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1. 发明授权

CN105492129B 双模式CMUT换能器有权
公开(公告)号：CN105492129B
公开(公告)日：2019-07-02
申请号：CN201480047271.0
申请日：2014-08-14
申请人：皇家飞利浦有限公司
发明人： A·V·帕蒂尔 , J·宋
IPC分类号： B06B1/02
CPC分类号： A61B8/4494 , A61B8/4411 , A61B8/4438 , B06B1/02 , B06B1/0292 , H02N1/006 , H02N1/08
摘要：一种超声诊断成像系统，包括具有CMUT单元的阵列(10')的CMUT换能器探头，所述CMUT单元具有相同的或可变的直径，所述CMUT单元在超声信号接收期间操作在常规模式中，并且在超声信号发射期间操作在塌陷模式中。通过针对较低频率临床应用减小针对CMUT单元的DC偏置电压，针对较高频率临床应用增加DC偏置电压，或者当接收回声时连续减小DC偏置电压，CMUT单元的频率响应在回声接收期间被调整用于不同的临床应用或者被连续改变，以跟踪返回的回声信号的信息频率分量。

2. 发明公开

CN109388237A 使用移位质量块的局部触觉无效
公开(公告)号：CN109388237A
公开(公告)日：2019-02-26
申请号：CN201810891391.9
申请日：2018-08-07
申请人：意美森公司
发明人：约翰尼·马卢夫 , 瓦希德·克斯卡瓦
IPC分类号： G06F3/01
CPC分类号： G08B6/00 , G06F1/1643 , G06F3/016 , G06F3/041 , G06F2203/011 , G09B21/003 , H01F7/1638 , H02K33/02 , H02N1/006
摘要：本申请涉及使用移位质量块的局部触觉。在一个实例中，在内部具有球形质量块的每个中空管被定位在两个板之间。每个板可以具有与另一个板成镜像的节点矩阵。如果质量块是铁磁质量块，则每个节点可以具有电磁线圈，使得铁磁质量块能够移位。如果质量块是导电质量块，则每个节点可以是导电节点。导电节点可以具有相同类型的电荷或相反的电荷。导电质量块可以带负电、带正电、或部分带正电并且部分带负电。(一个或多个)弹簧可以位于质量块与第一板之间，或位于质量块与第二板之间，或存在这两种情况。(一个或多个)电流可以被施加到第一板中的节点、第二板中的节点、或两者，这使得质量块移位以输出触觉效果。

3. 发明公开

CN108473300A 抗震的MEMS致动器结构有权转让
公开(公告)号：CN108473300A
公开(公告)日：2018-08-31
申请号：CN201680075651.4
申请日：2016-11-04
申请人：麦穆斯驱动有限公司
发明人：格拉尔多·莫拉比托 , 刘晓磊 , 王桂芹 , 罗曼·古铁雷斯 , 马修·恩格
IPC分类号： B81B1/00 , B81B3/00 , B81B7/00
CPC分类号： B81B3/0051 , B81B7/0016 , B81B2201/033 , B81B2203/0118 , B81B2203/0136 , B81B2203/0163 , B81B2203/055 , H02N1/006
摘要：公开了抗震MEMS结构。在一个实施方式中，用于MEMS装置的运动控制挠曲件包括：包括第一端部和第二端部的杆，其中杆沿其长度逐渐变细，使得杆在其中心处最宽并且在其端部处最薄；直接连接到杆的第一端部的第一铰链；以及直接连接到杆的第二端部的第二铰链。在另一实施方式中，用于MEMS装置的导电悬臂包括：弯曲的中心部分，其包括第一端部和第二端部，其中中心部分具有拐点；连接到中心部分的第一端部的第一根部；以及连接到中心部分的第二端部的第二根部。在又一个实施方式中，描述了用于MEMS装置的震动止动件。

4. 发明授权

CN104737436B 静电致动器及其制造方法失效
公开(公告)号：CN104737436B
公开(公告)日：2018-01-05
申请号：CN201380055038.2
申请日：2013-01-18
申请人：西门子公司
发明人：赖胜 , 李明
IPC分类号： H02N13/00 , H02N1/00
CPC分类号： H02N1/006
摘要：本发明涉及静电致动器及其制造方法，其中，所述静电致动器包括：一个弹性的带状物；以及，多个电极板对，其中，所述多个电极板对的每一个电极板对把所述弹性的带状物夹在中间，其中，通过所述弹性的带状物的折叠，所述多个电极板对被堆积成多层结构。相比现有技术，本发明的静电致动器能够容易制造。

5. 发明授权

CN104923467B 电容型电气机械变换器失效
公开(公告)号：CN104923467B
公开(公告)日：2017-09-22
申请号：CN201510213503.1
申请日：2010-06-15
申请人：佳能株式会社
发明人：香取笃史 , 高木诚 , 真岛正男
IPC分类号： B06B1/02 , H01L21/768 , H01L23/48
CPC分类号： H02N1/006 , B06B1/0292
摘要：公开了电容型电气机械变换器。本发明涉及能够对于每个元件任意地改变振动膜的挠曲量的电气机械变换器。该电气机械变换器包括多个包含至少一个包含第一电极和与第一电极相对且在它们之间夹有间隙的第二电极的单元的元件，以及被配置为对于各元件被设置并且分别向各元件中的第一电极施加直流电压的直流电压施加单元。第一电极和第二电极对于每个元件电气分离。

6. 发明授权

CN104066521B 电容式微机械换能器及制造所述电容式微机械换能器的方法有权
公开(公告)号：CN104066521B
公开(公告)日：2017-07-11
申请号：CN201380006576.2
申请日：2013-01-18
申请人：皇家飞利浦有限公司
发明人： P·迪克森 , R·毛奇斯措克 , K·卡拉卡亚 , J·H·克鲁特威克 , B·马赛利斯 , M·米尔德
IPC分类号： B06B1/02
CPC分类号： H02N1/006 , B06B1/0292 , B81B3/00 , B81B2203/0127 , B81C1/00158 , B81C1/00373 , H02N1/08
摘要：本发明涉及一种制造电容式微机械换能器(100)特别是CMUT的方法，所述方法包括：在基底(1)上沉积第一电极层(10)；在所述第一电极层(10)上沉积第一介电薄膜(20)；在所述第一介电薄膜(20)上沉积牺牲层(30)，所述牺牲层(30)是可移除的，以形成所述换能器的空腔(35)；在所述牺牲层(30)上沉积第二介电薄膜(40)；并且，在所述第二介电薄膜(40)上沉积第二电极层(50)，其中，所述第一介电薄膜(20)和/或所述第二介电薄膜(40)包括：包括氧化物的第一层、包括高k材料的第二层以及包括氧化物的第三层，并且其中，通过原子层沉积来执行所述沉积步骤。本发明还涉及一种通过这样的方法来制造的电容式微机械换能器(100)，特别是CMUT。

7. 发明授权

CN105392733B 静电致动器和用于生产其的方法有权
公开(公告)号：CN105392733B
公开(公告)日：2017-03-15
申请号：CN201480030847.2
申请日：2014-05-26
申请人：弗朗霍夫应用科学研究促进协会
发明人：尼古拉斯·兰格 , 弗兰克·维普曼
IPC分类号： B81B3/00 , H02N1/00
CPC分类号： H02N1/006 , B81B3/0086 , B81B2201/038 , B81B2203/019 , B81B2203/04 , B81B2203/058
摘要：本发明涉及一种静电致动器，包括静止电极(22’)包括在重叠区域内与静止电极(14)相对设置并且沿静止电极(14)的方向能够移动的悬臂电极(29)。(14)和一端被紧固的弯折部分(22’)，弯折部分

8. 发明授权

CN103964367B 抗静摩擦的MEMS器件及其操作方法有权
公开(公告)号：CN103964367B
公开(公告)日：2017-01-04
申请号：CN201410033777.8
申请日：2014-01-24
申请人：飞思卡尔半导体公司
发明人：林义真 , A·C·迈克奈尔 , M·E·施拉曼
IPC分类号： B81B7/02
CPC分类号： H02N1/006 , B81B2201/0235 , B81B2203/058 , B81C1/00976
摘要：本发明涉及抗静摩擦的MEMS器件及其操作方法。MEMS器件（20）包括通过有弹簧常数（104）的弹簧构件(34)悬挂在衬底（22）之上的可移动元件（20）。弹簧软化电压（58）在上电模式期间100）被施加于面对可移动元件（20）的电极（24、26）以减小弹簧构件(34)的刚度，并且从而增加可移动元件（32）对输入刺激（46）的灵敏度。一旦检测到静摩擦条件（112），弹簧软化电压（58）被有效地移除以从静摩擦条件（112）恢复可移动元件（32）。较高的机械弹簧常数（104）在未上电模式（96）期间产生有较大恢复力（122）的硬弹簧34）以从静摩擦条件（112）恢复。反馈电压（56）可以被施加于面对可移动元件（32）的反馈电极28、30）以提供电阻尼。

9. 发明授权

CN103493511B 用于致动器阵列的个别寻址和噪声降低的装置和方法有权
公开(公告)号：CN103493511B
公开(公告)日：2016-10-26
申请号：CN201180065114.9
申请日：2011-11-17
申请人：音频像素有限公司
发明人： E·A·哈伯 , D·卢因 , S·卡普兰 , M·本西蒙 , Y·科恩
IPC分类号： H04R19/02 , H04R1/40
CPC分类号： H04R19/02 , H02N1/006 , H04R1/403 , H04R3/06 , H04R3/12 , Y10T29/49117
摘要：提供一种用于生成目标物理效应的装置，所述目标物理效应的至少一个属性对应于周期性取样的数字输入信号的至少一个特性，所述装置包括：许多静电致动器元件，每个静电致动器元件包括在第一电极与第二电极之间移动的移动元件，许多静电致动器元件包括致动器元件的Nr个第一子集（R子集）和致动器元件的Nc个第二子集（C子集），其中许多致动器元件的第一划分产生Nr个第一子集（R子集），并且许多致动器元件的第二划分产生Nc个第二子集（C子集）；第一多个Nr电气连接件（R布线），其使每个R子集中的致动器元件的移动元件互连，以使得每个个别R子集中的任何致动器元件的移动元件电连接到个别R子集中的所有其他致动器元件的移动元件，并且与未在个别R子集中的所有致动器元件的移动元件电隔离；第二多个Nc电气连接件（A布线），其使每个C子集中的致动器元件的第一电极互连，以使得每个个别C子集中的任何致动器元件的第一电极电连接到个别C子集中的所有其他致动器元件的第一电极，并且与未在个别C子集中的所有致动器元件电隔离；第三多个Nc电气连接件（B布线），其使每个C子集中的致动器元件的第二电极互连，以使得每个个别C子集中的任何致动器元件的第二电极电连接到个别C子集中的所有其他致动器元件的第二电极，并且与未在个别C子集中的所有致动器元件电隔离；以及电连接到第一、第二和第三多个电气连接件的控制器，其可操作以接收数字输入信号，以及向所述电气连接件中的每个分别施加电势的预定有限集中的一个，以使得移动元件的所得移动一起产生所需的物理效应。

10. 发明授权

CN103958079B 具有环形塌陷区域的预塌陷电容式微机械换能器元件有权
公开(公告)号：CN103958079B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201280056554.2
申请日：2012-11-05
申请人：皇家飞利浦有限公司
发明人： A·L·鲁滨逊 , J·D·弗雷泽
IPC分类号： B06B1/02
CPC分类号： H02N1/006 , B06B1/02 , B06B1/0292 , Y10T29/49005
摘要：本发明涉及一种预塌陷电容式微机械换能器单元(10)，包括衬底(12)和薄膜(14)，所述衬底(12)包括第一电极(16)，所述薄膜(14)包括第二电极(18)，其中所述单元具有所述薄膜(14)被安装到所述衬底(12)所在的外部区域(22)以及在所述外部区域(22)内或被所述外部区域(22)包围的内部区域(20)，其中在位于所述内部区域(20)内的第一塌陷环形区域(24)中，所述薄膜(14)被塌陷到所述衬底(12)。

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