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    • 2. 发明申请
    • DEFEKTBASIERTE SILIZIUM-LASERSTRUKTUR
    • 缺陷硅基激光器结构
    • WO2009003848A1
    • 2009-01-08
    • PCT/EP2008/057801
    • 2008-06-19
    • IHP GMBH - INNOVATIONS FOR HIGH PERFORMANCE MICROELECTRONICS / INSTITUT FÜR INNOVATIVE MIKROELEKTRONIKKITTLER, MartinMCHEDLIDZE, TeimurazARGUIROV, TzanimirREICHE, Manfred
    • KITTLER, MartinMCHEDLIDZE, TeimurazARGUIROV, TzanimirREICHE, Manfred
    • H01L33/00H01S5/042H01S5/183H01S5/32
    • H01S5/183H01S5/0424H01S5/0425H01S5/3224H01S5/3227
    • Halbleiterlaserdiode vom VCSEL-Typ mit einem Siliziumsubstrat, einer Laserkavität aus Silizium oder Silizium-Germanium, die sich von einer Haupt-Oberfläche des Siliziumsubstrats ausgehend ins Substratinnere hinein erstreckt und als Resonator-Endflächen eine erste Spiegelschicht an der für die Lichtemission vorgesehenen Substratoberfläche und eine vergrabene zweite Spiegelschicht im Siliziumsubstrat aufweist; einem in der Laserkavität angeordneten Verstärkungsgebiet aus kristallinem Silizium oder Silizium-Germanium, welches strukturelle Defekte seines Kristallgitters und an diesen lokalisiert eine Vielzahl elektronischer Mehrniveau-Systeme enthält, die durch Ladungsträgerinjektion jeweils geeigneter Ladungsträgerdichte in das aktive Gebiet anregbar sind, zur spontanen Emission von Licht und als Gesamtheit in einen zur optischen Verstärkung des Lichts durch stimulierte Emission geeigneten Besetzungsinversionszustand; und mit lateral dem Verstärkungsgebiet an einander gegenüberliegenden Seiten benachbarten und entgegengesetzt leitfähigen Halbleitergebieten aus Silizium oder Silizium-Germanium, die für die Ladungsträgerinjektion in das Verstärkungsgebiet geeignet dotiert und mit elektrisch leitfähigen Kontakten zum Anlegen einer für die Ladungsträgerinjektion geeigneten Betriebsspannung versehen sind.
    • 具有硅衬底,硅或硅锗的激光腔,其延伸从硅衬底到衬底内部分成的主表面开始并且埋入作为谐振器端面,在规定的发光衬底表面和第一反射镜层的VCSEL类型的半导体激光二极管 具有在所述硅衬底的第二镜面层; 设置在结晶硅或含有结构缺陷的晶格硅 - 锗的激光腔增益区域和汽缸这个定位的多个电子多级系统,其由载流子注入有源区分别激发合适的载流子密度的,光的自发发射和 作为一个整体在适于通过受激发射的粒子数反转状态的光的光放大的容器; 和横向上相对的侧面的硅或硅 - 锗的邻近和相反导电类型的半导体区,其被适当地掺杂的电荷载流子注入到增益区中,并设置有用于施加适合于载流子注入工作电压的形式的导电触点的增益区。