专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明申请

WO2021052599A1 VERFAHREN ZU BESTIMMUNG EINES DRUCKS UND DRUCKSENSOR 审中-公开
公开(公告)号：WO2021052599A1
公开(公告)日：2021-03-25
申请号：PCT/EP2019/075367
申请日：2019-09-20
申请人： INFICON AG
发明人： RIESCH, Christian , STRIETZEL, Carsten , WÄLCHLI, Urs , KAISER, Stefan , ANDREAUS, Bernhard , WEDER, Mario
IPC分类号： G01L21/32 , G01L21/34 , H01J41/06
摘要： Verfahren (100) zur Bestimmung eines Drucks in einem Vakuumsystem, wobei das Verfahren folgende Schritte umfasst: a) Erzeugen (101) eines Plasmas in einem Probenraum, welcher mit dem Vakuumsystem fluiddynamisch verbunden ist und welcher mit einer ersten Elektrode und einer zweiten Elektrode in elektrischem Kontakt steht; b) Messen (102) einer Stromstärke eines elektrischen Stromes, der zwischen der ersten Elektrode und der zweiten Elektrode durch das Plasma hindurch fliesst; c) Messen (103) einer ersten Strahlungsintensität von aus dem Plasma emittierter elektromagnetischer Strahlung eines ersten Wellenlängenbereichs, wobei der erste Wellenlängenbereich mindestens eine erste Emissionslinie einer ersten Plasmaspezies eines ersten chemischen Elements enthält; d) Messen (104) einer zweiten Strahlungsintensität von aus dem Plasma emittierter elektromagnetischer Strahlung eines zweiten Wellenlängenbereichs, wobei der zweite Wellenlängenbereich eine zweite Emissionslinie der ersten Plasmaspezies des ersten chemischen Elements oder einer zweiten Plasmaspezies des ersten chemischen Elements enthält, und wobei die zweite Emissionslinie ausserhalb des ersten Wellenlängenbereichs liegt; und e) Bestimmen (105) des Drucks) im Vakuumsystem als Funktion der gemessenen Stromstärke, der gemessenen ersten Strahlungsintensität und der gemessenen zweiten Strahlungsintensität. Weiter betrifft die Erfindung einen Vakuum-Drucksensor.

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式