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1. 发明专利

TW201425784A 管接頭审中-公开
简体标题：管接头
公开(公告)号：TW201425784A
公开(公告)日：2014-07-01
申请号：TW102137419
申请日：2013-10-17
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED , 富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：岡部庸之 , OKABE, TSUNEYUKI , 守谷修司 , MORIYA, SHUJI , 佐藤健一 , SATO, KENICHI , 中田知宏 , NAKATA, TOMOHIRO , 篠原努 , SHINOHARA, TSUTOMU , 山路道雄 , YAMAJI, MICHIO
IPC分类号： F16L15/04 , F16L19/03
CPC分类号： F16L19/0218 , F16L19/025 , F16L23/20
摘要： [課題]提供一種即便反複進行裝卸亦不產生微粒子的管接頭。[解決手段]管接頭1具備：第1及第2接頭構件2、3，具有相互連通的流體通路2a、3a；圓環狀墊片4，被介設於兩接頭構件2、3的對接端面間；及螺帽6，將接頭構件2、3彼此結合。在螺帽6設有內面處理層30。內面處理層30係由設於螺帽6內面的Co(鈷)-P(磷)的合金皮膜、及設於合金皮膜表面的氟塗層所構成。
简体摘要： [课题]提供一种即便反复进行装卸亦不产生微粒子的管接头。[解决手段]管接头1具备：第1及第2接头构件2、3，具有相互连通的流体通路2a、3a；圆环状垫片4，被介设于两接头构件2、3的对接端面间；及螺帽6，将接头构件2、3彼此结合。在螺帽6设有内面处理层30。内面处理层30系由设于螺帽6内面的Co(钴)-P(磷)的合金皮膜、及设于合金皮膜表面的氟涂层所构成。

2. 发明专利

TWI568960B 管接頭有权
简体标题：管接头
公开(公告)号：TWI568960B
公开(公告)日：2017-02-01
申请号：TW101134388
申请日：2012-09-20
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED , 富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：岡部庸之 , OKABE, TSUNEYUKI , 守谷修司 , MORIYA, SHUJI , 佐藤健一 , SATO, KENICHI , 中田知宏 , NAKATA, TOMOHIRO , 篠原努 , SHINOHARA, TSUTOMU , 山路道雄 , YAMAJI, MICHIO
IPC分类号： F16J15/08 , F16L19/03 , F16L23/16
CPC分类号： F16L19/0212 , F16L19/0286

3. 发明专利

TW201333351A 管接頭审中-公开
简体标题：管接头
公开(公告)号：TW201333351A
公开(公告)日：2013-08-16
申请号：TW101134388
申请日：2012-09-20
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED , 富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：岡部庸之 , OKABE, TSUNEYUKI , 守谷修司 , MORIYA, SHUJI , 佐藤健一 , SATO, KENICHI , 中田知宏 , NAKATA, TOMOHIRO , 篠原努 , SHINOHARA, TSUTOMU , 山路道雄 , YAMAJI, MICHIO
IPC分类号： F16J15/08 , F16L19/03 , F16L23/16
CPC分类号： F16L19/0212 , F16L19/0286
摘要：本發明提供一種管接頭，可防止公螺紋構件與母螺紋構件螺合時產生的微粒子進入流體通路內，可維持高潔淨度。管接頭藉由設置在一側之接頭構件2之公螺紋構件6與設置於另一側之接頭構件3的母螺紋構件7而結合接頭構件2、3彼此。於公螺紋構件6設置有覆蓋兩接頭構件2、3之匹配部外周面的蓋部16。
简体摘要：本发明提供一种管接头，可防止公螺纹构件与母螺纹构件螺合时产生的微粒子进入流体通路内，可维持高洁净度。管接头借由设置在一侧之接头构件2之公螺纹构件6与设置于另一侧之接头构件3的母螺纹构件7而结合接头构件2、3彼此。于公螺纹构件6设置有覆盖两接头构件2、3之匹配部外周面的盖部16。

4. 发明专利

TWI558922B 螺栓鬆弛防止裝置及其安裝方法、第1、第2安裝治具、流體控制裝置及基板處理裝置有权
简体标题：螺栓松弛防止设备及其安装方法、第1、第2安装治具、流体控制设备及基板处理设备
公开(公告)号：TWI558922B
公开(公告)日：2016-11-21
申请号：TW101107811
申请日：2012-03-08
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED , 富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：網倉紀彥 , AMIKURA, NORIHIKO , 加賀爪哲 , KAGATSUME, SATOSHI , 佐藤雅彥 , SATOH, MASAHIKO , 內藤幸男 , NAITO, YUKIO , 武藤聰史 , MUTO, SATOSHI , 中田知宏 , NAKATA, TOMOHIRO , 篠原努 , SHINOHARA, TSUTOMU , 山路道雄 , YAMAJI, MICHIO
IPC分类号： F16B39/282 , F16B43/00 , F16B39/10
CPC分类号： F16B39/101 , F16B39/103 , Y10T29/49826 , Y10T29/53 , Y10T403/50

5. 发明专利

TW201243176A 螺栓鬆弛防止裝置及其安裝方法以及安裝治具 DEVICE FOR PREVENTING BOLT FROM LOOSENING, MOUNTING METHOD AND MOUNTING JIG 审中-公开
简体标题：螺栓松弛防止设备及其安装方法以及安装治具 DEVICE FOR PREVENTING BOLT FROM LOOSENING, MOUNTING METHOD AND MOUNTING JIG
公开(公告)号：TW201243176A
公开(公告)日：2012-11-01
申请号：TW101107811
申请日：2012-03-08
申请人：東京威力科創股份有限公司 , 富士金股份有限公司
发明人：網倉紀彥 , 加賀爪哲 , 佐藤雅彥 , 內藤幸男 , 武藤聰史 , 中田知宏 , 篠原努 , 山路道雄
IPC分类号： F16B
CPC分类号： F16B39/101 , F16B39/103 , Y10T29/49826 , Y10T29/53 , Y10T403/50
摘要： [課題]提供一種構件之構造簡單且能容易進行安裝作業的螺栓鬆弛防止裝置。[解決手段]具有：複數個嵌合構件2、3，其分別不能相對旋轉地嵌合於複數個螺栓5之各頭部；及卡合構件4，其橫跨式地嵌合於複數個嵌合構件2、3。各嵌合構件2、3之外周面2b、3b係作成非圓形，於卡合構件4設有與複數個嵌合構件2、3之各非圓形外周面2b、3b對應的複數個卡合孔(非圓形卡合部)8a、8b。
简体摘要： [课题]提供一种构件之构造简单且能容易进行安装作业的螺栓松弛防止设备。[解决手段]具有：复数个嵌合构件2、3，其分别不能相对旋转地嵌合于复数个螺栓5之各头部；及卡合构件4，其横跨式地嵌合于复数个嵌合构件2、3。各嵌合构件2、3之外周面2b、3b系作成非圆形，于卡合构件4设有与复数个嵌合构件2、3之各非圆形外周面2b、3b对应的复数个卡合孔(非圆形卡合部)8a、8b。

6. 发明专利

TWI573947B 管接頭有权
简体标题：管接头
公开(公告)号：TWI573947B
公开(公告)日：2017-03-11
申请号：TW102137419
申请日：2013-10-17
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED , 富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：岡部庸之 , OKABE, TSUNEYUKI , 守谷修司 , MORIYA, SHUJI , 佐藤健一 , SATO, KENICHI , 中田知宏 , NAKATA, TOMOHIRO , 篠原努 , SHINOHARA, TSUTOMU , 山路道雄 , YAMAJI, MICHIO
IPC分类号： F16L15/04 , F16L19/03
CPC分类号： F16L19/0218 , F16L19/025 , F16L23/20

7. 发明专利

TW202030431A 閥审中-公开
简体标题：阀
公开(公告)号：TW202030431A
公开(公告)日：2020-08-16
申请号：TW108133753
申请日：2019-09-19
申请人：日商富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：中村伸夫 , NAKAMURA, NOBUO , 近藤研太 , KONDO, KENTA , 中田知宏 , NAKATA, TOMOHIRO , 中澤正彦 , NAKAZAWA, MASAHIKO
IPC分类号： F16K7/12
摘要：本發明提供耐久性絕佳的閥。膜片(8)具有：主膜片(8A)；及支承膜片(8B)，位於「面對主膜片(8A)之閥室(2a)側」的相反側，設成接觸於主膜片(8A)。主膜片(8A)之內周側的第1末端部(8E)固定於閥體部(6)，支承膜片(8B)之內周側的第2末端部(8F)，從主膜片(8A)之內周側的第1末端部(8E)分離。
简体摘要：本发明提供耐久性绝佳的阀。膜片(8)具有：主膜片(8A)；及支承膜片(8B)，位于“面对主膜片(8A)之阀室(2a)侧”的相反侧，设成接触于主膜片(8A)。主膜片(8A)之内周侧的第1末端部(8E)固定于阀体部(6)，支承膜片(8B)之内周侧的第2末端部(8F)，从主膜片(8A)之内周侧的第1末端部(8E)分离。

8. 发明专利

TW202007886A 閥裝置审中-公开
简体标题：阀设备
公开(公告)号：TW202007886A
公开(公告)日：2020-02-16
申请号：TW108120055
申请日：2019-06-11
申请人：日商富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：近藤研太 , KONDO, KENTA , 篠原努 , SHINOHARA, TSUTOMU , 中田知宏 , NAKATA, TOMOHIRO , 佐藤秀信 , SATO, HIDENOBU
IPC分类号： F16K7/12
摘要： [課題]提供一種閥裝置，可由更正確的流量穩定地供給，可抑制裝置之間流量的參差不一。 [技術內容]具有：閥殼體(2)；及閥座(48)、及金屬合金製的內碟片(3)，具有：內側環狀部(32)、外側環狀部 (31)、將內側環狀部(32)及外側環狀部(31)連接的連接部(37)；及將內碟片(3)及閥座(48)覆蓋地設置且藉由對於閥座(48)在不接觸的開位置及接觸的閉位置之間移動來進行第1流路(21)及第2流路(22)、(23)的連通及遮斷的金屬合金製的隔膜(41)；及將隔膜(41)的周緣部朝向外側環狀部(31)推壓的壓件轉接環(43)；內碟片(3)，是具有比閥座(48)更高的硬度，且，具有比閥殼體(2)及隔膜(41)的雙方更低的硬度。
简体摘要： [课题]提供一种阀设备，可由更正确的流量稳定地供给，可抑制设备之间流量的参差不一。 [技术内容]具有：阀壳体(2)；及阀座(48)、及金属合金制的内盘片(3)，具有：内侧环状部(32)、外侧环状部 (31)、将内侧环状部(32)及外侧环状部(31)连接的连接部(37)；及将内盘片(3)及阀座(48)覆盖地设置且借由对于阀座(48)在不接触的开位置及接触的闭位置之间移动来进行第1流路(21)及第2流路(22)、(23)的连通及遮断的金属合金制的隔膜(41)；及将隔膜(41)的周缘部朝向外侧环状部(31)推压的压件转接环(43)；内盘片(3)，是具有比阀座(48)更高的硬度，且，具有比阀壳体(2)及隔膜(41)的双方更低的硬度。

9. 发明专利

TWI679367B 致動器、閥，以及半導體製造裝置有权
简体标题：致动器、阀，以及半导体制造设备
公开(公告)号：TWI679367B
公开(公告)日：2019-12-11
申请号：TW107122435
申请日：2018-06-29
申请人：日商富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：三浦尊 , MIURA, TAKERU , 篠原努 , SHINOHARA, TSUTOMU , 中田知宏 , NAKATA, TOMOHIRO , 稲田敏之 , INADA, TOSHIYUKI , 渡辺一誠 , WATANABE, KAZUNARI , 近藤研太 , KONDO, KENTA , 佐藤秀信 , SATO, HIDENOBU , 湯原知子 , YUHARA, TOMOKO
IPC分类号： F16K31/02 , F16K31/122 , F16K27/00

10. 发明专利

TW201910549A 氣體供給系統审中-公开
简体标题：气体供给系统
公开(公告)号：TW201910549A
公开(公告)日：2019-03-16
申请号：TW107122561
申请日：2018-06-29
申请人：日商富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：三浦尊 , MIURA, TAKERU , 中田知宏 , NAKATA, TOMOHIRO , 稲田敏之 , INADA, TOSHIYUKI , 渡辺一誠 , WATANABE, KAZUNARI , 近藤研太 , KONDO, KENTA , 佐藤秀信 , SATO, HIDENOBU
IPC分类号： C23C16/455 , H01L21/20
摘要：氣體供給系統1具備：自動閥18，設置於流路6，利用自動開閉對供給至腔室4之製程氣體之流量進行調整；以及手動閥20，設置於流路6中之自動閥18之下游處且離腔室4之最近處，利用手動開閉調整製程氣體之流量；手動閥20係具有隔膜24之直接隔膜閥，隔膜24伴隨開閉而與閥桿32及閥瓣28連動從而坐落於片材44及離開片材44，手動閥20具有調整閥行程之行程調整機構36。
简体摘要：气体供给系统1具备：自动阀18，设置于流路6，利用自动开闭对供给至腔室4之制程气体之流量进行调整；以及手动阀20，设置于流路6中之自动阀18之下游处且离腔室4之最近处，利用手动开闭调整制程气体之流量；手动阀20系具有隔膜24之直接隔膜阀，隔膜24伴随开闭而与阀杆32及阀瓣28连动从而坐落于片材44及离开片材44，手动阀20具有调整阀行程之行程调整机构36。

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