁（17）和一个所述的固体关节淀积的薄层（22）。薄层横向延伸出经轴承梁（17）。在薄层（22）的一个或多个导体轨迹（18）嵌入。

5. 发明专利

CA3036618A1 MICROMECHANICAL COMPONENT, AND METHOD FOR PRODUCING A MICROMECHANICAL COMPONENT 未知
公开(公告)号：CA3036618A1
公开(公告)日：2018-04-26
申请号：CA3036618
申请日：2017-09-25
申请人： BOSCH GMBH ROBERT
发明人： STRAUB RAINER , FINN ANDREAS , NJIKAM NJIMONZIE FREDERIC , MUCHOW JOERG , GRUTZECK HELMUT
IPC分类号： B81B3/00 , G02B26/08
摘要： The invention relates to a micromechanical component having a holder (10), at least one coil winding (14), which is held by means of at least one coil carrier (12) and comprises conductor tracks (22) made of at least one electrically conductive material, wherein at least one first partial section (14a) of the at least one coil winding (14) is anchored on the allocated coil carrier (12), and an adjustable part (16), wherein the at least one coil carrier (12) and the adjustable part (16) are connected to each other and to the holder (10) by at least one spring element (18), such that the adjustable part (16) is adjustable in relation to the holder (10) about at least one rotation axis (20), and wherein, while the at least one first partial section (14a) of the at least one coil winding (14) is anchored on the allocated coil carrier (12), at least one second partial section (14b) of the same coil winding (14) spans at least one intermediate gap (24) formed in the allocated coil carrier (12) as a self-supporting partial section (14b).

6. 发明专利

DE102010061780A1 Mikro-Magnetfeldsensor, Mikro-Magnetfeldsensorvorrichtung sowie Verfahren 未知
公开(公告)号：DE102010061780A1
公开(公告)日：2012-05-24
申请号：DE102010061780
申请日：2010-11-23
申请人： BOSCH GMBH ROBERT
发明人： REICHENBACH FRANK , PATAK CHRISTIAN , WEISS STEFAN , NJIKAM NJIMONZIE FREDERIC , SCHATZ FRANK , FARBER PAUL
IPC分类号： G01R33/02 , G01C17/30 , G01R33/04 , G01R33/09 , G01V3/40
摘要： Die Erfindung betrifft einen Mikro-Magnetfeldsensor zur Detektion von dreidimensionalen Magnetfeldern. Der Sensor umfasst zumindest drei Sensorelemente jeweils zur Messung zumindest einer Richtung des in einer ersten Ebene angeordnet sind und wobei zumindest das dritte Sensorselement in einer zweiten Ebene angeordnet ist, die senkrecht zur ersten Ebene angeordnet ist, und wobei zumindest eines der Sensorelemente zu einer dritten Ebene, welche senkrecht zu der ersten und zweiten Ebene angeordnet ist, in einem spitzen oder stumpfen Winkel angeordnet ist. Die Erfindung betrifft ebenfalls eine Mikro-Magnetfeldsensorvorrichtung.

7. 发明专利

DE102013217094B4 Mikromechanisches Bauelement und entsprechendes Prüfverfahren für ein mikromechanisches Bauelement 未知
公开(公告)号：DE102013217094B4
公开(公告)日：2021-11-04
申请号：DE102013217094
申请日：2013-08-28
申请人： BOSCH GMBH ROBERT
发明人： HEINZELMANN WOLFGANG , STRAUB RAINER , BAADER JOHANNES , NJIKAM NJIMONZIE FREDERIC , MUCHOW JOERG , GRUTZECK HELMUT , ARMBRUSTER SIMON , REISS SEBASTIAN
IPC分类号： B81B3/00
摘要： Mikromechanisches Bauelement mit:mindestens einem ersten Bereich (1; 1a), welcher über eine Federeinrichtung (2a, 2b; 2a', 2a", 2b', 2b"; 22-25) mit einem zweiten Bereich (100; 1b) elastisch verbunden ist;einer in und/oder auf der Federeinrichtung (2a, 2b) angeordneten Widerstandseinrichtung (R; R1; R"; R'''; R1, R2, R0), welche bei einer Beschädigung der Federeinrichtung (2a, 2b; 2a', 2a", 2b', 2b"; 22-25) zumindest teilweise unterbrechbar ist; undeiner Erfassungseinrichtung (50; 50'), welche elektrisch mit der Widerstandseinrichtung (R) verbunden ist, zum Erfassen einer Unterbrechung der Widerstandseinrichtung (R; R1; R"; R'''; R1, R2, R0) und zum Erzeugen eines entsprechenden Erfassungssignals (S; S1, S2).dadurch gekennzeichnet, dass der erste Bereich (1a) ein elastisch auslenkbarer Antriebsbereich und der zweite Bereich ein elastisch auslenkbarer Spiegelbereich ist.

8. 发明专利

DE102015219447A1 Mikrospiegelanordnung und Verfahren zum Kalibrieren einer Mikrospiegelanordnung 未知
公开(公告)号：DE102015219447A1
公开(公告)日：2017-04-13
申请号：DE102015219447
申请日：2015-10-08
申请人： BOSCH GMBH ROBERT
发明人： AL DIBS MOHAMAD LYAD , MESSNER DOMINIK , NJIKAM NJIMONZIE FREDERIC
IPC分类号： G02B26/08 , G01M11/00 , G01S7/481 , G01S7/497 , G02B5/08 , G02B26/10
摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft die Kalibrierung eines Positionssignals in einer Mikrospiegelanordnung. Hierzu wird ein Lichtstrahl durch einen Mikrospiegel der Mikrospiegelanordnung auf einen Lichtdetektor an einer vorbestimmten Position abgelenkt. Durch Auswertung eines Positionssignals von einem Positionsdetektor, das zum Zeitpunkt der Detektion des abgelenkten Lichtstrahls auf den Lichtdetektor ausgegeben wird, können Korrekturparameter für Abweichungen in dem Positionssignal berechnet werden. Durch zusätzliche Auswertung der jeweiligen Temperatur kann insbesondere auch eine temperaturabhängige Korrektur des Positionssignals bestimmt werden.

9. 发明专利

DE102013217094A1 Mikromechanisches Bauelement und entsprechendes Prüfverfahren für ein mikromechanisches Bauelement 未知
公开(公告)号：DE102013217094A1
公开(公告)日：2015-03-05
申请号：DE102013217094
申请日：2013-08-28
申请人： BOSCH GMBH ROBERT
发明人： HEINZELMANN WOLFGANG , STRAUB RAINER , BAADER JOHANNES , NJIKAM NJIMONZIE FREDERIC , MUCHOW JOERG , GRUTZECK HELMUT , ARMBRUSTER SIMON , REISS SEBASTIAN
IPC分类号： B81B3/00
摘要： Die vorliegende Erfindung schafft ein mikromechanisches Bauelement und ein entsprechendes Prüfverfahren für ein mikromechanisches Bauelement. Das mikromechanisches Bauelement umfasst mindestens einen ersten Bereich (1; 1a), welcher über eine Federeinrichtung (2a, 2b; 2a‘, 2a‘‘, 2b‘, 2b‘‘; 22–25) mit einem zweiten Bereich (100; 1b) elastisch verbunden ist, eine in und/oder auf der Federeinrichtung (2a, 2b) angeordnete Widerstandseinrichtung (R; R1; R‘‘; R‘‘‘; R1, R2, R0), welche bei einer Beschädigung der Federeinrichtung (2a, 2b; 2a‘, 2a‘‘, 2b‘, 2b‘‘; 22–25) zumindest teilweise unterbrechbar ist, und eine Erfassungseinrichtung (50; 50‘), welche elektrisch mit der Widerstandseinrichtung (R) verbunden ist, zum Erfassen einer Unterbrechung der Widerstandseinrichtung (R; R1; R‘‘; R‘‘‘; R1, R2, R0) und zum Erzeugen eines entsprechenden Erfassungssignals (S).

10. 发明专利

DE102014211338A1 MIKROSPIEGELANORDNUNG UND PROJEKTIONSEINRICHTUNG 未知
公开(公告)号：DE102014211338A1
公开(公告)日：2015-12-17
申请号：DE102014211338
申请日：2014-06-13
申请人： BOSCH GMBH ROBERT
发明人： STRAUB RAINER , PINTER STEFAN , BAADER JOHANNES , DUELL ANDREAS , NJIKAM NJIMONZIE FREDERIC , MUCHOW JOERG , GRUTZECK HELMUT , MARK STEFAN
IPC分类号： G02B26/08
摘要： Die vorliegende Erfindung offenbart eine Mikrospiegelanordnung mit einem federnd aufgehängten Spiegel und mit mindestens einer Anschlageinrichtung, welche ausgebildet ist, bei einer Bewegung des Spiegels in einer vorgegebenen Richtung aus dessen Ruheposition heraus, eine Bewegung des Spiegels einzuschränken. Ferner offenbart die vorliegende Erfindung eine Projektionseinrichtung.

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