专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明专利

TWI558922B 螺栓鬆弛防止裝置及其安裝方法、第1、第2安裝治具、流體控制裝置及基板處理裝置有权
简体标题：螺栓松弛防止设备及其安装方法、第1、第2安装治具、流体控制设备及基板处理设备
公开(公告)号：TWI558922B
公开(公告)日：2016-11-21
申请号：TW101107811
申请日：2012-03-08
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED , 富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：網倉紀彥 , AMIKURA, NORIHIKO , 加賀爪哲 , KAGATSUME, SATOSHI , 佐藤雅彥 , SATOH, MASAHIKO , 內藤幸男 , NAITO, YUKIO , 武藤聰史 , MUTO, SATOSHI , 中田知宏 , NAKATA, TOMOHIRO , 篠原努 , SHINOHARA, TSUTOMU , 山路道雄 , YAMAJI, MICHIO
IPC分类号： F16B39/282 , F16B43/00 , F16B39/10
CPC分类号： F16B39/101 , F16B39/103 , Y10T29/49826 , Y10T29/53 , Y10T403/50

2. 发明专利

TW432267B 壓力式流量控制裝置之孔口阻塞偵知方法及偵知裝置有权
简体标题：压力式流量控制设备之孔口阻塞侦知方法及侦知设备
公开(公告)号：TW432267B
公开(公告)日：2001-05-01
申请号：TW088114058
申请日：1999-08-17
申请人：富士金股份有限公司 , 東京威力科創股份有限公司 , 大見忠弘
发明人：大見忠弘 , 加賀爪哲 , 廣瀨潤 , 西野功二 , 池田信一 , 山路道雄 , 土肥亮介
IPC分类号： G05D
CPC分类号： G05D7/0635 , Y10T137/0396 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761 , Y10T137/8326
摘要：本發明有關於壓力式流量控制裝置之孔口阻塞偵知方法及該孔口阻塞偵知裝置。
(課題)本發明係利用孔口之流量控制裝置中，不需要分解之下藉由上游側壓力之檢出而實施孔口之阻塞之偵知(檢出)由而延長流量控制裝置之壽命及提高安全性。
(解決手段)將上游側壓力P1保持於下游側壓力P2之約2倍以上而將下游側之流量QvC以QvC=KP1(K:常數)來計算，而以此計算流量QvC與設定流量Qs之相差訊號QvY來實施控制閥(CV)之開閉控制之流量控制裝置中，其特徵為，由:記憶了該在孔口(2)沒有阻塞之條件下，由高設定流量QvSH切換至低設定流量QvSL而所測定之上游側壓力P1之基準壓力減衰數據Y(t)之記憶裝置 M，及在孔口(2)之實際條件下由高設定量量QvSH而切換至低設定流量QvSL以資測定上游側壓力P1之壓力減衰數據P(t)之上述壓力檢出器(14);及將壓力減衰數據P(t)與基準壓力減衰數據Y(t)實施對比計算之中央計算處理裝置ＣＰＵ；以及當壓力減衰數據P(t）之自基準壓力減衰數據Y（t)而離開有規定度以上時,即據以告知有阻塞之警報電路(４６)構成孔口阻塞偵出裝置。（選擇圖）第l圖。
简体摘要：本发明有关于压力式流量控制设备之孔口阻塞侦知方法及该孔口阻塞侦知设备。 (课题)本发明系利用孔口之流量控制设备中，不需要分解之下借由上游侧压力之检出而实施孔口之阻塞之侦知(检出)由而延长流量控制设备之寿命及提高安全性。 (解决手段)将上游侧压力P1保持于下游侧压力P2之约2倍以上而将下游侧之流量QvC以QvC=KP1(K:常数)来计算，而以此计算流量QvC与设置流量Qs之相差信号QvY来实施控制阀(CV)之开闭控制之流量控制设备中，其特征为，由:记忆了该在孔口(2)没有阻塞之条件下，由高设置流量QvSH切换至低设置流量QvSL而所测定之上游侧压力P1之基准压力减衰数据Y(t)之记忆设备 M，及在孔口(2)之实际条件下由高设置量量QvSH而切换至低设置流量QvSL以资测定上游侧压力P1之压力减衰数据P(t)之上述压力检出器(14);及将压力减衰数据P(t)与基准压力减衰数据Y(t)实施对比计算之中央计算处理设备ＣＰＵ；以及当压力减衰数据P(t）之自基准压力减衰数据Y（t)而离开有规定度以上时,即据以告知有阻塞之警报电路(４６)构成孔口阻塞侦出设备。（选择图）第l图。

3. 发明专利

TW463076B 壓力式流量控制裝置之流量異常檢知方法有权
简体标题：压力式流量控制设备之流量异常检知方法
公开(公告)号：TW463076B
公开(公告)日：2001-11-11
申请号：TW089116036
申请日：2000-08-09
申请人：富士金股份有限公司 , 東京威力科創股份有限公司 , 大見忠弘 , 飯田精一
发明人：大見忠弘 , 飯田精一 , 加賀爪哲 , 廣瀨潤 , 深澤和夫 , 小泉浩 , 長岡秀樹 , 宇野富雄 , 西野功二 , 池田信一 , 土肥亮介 , 出田英二
IPC分类号： G05D
CPC分类号： G05B23/0235 , G05B23/0256 , G05D7/0635 , Y10T137/0396 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761 , Y10T137/8326
摘要：於利用孔口(orifice)之壓力式流量控制裝置，有關邊控制流量也可用簡單構成進行檢知孔口堵塞之技術。
本發明之解決手段，係將上游側壓力Pl保持為下游側壓力P2之大約2倍以上將下游側之流量Qc以Qc= KPl(K:常數)演算，藉此演算流量Qc與設定流量 Qs之差值訊號QY以開閉控制控制閥CV之流量控制裝置FCS，提案一種從另設之檢定電路或流量設定電路輸出具有檢定振幅VO之檢定用訊號△QS，而應答於此來測定上游側壓力Pl之變動壓力△Pl之壓力振幅V，當此壓力振幅V變成較界限振幅Vt為小時告知孔口堵塞之流量異常檢知方法。
若從檢定電路或流量設定流量重疊於恒常設定流量 QSO輸出檢定用訊號△QS時，由恒常設定流量QSO邊控制流量就可檢知流量異常。
简体摘要：于利用孔口(orifice)之压力式流量控制设备，有关边控制流量也可用简单构成进行检知孔口堵塞之技术。本发明之解决手段，系将上游侧压力Pl保持为下游侧压力P2之大约2倍以上将下游侧之流量Qc以Qc= KPl(K:常数)演算，借此演算流量Qc与设置流量 Qs之差值信号QY以开闭控制控制阀CV之流量控制设备FCS，提案一种从另设之检定电路或流量设置电路输出具有检定振幅VO之检定用信号△QS，而应答于此来测定上游侧压力Pl之变动压力△Pl之压力振幅V，当此压力振幅V变成较界限振幅Vt为小时告知孔口堵塞之流量异常检知方法。若从检定电路或流量设置流量重叠于恒常设置流量 QSO输出检定用信号△QS时，由恒常设置流量QSO边控制流量就可检知流量异常。

4. 发明专利

TW445401B 平行分流式流體供應裝置與使用該裝置之流體可變型壓力式流量控制方法及流體可變型壓力式流量控制裝置有权
简体标题：平行分流式流体供应设备与使用该设备之流体可变型压力式流量控制方法及流体可变型压力式流量控制设备
公开(公告)号：TW445401B
公开(公告)日：2001-07-11
申请号：TW089107095
申请日：2000-04-15
申请人：富士金股份有限公司 , 東京威力科創股份有限公司 , 大見忠弘
发明人：大見忠弘 , 加賀爪哲 , 廣瀨潤 , 杉山一彥 , 深澤和夫 , 小泉浩 , 長岡秀樹 , 皆見幸男 , 西野功二 , 土肥亮介 , 米華克典 , 池田信一 , 山路道雄 , 森本明弘 , 宇野富雄 , 出田英二 , 松本篤志 , 上野山豊已
IPC分类号： G05D
CPC分类号： G05D7/0658 , G05D7/0664 , Y10S438/935 , Y10T137/0396 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761 , Y10T137/86389 , Y10T137/87877 , Y10T137/87917
摘要：一種平行分流式流體供應裝置與使用該裝置之流體的可變型壓力式流量控制方法及流體可變型壓力式流量控制裝置，從壓力調整用的l個調整器平行配設複數條流路之流體供應裝置中，使各流路之流體供應的開關操作不致對其他流路之穩態供應造成過大的變動。因此，在各流路上配設流量控制用質量流控制器MFC或壓力式流量控制裝置FCS，某流路之流體供給自關閉而開啟時，構成從其流路之質量流控制器MFC動作開始僅延遲預定的延遲時間△t到達設定流量Qs。
又，利用l台壓力式流量控制裝置可高精度流量控制複數氣體種類及實現其裝置。因此，以臨界壓力比以下的條件理論性導出通過孔口的氣體流量，根據該式定義流動係數，利用該流動係數形成可對應多數之氣體種類者。
亦即，將孔口8的上游側壓力P1保持在下游壓力P2約2倍以上的狀態下，通過孔口的氣體運算流量Qc以 Qc=KP1(K為常數)運算之流量控制方法中，各種類氣體係以FF=(k/γs){2/(κ+l)}](x.1)〔κ/{(κ十l)R}〕1/2計算流動係數FF，氣體種類A的運算流量為QA時，在同一孔口、同一上游側壓力及同一上游側溫度的條件下使氣體種類B流通時，以其運算流量QvB作為QvB(EFvB/EFvA)QvA算出。其中，γS為氣體的標準狀態密度，κ為氣體的比熱比，R為氣體常數，k為未依據氣體種類之比例常數，FFvA.FFvB為氣體種類A.B的流動係數。
简体摘要：一种平行分流式流体供应设备与使用该设备之流体的可变型压力式流量控制方法及流体可变型压力式流量控制设备，从压力调整用的l个调整器平行配设复数条流路之流体供应设备中，使各流路之流体供应的开关操作不致对其他流路之稳态供应造成过大的变动。因此，在各流路上配设流量控制用质量流控制器MFC或压力式流量控制设备FCS，某流路之流体供给自关闭而打开时，构成从其流路之质量流控制器MFC动作开始仅延迟预定的延迟时间△t到达设置流量Qs。又，利用l台压力式流量控制设备可高精度流量控制复数气体种类及实现其设备。因此，以临界压力比以下的条件理论性导出通过孔口的气体流量，根据该式定义流动系数，利用该流动系数形成可对应多数之气体种类者。亦即，将孔口8的上游侧压力P1保持在下游压力P2约2倍以上的状态下，通过孔口的气体运算流量Qc以 Qc=KP1(K为常数)运算之流量控制方法中，各种类气体系以FF=(k/γs){2/(κ+l)}](x.1)〔κ/{(κ十l)R}〕1/2计算流动系数FF，气体种类A的运算流量为QA时，在同一孔口、同一上游侧压力及同一上游侧温度的条件下使气体种类B流通时，以其运算流量QvB作为QvB(EFvB/EFvA)QvA算出。其中，γS为气体的标准状态密度，κ为气体的比热比，R为气体常数，k为未依据气体种类之比例常数，FFvA.FFvB为气体种类A.B的流动系数。

5. 发明专利

TW201243176A 螺栓鬆弛防止裝置及其安裝方法以及安裝治具 DEVICE FOR PREVENTING BOLT FROM LOOSENING, MOUNTING METHOD AND MOUNTING JIG 审中-公开
简体标题：螺栓松弛防止设备及其安装方法以及安装治具 DEVICE FOR PREVENTING BOLT FROM LOOSENING, MOUNTING METHOD AND MOUNTING JIG
公开(公告)号：TW201243176A
公开(公告)日：2012-11-01
申请号：TW101107811
申请日：2012-03-08
申请人：東京威力科創股份有限公司 , 富士金股份有限公司
发明人：網倉紀彥 , 加賀爪哲 , 佐藤雅彥 , 內藤幸男 , 武藤聰史 , 中田知宏 , 篠原努 , 山路道雄
IPC分类号： F16B
CPC分类号： F16B39/101 , F16B39/103 , Y10T29/49826 , Y10T29/53 , Y10T403/50
摘要： [課題]提供一種構件之構造簡單且能容易進行安裝作業的螺栓鬆弛防止裝置。[解決手段]具有：複數個嵌合構件2、3，其分別不能相對旋轉地嵌合於複數個螺栓5之各頭部；及卡合構件4，其橫跨式地嵌合於複數個嵌合構件2、3。各嵌合構件2、3之外周面2b、3b係作成非圓形，於卡合構件4設有與複數個嵌合構件2、3之各非圓形外周面2b、3b對應的複數個卡合孔(非圓形卡合部)8a、8b。
简体摘要： [课题]提供一种构件之构造简单且能容易进行安装作业的螺栓松弛防止设备。[解决手段]具有：复数个嵌合构件2、3，其分别不能相对旋转地嵌合于复数个螺栓5之各头部；及卡合构件4，其横跨式地嵌合于复数个嵌合构件2、3。各嵌合构件2、3之外周面2b、3b系作成非圆形，于卡合构件4设有与复数个嵌合构件2、3之各非圆形外周面2b、3b对应的复数个卡合孔(非圆形卡合部)8a、8b。

6. 发明专利

TW455751B 流體可變型流量控制裝置有权
简体标题：流体可变型流量控制设备
公开(公告)号：TW455751B
公开(公告)日：2001-09-21
申请号：TW088113823
申请日：1999-08-12
申请人：大見忠弘 , 東京威力科創股份有限公司 , 富士金股份有限公司
发明人：大見忠弘 , 加賀爪哲 , 廣瀨潤 , 西野功二
IPC分类号： G05D
CPC分类号： G05D7/0658 , G05D7/0635 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761
摘要：本發明之流量控制裝置係由:設成變換自如之孔口;控制閥;配設於控制閥和孔口間之壓力偵測器;運算所偵測壓力用之流量運算電路;輸出流量設定信號的流量設定電路;變換運算流量信號為切換(轉換)運算流量信號之沆量變換電路;及切換運算流量信號和流量設定信號之差做為控制信號來輸出至控制閥之驅動部的運算控制電路所構成，而以開閉控制閥來使之控制信號成為零，以控制孔口下流側之流量者。
简体摘要：本发明之流量控制设备系由:设成变换自如之孔口;控制阀;配设于控制阀和孔口间之压力侦测器;运算所侦测压力用之流量运算电路;输出流量设置信号的流量设置电路;变换运算流量信号为切换(转换)运算流量信号之沆量变换电路;及切换运算流量信号和流量设置信号之差做为控制信号来输出至控制阀之驱动部的运算控制电路所构成，而以开闭控制阀来使之控制信号成为零，以控制孔口下流侧之流量者。

7. 发明专利

TW466336B 壓力偵知器的安裝構造有权
简体标题：压力侦知器的安装构造
公开(公告)号：TW466336B
公开(公告)日：2001-12-01
申请号：TW089120571
申请日：2000-10-03
申请人：富士金股份有限公司 , 東京威力科創股份有限公司 , 大見忠弘
发明人：大見忠弘 , 廣瀨隆 , 出田英二 , 池田信一 , 上肥亮介 , 西野功二 , 吉川和博 , 加賀爪哲 , 廣瀨潤 , 深澤和夫 , 小泉浩 , 長岡秀樹
IPC分类号： G01L
CPC分类号： G01L19/0023 , G01L19/0645 , G01L19/145 , G01L19/147
摘要：為提供一種將隔膜型壓力偵知器組裝於設在管路或機器等安裝用具時，可防止加於壓力偵知器之應力所起隔膜之變形，及組裝前之特性較大變化之壓力偵知器的安裝構造。
因此，本發明係在將具隔膜之隔膜座，與內藏有藉上述隔膜變位而移動之感測元件的感測元件座組合所成壓力偵知器，介由墊片插設於配管路或機械裝置所設安裝用具本體之插設孔內，且藉自上方插入於插設孔之抑壓構件壓任促使壓力偵知器以氣密固定之壓力偵知器的安裝構造，使抑壓構件抵觸於上述隔膜座本體部上面及使墊片抵觸於隔膜座本體部底面同時，在上述本體部底面與墊片抵觸部內側位置形成環狀淺槽，而藉該淺槽吸收因抑壓構件之抑押所產生之變形。
简体摘要：为提供一种将隔膜型压力侦知器组装于设在管路或机器等安装用具时，可防止加于压力侦知器之应力所起隔膜之变形，及组装前之特性较大变化之压力侦知器的安装构造。因此，本发明系在将具隔膜之隔膜座，与内藏有藉上述隔膜变位而移动之传感组件的传感组件座组合所成压力侦知器，介由垫片插设于配管路或机械设备所设安装用具本体之插设孔内，且藉自上方插入于插设孔之抑压构件压任促使压力侦知器以气密固定之压力侦知器的安装构造，使抑压构件抵触于上述隔膜座本体部上面及使垫片抵触于隔膜座本体部底面同时，在上述本体部底面与垫片抵触部内侧位置形成环状浅槽，而藉该浅槽吸收因抑压构件之抑押所产生之变形。

8. 发明专利

TW381205B 具有壓力式流量控制裝置之氣體供應設備有权
简体标题：具有压力式流量控制设备之气体供应设备
公开(公告)号：TW381205B
公开(公告)日：2000-02-01
申请号：TW088108875
申请日：1999-05-28
申请人：富士金股份有限公司 , 東京威力科創有限公司 , 大見忠弘
发明人：大見忠弘 , 加賀爪哲 , 池田信一 , 西野功二 , 吉川和博 , 出田英二 , 上肥亮介
IPC分类号： G05D
CPC分类号： G05D7/0635 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761
摘要：本發明之課題係將在半導體製造裝置等所使用具有壓力式流量控制裝置之氣體供應設備更加小型化來降低製造成本，並且，改善過渡流量特性來防止氣體供應揭示時之氣體之越標(overshoot)現象之發生，藉提升流量控制精度或設備之可靠性，來減少半導體製品品質之不均勻並且提高半導體製品之製造效率。
本發明之解決手段，係將孔口(orifice)之上游側壓力保持成下游側壓力之約2倍以上之狀態下邊進行氣體之流量控制透過孔口對應閥對於製程供應氣體之壓力式流量控制裝置之氣體供應設備，其特徵為備有﹔從氣體供應源接受氣體之控制閥，與設於控制閥下游側之孔口對應閥，與設在上述控制閥與孔口對應閥間之壓力檢測器，與設於孔口對應閥之閥機構部下游側之孔口，與從上述壓力檢測器之檢測壓力P1將流量以Qc=KP1(但是K係常數)來加以演算，並且，將流量指令訊號Qs與演算流量Qc之差值作為控制訊號Qy而輸出於控制閥驅動部之演算控制裝置來構成氣體供應設備。
简体摘要：本发明之课题系将在半导体制造设备等所使用具有压力式流量控制设备之气体供应设备更加小型化来降低制造成本，并且，改善过渡流量特性来防止气体供应揭示时之气体之越标(overshoot)现象之发生，藉提升流量控制精度或设备之可靠性，来减少半导体制品品质之不均匀并且提高半导体制品之制造效率。本发明之解决手段，系将孔口(orifice)之上游侧压力保持成下游侧压力之约2倍以上之状态下边进行气体之流量控制透过孔口对应阀对于制程供应气体之压力式流量控制设备之气体供应设备，其特征为备有﹔从气体供应源接受气体之控制阀，与设于控制阀下游侧之孔口对应阀，与设在上述控制阀与孔口对应阀间之压力检测器，与设于孔口对应阀之阀机构部下游侧之孔口，与从上述压力检测器之检测压力P1将流量以Qc=KP1(但是K系常数)来加以演算，并且，将流量指令信号Qs与演算流量Qc之差值作为控制信号Qy而输出于控制阀驱动部之演算控制设备来构成气体供应设备。

9. 发明专利

TW416093B 混合氣體供給方法及混合氣體供給裝置以及具有該裝置之半導體製造裝置失效
简体标题：混合气体供给方法及混合气体供给设备以及具有该设备之半导体制造设备
公开(公告)号：TW416093B
公开(公告)日：2000-12-21
申请号：TW086101537
申请日：1997-02-12
申请人：富士金股份有限公司 , 東京電子股份有限公司
发明人：皆見幸男 , 池田信一 , 曼諾哈.雪塞 , 加賀爪哲
IPC分类号： H01L
CPC分类号： G05D11/132 , F17D1/04 , Y10T137/87684
摘要：本發明之課題在於防止半導體製造裝置用的混合氣體供給裝置，大流量供給氣體會向小流量供給氣體的管線內逆流，而因此使閥或質量流量控制器產生各種故障。本發明之解決手段為:通過複數的氣體供給管線供給複數的氣體，而將此等混合氣體經由出氣部而供給至使用對象的混合氣體供給方法，其中前述複數的氣體中的最小流量的氣體，由設於距離出氣部最遠的位置的供給管線所供給。
简体摘要：本发明之课题在于防止半导体制造设备用的混合气体供给设备，大流量供给气体会向小流量供给气体的管线内逆流，而因此使阀或质量流量控制器产生各种故障。本发明之解决手段为:通过复数的气体供给管线供给复数的气体，而将此等混合气体经由出气部而供给至使用对象的混合气体供给方法，其中前述复数的气体中的最小流量的气体，由设于距离出气部最远的位置的供给管线所供给。

10. 发明专利

TW385380B 流體供應裝置有权
简体标题：流体供应设备
公开(公告)号：TW385380B
公开(公告)日：2000-03-21
申请号：TW088100902
申请日：1999-01-21
申请人：大見忠弘 , 東京威力科創有限公司 , 富士金股份有限公司
发明人：大見忠弘 , 加賀爪哲 , 杉山一彥 , 池田信一 , 西野功二 , 川田幸司 , 皆見幸男
IPC分类号： G05D
CPC分类号： G05D7/0635 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761
摘要：防止在流體之供應開始時或切換時過度地發生的流體之過調量，可經常地控制高精度之流體。
一種流體供應裝置，其特徵為：控制流體流量之壓力流量控制器Ｃ，及開關壓力流量控制器Ｃ之二次側流體通路Ｌ的流體切換閥Ｄ，及控制壓力流量控制器Ｃ與流體切換閥Ｄ之作動的流體供應控制裝置Ｂ所構成；且將上述壓力流量控制器Ｃ設於節流口５與節流口５之上游側的控制閥１，及設於控制閥１與節流口５間的壓力檢測器３，及將從壓力檢測器３之檢測壓力Ｐ１演算作為流量Ｑ。＝ＫＰ１(但是Ｋ係常數)之流量信號Ｑ。與流量指令信號Ｑ。之相差作為控制信號Ｑ。而輸出至上述控制閥１之驅動部２的演算控制裝置６所形成，同時介經上述控制閥１之開關來調整節流口５之上游側壓力Ｐ１，俾控制節流口５之下游側之流量的構成者。
简体摘要：防止在流体之供应开始时或切换时过度地发生的流体之过调量，可经常地控制高精度之流体。一种流体供应设备，其特征为：控制流体流量之压力流量控制器Ｃ，及开关压力流量控制器Ｃ之二次侧流体通路Ｌ的流体切换阀Ｄ，及控制压力流量控制器Ｃ与流体切换阀Ｄ之作动的流体供应控制设备Ｂ所构成；且将上述压力流量控制器Ｃ设于节流口５与节流口５之上游侧的控制阀１，及设于控制阀１与节流口５间的压力检测器３，及将从压力检测器３之检测压力Ｐ１演算作为流量Ｑ。＝ＫＰ１(但是Ｋ系常数)之流量信号Ｑ。与流量指令信号Ｑ。之相差作为控制信号Ｑ。而输出至上述控制阀１之驱动部２的演算控制设备６所形成，同时介经上述控制阀１之开关来调整节流口５之上游侧压力Ｐ１，俾控制节流口５之下游侧之流量的构成者。

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式