专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明申请

WO2010136356A2 MIKROMECHANISCHES BAUTEIL UND HERSTELLUNGSVERFAHREN FÜR EIN MIKROMECHANISCHES BAUTEIL 审中-公开
标题翻译：微机械结构和方法微机械结构
公开(公告)号：WO2010136356A2
公开(公告)日：2010-12-02
申请号：PCT/EP2010/056806
申请日：2010-05-18
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , NJIKAM NJIMONZIE, Frederic , SCHOCK, Wolfram , MUCHOW, Joerg , LESTYAN, Zoltan
发明人： NJIKAM NJIMONZIE, Frederic , SCHOCK, Wolfram , MUCHOW, Joerg , LESTYAN, Zoltan
IPC分类号： B81B3/00
CPC分类号： G02B26/0833 , H02N1/006
摘要： Die Erfindung betrifft ein mikromechanisches Bauteil mit einem verstellbaren Element, welches zumindest über eine Feder (12) mit einer Halterung (16) verbunden ist, einer ersten Sensoreinrichtung (22) mit mindestens einem ersten piezo-resistiven Sensorelement (76b bis 82b), welche ein erstes Sensorsignal bezüglich einer ersten mechanischen Spannung bereitstellt, wobei das erste piezo-resistive Sensorelement (76b bis 82b) auf oder in der Feder (12) und/oder einem Verankerungsbereich der Feder (12) angeordnet ist, und einer zweiten Sensoreinrichtung (24) mit mindestens einem zweiten piezo-resistiven Sensorelement (96b bis 102b), welche ein zweites Sensorsignal bezüglich einer zweiten mechanischen Spannung bereitstellt, wobei das zweite piezo-resistive Sensorelement (96b bis 102b) auf oder in der Feder (12) und/oder einem Verankerungsbereich der Feder (12) angeordnet ist. Des Weiteren betrifft die Erfindung ein Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil.
摘要翻译：本发明通过一个弹簧（12）被连接到托架（16），第一传感器装置（22）至少涉及具有可调节的元件的微机械部件具有至少一个第一压阻传感器元件（76B至82B），这是一个第一传感器信号相对于提供给第一机械功率，其中，第一压阻传感器元件（76B至82B）上或在所述弹簧（12）和/或弹簧的锚定部分（12）布置，和第二传感器装置（24）与至少一个第二压阻传感器元件（96B至102B），其提供一第二传感器信号相对于一个第二应变，其中，所述第二压电电阻传感器元件（96B至102B）上或在所述弹簧（12）和/或的一个锚定区域弹簧（12）被布置。此外，本发明涉及一种用于微机械部件的制造方法。

2. 发明申请

WO2010046154A1 KASKADIERTE MIKROMECHANISCHE AKTUATORSTRUKTUR 审中-公开
标题翻译：级联微机械驱动器的结构
公开(公告)号：WO2010046154A1
公开(公告)日：2010-04-29
申请号：PCT/EP2009/060865
申请日：2009-08-24
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim , FRIESE, Christoph
发明人： PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim , FRIESE, Christoph
IPC分类号： G02B26/08
CPC分类号： G02B26/0833 , B81B3/004 , B81B2201/033 , B81B2203/058 , G02B26/0841 , H02N1/006
摘要： Die Erfindung schafft eine kaskadierte mikromechanische Aktuatorstruktur zum Drehen eines mikromechanischen Bauelements (S) um eine Drehachse (DA; DA'; DA''; DA'''; DA'''') mit: einer Torsionsfedereinrichtung, welche einerseits an einer Halterung (VS) angebracht ist und an der andererseits das mikromechanische Bauelements (S) anbringbar ist; wobei die Torsionsfedereinrichtung eine Mehrzahl von Torsionsfedern (f1, f2, f3; f', fi'; f1'', f2''; f1a''', f1b''', f2'''; f1a'''', f1b'''', f2'''') aufweist, welche entlang oderparallel zu der Drehachse (DA; DA'; DA''; DA'''; DA'''') verlaufen; und einer Drehantriebseinrichtung mit einer Mehrzahl von Drehantrieben (A1, A2, A3; Ai'; A1'', A2''; A1''', A2'''; A1'''', A2''''), welche derart mit der Torsionsfedereinrichtung (f1, f2,f3; f', fi'; f1'', f2''; f1a''', f1b''', f2'''; f1a'''', f1b'''', f2'''') verbunden sind, dass jeder Drehantrieb (A1, A2, A3; Ai'; A1'', A2''; A1''', A2'''; A1'''', A2'''') einen Bruchteil zu einem gesamten Drehwinkel des eines mikromechanischen Bauelements (S) um die Drehachse (DA; DA'; DA''; DA'''; DA'''') beisteuert.
摘要翻译：本发明提供了一种级联的微机械致动器结构，用于围绕旋转轴线旋转的微机械部件（S）（DA; DA“; DA”“; AS”“”; AS“”“”），其包括：一个扭力弹簧，一方面（到支架 VS）被安装并且在另一方面，在微型机械装置（S）附接; 其中所述扭转弹簧包括多个扭转弹簧（F1，F2，F3，F '音响'，F1 'F2' '; F1A' ''，F1B '''，F2' ''; F1A '' ''，F1B '' ''，F2 '' ''），其沿着或平行（于旋转DA的轴线旋转;运行 '' '）';沓 ';;' DA 'DA' DA ''; 和旋转驱动器与多个旋转致动器的装置（A1，A2，A3，艾'; A1 'A2' '; A1'，A2' ''; A1 '' ''，A2 '' ''），其（因此与扭转弹簧F1，F2，F3，F '音响'，F1 'F2' '; F1A' ''，F1B '''，F2' ''; F1A '' ''，F1B ''' 是 'F2' '' '），使得每个旋转驱动器（A1，A2，A3，艾'; A1'，A2 ''; A1'，A2 '' '; A1' '''，A2' “”“）的微机械部件（S）（围绕旋转轴DA的旋转的总角度的一部分; DA”; DA“”; AS“”“; AS”“”“）有助于。

3. 发明申请

WO2010034551A1 MAGNETJOCH, MIKROMECHANISCHES BAUTEIL UND HERSTELLUNGSVERFAHREN FÜR EIN MAGNETJOCH UND EIN MIKROMECHANISCHES BAUTEIL 审中-公开
标题翻译：轭，微机械结构及方法轭和微机械部件
公开(公告)号：WO2010034551A1
公开(公告)日：2010-04-01
申请号：PCT/EP2009/060020
申请日：2009-08-03
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim , FRIESE, Christoph
发明人： PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim , FRIESE, Christoph
IPC分类号： H01F7/02 , G02B26/08 , H02K33/18 , H01F7/06
CPC分类号： H01F7/066 , G02B26/0841 , G02B26/0858 , H01F7/0231 , H01F7/0273 , H02K33/18 , Y10T29/49071 , Y10T29/49826
摘要： Die Erfindung betrifft ein Magnetjoch (10) mit einem Magneten (12) mit einer Magnetisierungsrichtung (14), an welchem ein erster Jocharm (18a) und ein zweiter Jocharm (18b) so angeordnet sind, dass der Magnet (12) und die beiden Jocharme (18a,18b) einen sich von einer Vorderseite zu einer Rückseite des Magnetjochs erstreckenden Jochzwischenraum (20) aufspannen; und einem an dem ersten Jocharm (18a) angeordneten ersten Polschuh (22a) und einem an den zweiten Jocharm (18b) angeordneten zweiten Polschuh (22b), zwischen welchen ein Jochspalt (24) liegt; wobei der erste Polschuh (22a) an einem ersten Ende (40a) an der Vorderseite des Magnetjochs (10) parallel zu der Magnetisierungsrichtung (14) des Magneten (12) eine erste Breite (b1) und an einem dem ersten Ende (40a) gegenüberliegenden zweiten Ende (42a) an der Rückseite des Magnetjochs (10) parallel zu der Magnetisierungsrichtung (14) des Magneten (12) eine zweite Breite (b2) ungleich der ersten Breite (bl) aufweist.
摘要翻译：本发明涉及的磁轭（10），其具有磁体（12），其具有磁化方向（14），在其上的第一磁轭臂（18a）和一个第二磁轭臂（18B）被布置成使得所述磁体（12）和两个叉臂（18A，18B）跨越从正面到延伸Jochzwischenraum（20）的磁轭的后侧; 并且在所述第一磁轭臂（18A）设置在第一极靴（22A）和一个第二磁轭臂（18b）的设置在第二极靴（22B），在其之间的磁轭的间隙（24）; 其中，所述第一极靴（22A）在所述磁轭（10）平行于所述磁体的磁化方向（14）（12）的前部的第一端部（40A）具有第一宽度（b1）和相对的所述第一端（40a）的第二端部（42A）（10）上平行于所述磁体（12）的磁化方向（14）不具有第一宽度（BL）的第二宽度（B2）的磁轭的背部。

4. 发明申请

WO2009086978A3 PRODUCTION METHOD FOR A MICROMECHANICAL ELECTROSTATIC ADJUSTER DEVICE AND MICROMECHANICAL ELECTROSTATIC ADJUSTER DEVICE 审中-公开
标题翻译： PROCESS微型机械静态修正及MICRO电荷调节
公开(公告)号：WO2009086978A3
公开(公告)日：2010-04-01
申请号：PCT/EP2008065575
申请日：2008-11-14
申请人： BOSCH GMBH ROBERT , PIRK TJALF , PINTER STEFAN , BENZEL HUBERT , WEBER HERIBERT , KRUEGER MICHAEL , SATTLER ROBERT , MUCHOW JOERG , FRITZ JOACHIM , SCHELLING CHRISTOPH , FRIESE CHRISTOPH
发明人： PIRK TJALF , PINTER STEFAN , BENZEL HUBERT , WEBER HERIBERT , KRUEGER MICHAEL , SATTLER ROBERT , MUCHOW JOERG , FRITZ JOACHIM , SCHELLING CHRISTOPH , FRIESE CHRISTOPH
IPC分类号： B81C1/00
CPC分类号： B81C1/00666 , B81B2201/033 , B81B2201/042 , B81B2203/0136 , B81B2203/019 , B81C1/00166 , B81C2201/0167 , H02N1/002
摘要： The invention relates to a production method for a micromechanical electrostatic adjuster device (10), comprising the steps: application of a first conducting layer (12) to a substrate (28,30), etching the first conducting layer (12) to form at least one first electrode (16) in the material of the first conducting layer (12), application of a separation layer (32a) to the first conducting layer (12), application of a second conducting layer to the separation layer (32a), etching the second conducting layer to form at least one second electrode (22) in the material of the second conducting layer and application of a cover layer (40) to the second electrode (22) and bending the second electrode (22) by means of a mechanical compression load exerted on the second electrode (22) by means of the cover layer (40). The invention further relates to a corresponding micromechanical electrostatic adjuster device.
摘要翻译：本发明涉及一种用于微机械静电调节器（10）的制造方法，包括以下步骤：基部（28,30）上沉积第一导电层（12），蚀刻所述第一导电层（12），用于形成至少一个第一电极（ 16）从第一导电层（12）的材料，在施加第一导电层（12）上的脱模层（32a），其上沉积隔离层（32A）上的第二导电层，蚀刻第二导电层，以形成至少一个从第二导电层的材料，并施加于第二电极（22）的覆盖层（40）和由在第二电极上的覆盖层（40）中的一个的装置的第二电极（22）的弯曲的第二电极（22）（22）施加机械压应力。本发明还涉及一种相应的微机械静电调节器。

5. 发明申请

WO2009132719A2 MIKROMECHANISCHES BAUTEIL, VERFAHREN ZUM BETREIBEN EINES MIKROMECHANISCHEN BAUTEILS UND HERSTELLUNGSVERFAHREN FÜR EIN MIKROMECHANISCHES BAUTEIL 审中-公开
标题翻译：微机械结构，用于操作机械的科技组件和方法微机械结构
公开(公告)号：WO2009132719A2
公开(公告)日：2009-11-05
申请号：PCT/EP2008/066535
申请日：2008-12-01
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim
发明人： MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim
IPC分类号： B81B3/00
CPC分类号： B81B3/0021 , B81B2201/042 , G02B26/0833
摘要： Die Erfindung schafft ein mikromechanisches Bauteil mit einem gegenüber einer Halterung verstellbaren Stellelement (10), welches mittels mindestens einem Federelement (16) mit der Halterung verbunden ist, wobei ein erstes Ende des Federelements (16) an einem ersten Verankerungsbereich, welcher ein Teilbereich der Halterung ist, befestigt ist und ein zweites Ende des Federelements (16) an einem zweiten Verankerungsbereich (20), welcher ein Teilbereich des Stellelements (10) ist, befestigt ist; und mindestens einem piezoresistiven Element (22), welches so auf einer Oberfläche und/oder innerhalb eines Volumens des ersten Verankerungsbereichs und/oder des zweiten Verankerungsbereichs (20) angeordnet ist, dass bei einer Verformung des Federelements (16) ein Widerstand des piezoresistiven Elements (22) veränderbar ist. Zusätzlich betrifft die Erfindung ein Verfahren zum Betreiben eines mikromechanischen Bauteils. Des Weiteren betrifft die Erfindung ein Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil.
摘要翻译：本发明提供了一种具有相对于该由至少一个弹簧元件（16）的装置被连接到所述托架的支撑可调节设定构件（10），微机械部件，其中在一个第一锚定区域内的弹簧元件（16）的第一端部，所述支架的其中一个部分连接，并且在第二固定部的弹簧元件（16）的第二端（20），其是所述致动元件的一部分（10）安装; 和所述至少一个压阻元件，它被布置在一个表面和/或所述第一锚定部和/或第二锚定区域（20），一个体积内，用于弹簧元件（16）的变形（22）（一个压阻元件的电阻 22）是可变的。另外，本发明涉及一种用于操作的微机械部件的方法。此外，本发明涉及一种用于微机械部件的制造方法。

6. 发明申请

WO2009127274A2 MICROMECHANICAL COMPONENT, METHOD FOR THE OPERATION OF A MICROMECHANICAL COMPONENT, AND METHOD FOR THE PRODUCTION OF A MICROMECHANICAL COMPONENT 审中-公开
标题翻译：微机械结构，用于操作机械的科技组件和方法微机械结构
公开(公告)号：WO2009127274A2
公开(公告)日：2009-10-22
申请号：PCT/EP2008066721
申请日：2008-12-03
申请人： BOSCH GMBH ROBERT , PIRK TJALF , PINTER STEFAN , MUCHOW JOERG , FRITZ JOACHIM , FRIESE CHRISTOPH
发明人： PIRK TJALF , PINTER STEFAN , MUCHOW JOERG , FRITZ JOACHIM , FRIESE CHRISTOPH
IPC分类号： B81B3/00
CPC分类号： B81B3/004 , B81B3/0037 , B81B2201/033 , B81B2201/037 , B81B2203/0181 , B81B2203/058 , G02B26/0841 , G02B26/085
摘要： The invention relates to a micromechanical component comprising a spring (20a, 20b), a lever element (22a, 22b) mounted on a first end of the spring (20a, 20b), a driving device that is designed to rotate the lever element (22a, 22b) about a first axis of rotation extending perpendicular to a longitudinal axis of the lever element (22a, 22b), and an adjusting element (10) which is mounted on a second end of the spring (20a, 20b) and is coupled to the level element (22a, 22b) by means of the spring (20a, 20b) in such a way that the adjusting element (10) is rotated about a second axis of rotation (18) when the lever element (22a, 22b) is rotated about the first axis of rotation by means of the driving the device. The invention additionally relates to a method for operating a micromechanical component as well as a method for producing a micromechanical component.
摘要翻译：本发明涉及一种微机械部件附接的弹簧（20A，20B）一个在所述弹簧的第一端部（20A，20B）杆构件（22A，22B），的驱动装置。其适于将所述杆部件（22A，22B）关于垂直于所述杆部件的纵向轴线的轴（22A，22B）旋转对准第一旋转轴线，并且在弹簧的第二端部（20A，20B）致动元件安装（10）通过弹簧，然后（20A，20B）到所述杆构件（22A，22B）被耦合，使得在杆部件（22A，22B）关于由驱动装置旋转的第一轴，所述致动元件（10）的旋转（围绕旋转18的第二轴）旋转。另外，本发明涉及一种用于操作的微机械部件的方法。此外，本发明涉及一种用于微机械部件的制造方法。

7. 发明申请

WO2009124609A1 UMLENKEINRICHTUNG FÜR EINEN STRAHL EINER ELEKTROMAGNETISCHEN WELLE 审中-公开
标题翻译：偏转电磁波一缕
公开(公告)号：WO2009124609A1
公开(公告)日：2009-10-15
申请号：PCT/EP2008/066713
申请日：2008-12-03
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , BENZEL, Hubert , WEBER, Heribert , KRUEGER, Michael , SATTLER, Robert , NJIKAM NJIMONZIE, Frederic , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim , SCHELLING, Christoph , FRIESE, Christoph
发明人： PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , BENZEL, Hubert , WEBER, Heribert , KRUEGER, Michael , SATTLER, Robert , NJIKAM NJIMONZIE, Frederic , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim , SCHELLING, Christoph , FRIESE, Christoph
IPC分类号： G02B26/08 , G02B26/10
CPC分类号： G02B26/101
摘要： Die Erfindung bezieht sich auf eine Umlenkeinrichtung für den Strahl einer elektromagnetischen Welle mit zwei kaskadierten Reflektionselementen (1, 2), die einzeln in unterschiedlichen Richtungen gesteuert schwenkbar sind, wobei die Reflektionsflächen (3, 4) mit Abstand einander gegenüber liegen und einander zugewandt sind. Damit werden weitere Reflektionselemente überflüssig und es kann eine geringe Baugröße erreicht werden.
摘要翻译：本发明涉及一种偏转装置用于电磁波的具有两个级联的反射元件的光束（1,2），它们在不同的方向分别控制可以枢转，其中，所述反射表面（3,4）由远彼此相对且彼此面对。以便进一步反射元件是不必要的，并且它可以是一个小的尺寸就可以实现。

8. 发明申请

WO2013091939A1 MIKROSPIEGEL 审中-公开
标题翻译：微镜
公开(公告)号：WO2013091939A1
公开(公告)日：2013-06-27
申请号：PCT/EP2012/070925
申请日：2012-10-23
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , NITSCHE, Heiko , NJIKAM NJIMONZIE, Frederic , SCHOCK, Wolfram , LESTYAN, Zoltan , MUCHOW, Joerg , GRUTZECK, Helmut
发明人： NITSCHE, Heiko , NJIKAM NJIMONZIE, Frederic , SCHOCK, Wolfram , LESTYAN, Zoltan , MUCHOW, Joerg , GRUTZECK, Helmut
IPC分类号： G02B26/08 , G02B26/10 , G02B7/182
CPC分类号： G02B26/0833 , B81B3/0043 , B81B2201/042 , B81B2203/0109 , B81B2203/0163 , G02B7/1821 , G02B26/101 , G02B26/105
摘要： Die Erfindung betrifft einen Mikrospiegel mit einer ersten Schicht (200) mit einer ersten Haupterstreckungsebene, mit einer zweiten Schicht (300) mit einer zweiten Haupterstreckungsebene, wobei die erste Haupterstreckungsebene und die zweite Haupterstreckungsebene parallel zueinander angeordnet sind, wobei die erste Schicht (200) und die zweite Schicht (300) über wenigstens einen Verbindungsbereich (23) bereichsweise miteinander verbunden sind, wobei in der ersten Schicht (200) wenigstens ein Federelement (202) ausgebildet ist, wobei in der zweiten Schicht (300) eine beweglich aufgehängte Spiegelplatte (305) ausgebildet ist, wobei die Spiegelplatte (305) an einer ersten Seite (30) parallel zur Haupterstreckungsebene eine Spiegelfläche aufweist und an einer gegenüberliegenden zweiten Seite (20) über den Verbindungsbereich (23) mit einer Verankerung (210) des Federelements (202) verbunden ist, wobei ein Teil des Federelements (202) auf der zweiten Seite (20) der Spiegelplatte (305) beweglich gegenüber der Spiegelplatte (305) angeordnet ist. Die Erfindung betrifft auch ein 2-Spiegelsystem mit einem solchen Mikrospiegel.
摘要翻译：本发明涉及微镜与具有延伸部的第一主平面的第一层（200），与具有第二主平面的第二层（300），所述第一主面和延伸的第二主面平行地配置彼此，其中所述第一层（200）和经由至少一个连接部（23），所述第二层（300）被部分地连接到彼此，其中在所述第一层（200）的至少一个弹簧元件（202）形成，其中在所述第二层中的活动悬浮镜板（300）（305）与镜板（305）上的第一侧（30）平行于镜表面，并通过连接部（23）相对的第二侧（20）的主平面中的与所述弹簧元件的锚固装置（210）形成（202）其中，所述弹簧元件（202）上的镜板的所述第二侧（20）的部分（305）可移动地设置相对于该镜板（305）。本发明还涉及一种具有这种微反射镜2的反射镜系统。

9. 发明申请

WO2010046155A3 ELECTROSTATIC DRIVE, MICROMECHANICAL COMPONENT AND METHOD FOR PRODUCING AN ELECTROSTATIC DRIVE AND A MICROMECHANICAL COMPONENT 审中-公开
标题翻译：静电驱动，微机械结构和方法用于静电驱动器和微机械部件
公开(公告)号：WO2010046155A3
公开(公告)日：2010-12-16
申请号：PCT/EP2009060881
申请日：2009-08-24
申请人： BOSCH GMBH ROBERT , PIRK TJALF , PINTER STEFAN , KRUEGER MICHAEL , MUCHOW JOERG , FRITZ JOACHIM , FRIESE CHRISTOPH
发明人： PIRK TJALF , PINTER STEFAN , KRUEGER MICHAEL , MUCHOW JOERG , FRITZ JOACHIM , FRIESE CHRISTOPH
IPC分类号： H02N1/00
CPC分类号： H02N1/006 , Y10T29/49002
摘要： The invention relates to an electrostatic drive having an interior frame (16), at least one intermediate frame (14) surrounding the interior frame, and an exterior frame (12) surrounding the interior frame (12) and the at least one intermediate frame (14), wherein two adjacent frames (12, 14, 16) of the interior, intermediate, and exterior frames (12, 14, 16) are connected to each other via a spring element (22, 24, 26), wherein the spring elements (22, 24, 26) through which two adjacent frames (12, 14, 16) of the interior, intermediate, and exterior frames (12, 14,16) are connected to each other are disposed such that the longitudinal directions of the spring elements (22, 24, 26) are positioned on a mutual spring longitudinal axis (28), and wherein electrode fingers are disposed on frame joists (12a,14a,16a) of the interior frame (16), of the at least one intermediate frame (14), and of the exterior frame (12), said joists being aligned directly parallel to the spring longitudinal axis (28). The invention further relates to a method for producing an electrostatic drive. The invention also relates to a micromechanical component (10) and to a method for producing a micromechanical component (10).
摘要翻译：本发明涉及一种具有内框架（16），至少一个围绕所述内框架中间框架（14）和所述内框架（12）和所述至少一个中间框架（14）围绕所述外框架（12），每两个相邻的帧（的静电驱动 12，14，16）（通过至少一个弹簧元件（22，24，26）内，中间和外框架12，14，16）被连接到彼此，其中所述弹簧元件（22，24,26），通过该内层，中间和外框架（12，14,16）中的每两个相邻的帧（12，14，16）连接在一起，被布置成使得所述弹簧元件（22，24，26）的一个共同的弹簧轴线的纵向方向（28）位于和直接平行于所述弹簧纵向轴线的内框架（16）的（28）框架梁（12A，14A，16A），所述至少一个中间框架（14）和所述外框架（12）的电极指排列。本发明还涉及一种静电驱动器的制造方法。此外，本发明提供了一种微机械部件（10）和用于微机械部件的制造方法（10）涉及。

10. 发明申请

WO2010046155A2 ELEKTROSTATISCHER ANTRIEB, MIKROMECHANISCHES BAUTEIL UND HERSTELLUNGSVERFAHREN FÜR EINEN ELEKTROSTATISCHEN ANTRIEB UND EIN MIKROMECHANISCHES BAUTEIL 审中-公开
标题翻译：静电驱动器，微机电组件及制造静电驱动器和微机电组件的方法
公开(公告)号：WO2010046155A2
公开(公告)日：2010-04-29
申请号：PCT/EP2009/060881
申请日：2009-08-24
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , KRUEGER, Michael , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim , FRIESE, Christoph
发明人： PIRK, Tjalf , PINTER, Stefan , KRUEGER, Michael , MUCHOW, Joerg , FRITZ, Joachim , FRIESE, Christoph
IPC分类号： H02N1/00
CPC分类号： H02N1/006 , Y10T29/49002
摘要： Die Erfindung betrifft einen elektrostatischer Antrieb mit einem Innenrahmen (16), mindestens einem den Innenrahmen umgebenden Zwischenrahmen (14), und einem den Innenrahmen (12) und den mindestens einen Zwischenrahmen (14) umgebenden Außenrahmen (12), wobei jeweils zwei benachbarte Rahmen (12, 14, 16) von den Innen-, Zwischen- und Außenrahmen (12, 14, 16) über mindestens ein Federelement (22, 24, 26) miteinander verbunden sind, wobei die Federelemente (22, 24, 26), über welche jeweils zwei benachbarte Rahmen (12, 14, 16) der Innen-, Zwischen- und Außenrahmen (12, 14,16) miteinander verbunden sind, so angeordnet sind, dass die Längsrichtungen der Federelemente (22, 24, 26) auf einer gemeinsamen Federlängsachse (28) liegen, und wobei direkt an parallel zu der Federlängsachse (28) ausgerichteten Rahmenbalken (12a,14a,16a) des Innenrahmens (16), des mindestens einen Zwischenrahmens (14) und des Außenrahmens (12) Elektrodenfinger angeordnet sind. Ebenso betrifft die Erfindung ein Herstellungsverfahren für einen elektrostatischen Antrieb. Des Weiteren betrifft die Erfindung ein mikromechanisches Bauteil (10) und ein Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil (10).
摘要翻译：
本发明涉及具有内框架（16），至少一个围绕所述内框架中间框架（14）和所述内框架（12）和所述至少一个中间框架（14）周围的Au ROAD enrahmen的静电驱动（12），所述内层，中间和Au ROAD enrahmen的每两个相邻的帧（12，14，16）（12,14，16）上的至少一个弹簧元件（22，24，26）被连接到彼此其中，所述弹簧元件（22，24,26）在其每两个相邻的帧（12，14，16）大街内层，中间和Au＆; enrahmen（12，14,16）被连接到彼此，布置成是，所述L＆AUML;在共同Federl BEAR弹簧元件的ngsrichtungen（22，24，26）是纵向轴线（28），并且其中直接平行于Federl BEAR对准纵轴（28）框架梁（12A，14A，16A）内部框架（16），至少一个中间框架（14）和外部框架（12）Elektrodenfing 他被安排。本发明还涉及用于静电驱动器的制造方法。本发明还涉及一种微机械构件（10）以及一种用于微机械构件（10）的制造方法，

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式