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1. 发明申请

WO2016151997A1 三極管型電離真空計审中-公开
标题翻译：三重型离子真空计
公开(公告)号：WO2016151997A1
公开(公告)日：2016-09-29
申请号：PCT/JP2016/000699
申请日：2016-02-10
申请人：株式会社アルバック
发明人：宮下　剛 , 中島　豊昭 , 福原　万沙洋
IPC分类号： G01L21/32 , H01H41/04
CPC分类号： G01L21/32 , H01H41/04
摘要：　イオンコレクタ表面から放出される粒子の影響を少なくして測定誤差なく測定対象物の圧力を測定することができる三極管型電離真空計を提供する。　三極管型電離真空計ＩＧは、フィラメント２と、フィラメントの周囲に配置される筒状の輪郭を有するグリッド３と、グリッドの周囲に同心に配置される筒状のイオンコレクタ４とを備える。フィラメント点灯用の電源Ｅ１と、グリッドに対してフィラメントより高い電位をこのグリッドに与えるグリッド用の電源Ｅ２と、フィラメントの電位をイオンコレクタの電位よりも高くする電源Ｅ３とを更に備える。フィラメントへの供給電力を４Ｗ以下とし、フィラメントとグリッドとの間のエミッション電流を２ｍＡ～１０ｍＡの範囲となるように制御する。
摘要翻译：本发明的目的是提供一种三极管型电离真空计，通过减少从离子收集器表面发射的颗粒的影响，可以测量待测物体的压力而不测量误差。三极管型电离真空计IG具有灯丝2，具有管状轮廓的格栅3，设置在灯丝周围，以及管状离子收集器4，其设置在栅格周围并与栅格同心。三极管型电离真空计IG还具有用于照明灯丝的电源E1，电网的电源E2，为电网提供比灯丝高的电位，以及使电源E3 灯丝的电位高于离子收集器的电位。以这样的方式进行控制，使得提供给灯丝的功率最多等于4W，灯丝与电网之间的发射电流在2mA至10mA的范围内。

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