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1. 发明申请

WO2007129376A1 電子レンズ审中-公开
标题翻译：电子镜头
公开(公告)号：WO2007129376A1
公开(公告)日：2007-11-15
申请号：PCT/JP2006/308728
申请日：2006-04-26
申请人：株式会社トプコン , 山田恵三 , 松澤実
发明人：山田恵三 , 松澤実
IPC分类号： H01J37/153 , H01J37/12 , H01J37/143 , H01J37/145
CPC分类号： H01J37/12 , H01J37/143 , H01J37/145 , H01J37/153 , H01J2237/121
摘要： Provided is a small-size electronic lens having a small aberration for use in a microscope and an evaluation device using an electronic beam. The electronic lens is characterized in that its characteristic can be modified in a short time without using a complicated correction device. In the electronic lens, a correction electrode (11) is arranged in the vicinity of objective lenses (12, 13) as electrostatic lenses for correcting the aberration. Alternatively, a correction mechanism formed by a magnet is arranged in the vicinity of the objective lenses as magnetic lenses for correcting the aberration.
摘要翻译：提供了一种用于显微镜的小像差小型电子透镜和使用电子束的评估装置。电子透镜的特征在于，其特性可以在短时间内被修改而不使用复杂的校正装置。在电子透镜中，作为校正像差的静电透镜，在物镜（12,13）附近配置有校正电极（11）。或者，由磁体形成的校正机构设置在物镜附近，作为用于校正像差的磁性透镜。

2. 发明申请

WO2011089439A3 A MINIATURE LOW- ENERGY ELECTRON BEAM GENERATOR 审中-公开
标题翻译：微型低能量电子束发生器
公开(公告)号：WO2011089439A3
公开(公告)日：2011-11-17
申请号：PCT/GB2011050103
申请日：2011-01-21
申请人： NFAB LTD , EASTHAM DEREK
发明人： EASTHAM DEREK
IPC分类号： H01J37/141 , G01Q60/00 , H01J37/143 , H01J37/28 , H01J37/317
CPC分类号： H01J37/28 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J37/1416 , H01J37/143 , H01J37/3174 , H01J2237/1205 , H01J2237/1405 , H01J2237/2804
摘要： According to one aspect of the invention for which protection is sought, there is provided an electron beam generator (100, 200) comprising: an electron source (104, 204) for generating a beam (120, 220) of electrons from an emission site of the source; means for accelerating the electrons; and focussing means for focussing the electrons onto a surface of a sample provided in an image plane, wherein the electron beam is arranged to pass through a plurality of apertures between the source and the image plane, each aperture having a diameter greater than that of the electron beam at the point at which the beam passes through the aperture, the generator being operable to image directly electrons from the emission site onto the image plane, the focussing means comprising a microscale lens (150, 250) comprising a lens element arranged to generate a magnetic field thereby to focus the electron beam onto the image plane, the lens element having a lens aperture therethrough through which in use electrons to be focussed are passed.
摘要翻译：根据寻求保护的本发明的一个方面，提供了一种电子束发生器（100,200），包括：用于从发射位置产生电子束（120,220）的电子源（104,204）的来源; 用于加速电子的手段; 以及用于将电子聚焦到设置在图像平面中的样品的表面上的聚焦装置，其中电子束被布置成穿过源和图像平面之间的多个孔，每个孔的直径大于电子束在光束穿过孔的点处，该发生器可操作以将来自发射位点的电子直接成像到图像平面上，聚焦装置包括微透镜（150,250），该微米透镜包括透镜元件，该透镜元件被布置成产生磁场，从而将电子束聚焦到图像平面上，透镜元件具有透镜孔，通过该透镜孔可以通过要聚焦的电子。

3. 发明申请

WO2009157054A1 マルチコラム電子ビーム露光装置及び磁場発生装置审中-公开
标题翻译：多光子电子束曝光装置和磁场发生装置
公开(公告)号：WO2009157054A1
公开(公告)日：2009-12-30
申请号：PCT/JP2008/061431
申请日：2008-06-24
申请人：株式会社アドバンテスト , 安田洋 , 大饗義久 , 原口岳士
发明人：安田洋 , 大饗義久 , 原口岳士
IPC分类号： H01L21/027 , H01J37/143
CPC分类号： H01J37/143 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J37/06 , H01J37/3174 , H01J2237/0635 , H01J2237/14
摘要：【課題】狭い空間に強磁場を発生させて各コラムセルの間隔を小さくすることのできるマルチコラム電子ビーム露光装置及び磁場発生装置を提供すること。【解決手段】複数のコラムセルを備えるマルチコラム電子ビーム露光装置は、光軸方向に着磁された光軸対称な２個の環状永久磁石ＰＡ，ＰＢと永久磁石の近傍に配置されて永久磁石による磁場を調整する電磁コイルＥＣ１，ＥＣ２とが強磁性体枠７１によって取り囲まれた電子ビーム収束部と、各コラムセルで使用される電子ビームが通過する円型開口部が設けられ各円型開口部の側部に電子ビーム収束部が配置された基板とを備える。環状永久磁石ＰＡ，ＰＢは極性を対向させて光軸方向に上下２個配置され、環状永久磁石ＰＡ，ＰＢの半径方向の内側または外側に電磁コイルＥＣ１，ＥＣ２を設けるようにしてもよい。
摘要翻译： [问题]提供一种多柱电子束曝光装置，其在小空间中产生强磁场并减小列单元之间的间隔，并提供磁场产生装置。解决问题的手段电子束曝光装置具有多个柱单元。该装置设置有电子束聚焦部分，其中铁磁性框架（71）围绕两个在光轴方向被磁化并且相对于光轴对称的环形永磁体（PA，PB）和电磁线圈 EC1，EC2），其设置在永久磁铁附近，以调整由永磁体产生的磁场; 以及基板，其中布置有圆形开口部分，用于穿过用于每个列单元的电子束，并且电子束聚焦部分布置在每个圆形开口部分的一侧。两个环形永磁体（PA，PB）可以通过相反的极性彼此相对地在光轴方向上垂直布置，并且电磁线圈（EC1，EC2）可以布置在环形永磁体的半径方向内侧或外侧 PA，PB）。

4. 发明申请

WO2015188554A1 一种电子束扩散截面修整装置及方法审中-公开
公开(公告)号：WO2015188554A1
公开(公告)日：2015-12-17
申请号：PCT/CN2014/088830
申请日：2014-10-17
申请人：华中科技大学
发明人：黄江 , 樊明武 , 余调琴 , 张力戈 , 左晨 , 杨军 , 熊永前 , 刘开锋 , 吴接力 , 曹磊
IPC分类号： G21K1/093 , G21K5/04
CPC分类号： H01J37/143 , G21K1/093 , G21K5/04 , H01J3/12 , H01J33/00 , H01J37/3178 , H01J2237/0835 , H01J2237/1405 , H01J2237/152
摘要：一种电子束扩散截面修整装置及方法，装置包括两组永磁铁，第一组永磁铁（I）构成的磁场将电子束扩散为近似椭圆形；第二组永磁铁(II)构成的磁场对电子束团边缘进行修整形成近似矩形；通过操作四个纵向调位连接机构，使得第一组永磁铁（I）的上、下磁轭（12、14）朝向它们之间的中心同步移动，对近似椭圆形的电子束进行首次纵向压缩，以及使得第二组永磁铁（II）的上、下磁轭(22、24)朝向它们之间的中心同步移动，对近似矩形的电子束再次纵向压缩，直到电子束团纵向尺寸被压缩逼近至80mm。该装置及方法对扩散后的电子束团纵向尺寸进行合理压缩，既保证辐照均匀度及辐照效率最优，又维持现有描盒钛窗的限定范围内。

5. 发明申请

WO2011065240A1 走査電子顕微鏡审中-公开
标题翻译：扫描电子显微镜
公开(公告)号：WO2011065240A1
公开(公告)日：2011-06-03
申请号：PCT/JP2010/070188
申请日：2010-11-12
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ , 岩谷徹 , 高堀栄 , 大瀧智久 , 波多野治彦
发明人：岩谷　徹 , 高堀　栄 , 大瀧　智久 , 波多野　治彦
IPC分类号： H01J37/143 , H01J37/04 , H01J37/141 , H01J37/28
CPC分类号： H01J37/143 , H01J37/04 , H01J37/141 , H01J37/26 , H01J37/28
摘要：　カラムの温度上昇を抑制し、かつ分解能等の性能を維持しつつ、装置の小型化を達成することができる走査電子顕微鏡を提供する。　電子源から放出された電子線を集束レンズにより集束させて試料上に照射し、試料からの二次電子を検出することで、試料を観察する走査電子顕微鏡において、前記集束レンズは、電磁コイル型および永久磁石型の両方を有することを特徴とする。
摘要翻译：公开了一种扫描电子显微镜，其可以在抑制柱温升高并且在诸如分辨能力的区域中保持性能的同时实现器件小型化。扫描电子显微镜的特征在于，前述的聚焦透镜包括电磁线圈和电磁线圈，其特征在于，所述扫描电子显微镜通过在从电子源发射并由聚焦透镜聚焦的电子束照射样品时从样品中检测二次电子来观察样品永久磁铁。

6. 发明申请

WO2008044856A1 AN ELECTRON COLUMN USING A MAGNETIC LENS LAYER HAVING PERMANENT MAGNETS 审中-公开
标题翻译：使用具有永久磁铁的磁性镜片的电子柱
公开(公告)号：WO2008044856A1
公开(公告)日：2008-04-17
申请号：PCT/KR2007/004918
申请日：2007-10-09
申请人： CEBT CO. LTD. , KIM, Ho Seob
发明人： KIM, Ho Seob
IPC分类号： H01J37/14
CPC分类号： H01J37/145 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J37/12 , H01J37/143 , H01J37/3174 , H01J2237/1205 , H01J2237/1405 , H01J2237/26 , H01J2237/3175
摘要： Disclosed herein is an electron column using a magnetic lens layer. The electron column includes a magnetic lens layer for condensing an electron beam using permanent magnets. The magnetic lens layer includes a support plate, an aperture formed through the support plate, and permanent magnets arranged around the aperture and disposed on or inserted into the support plate.
摘要翻译：本文公开了使用磁性透镜层的电子柱。电子柱包括用于使用永久磁体冷凝电子束的磁透镜层。磁性透镜层包括支撑板，通过支撑板形成的孔和围绕孔布置并设置在支撑板上或插入到支撑板中的永磁体。

7. 发明申请

WO2018226770A1 MULTI-COLUMN SCANNING ELECTRON MICROSCOPY SYSTEM 审中-公开
公开(公告)号：WO2018226770A1
公开(公告)日：2018-12-13
申请号：PCT/US2018/036168
申请日：2018-06-06
申请人： KLA-TENCOR CORPORATION
发明人： NASSER-GHODSI, Mehran , PLETTNER, Tomas , SEARS, Christopher , HAYNES, Robert , GERLING, John , WELK, Aron , FUKS, Felipe
IPC分类号： G03F7/20 , H01L21/027 , H01L21/02
CPC分类号： H01J37/1474 , H01J37/065 , H01J37/14 , H01J37/143 , H01J37/147 , H01J37/1471 , H01J37/18 , H01J37/28 , H01J37/285 , H01J2237/024 , H01J2237/032
摘要： A multi-column scanning electron microscopy (SEM) system is disclosed. The SEM system includes a source assembly. The source assembly includes two or more electron beam sources configured to generate a plurality of electron beams. The source assembly also includes two or more sets of positioners configured to actuate the two or more electron beam sources. The SEM system also includes a column assembly. The column assembly includes a plurality of substrate arrays. The column assembly also includes two or more electron-optical columns formed by a set of column electron-optical elements bonded to the plurality of substrate arrays. The SEM system also includes a stage configured to secure a sample that at least one of emits or scatters electrons in response to the plurality of electron beams directed by the two or more electron-optical columns to the sample.

8. 发明申请

WO2014142745A1 PERMANENT MAGNET BASED HIGH PERFORMANCE MULTIAXIS IMMERSION ELECTRON LENS ARRAY WITH LOW AXIAL LEAKAGE FIELD 审中-公开
标题翻译：基于永磁体的高性能多轴电流透镜阵列，具有低轴向漏电场
公开(公告)号：WO2014142745A1
公开(公告)日：2014-09-18
申请号：PCT/SG2014/000102
申请日：2014-03-04
申请人： LUO, Tao
发明人： LUO, Tao
IPC分类号： H01J37/14 , H01J37/143 , H01J37/145
CPC分类号： H01J37/14 , H01J3/20 , H01J37/143 , H01J37/145 , H01J2237/1405
摘要： An apparatus includes a magnetic adjustment lens (116) positioned at the electron beam path between the electron source (102) and sample (124), the magnetic adjustment lens excited by an electric coil, and a permanent magnet lens (118) positioned below the magnetic adjustment lens to focus the electron beam onto the sample surface, the permanent magnet lens excited by one or more permanent ring magnets enclosed except on a bottom surface by a magnetic field conductor. The magnetic adjustment lens may be excited to eliminate magnetic field leakage of the permanent magnet lens.
摘要翻译：一种设备包括位于电子源（102）和样品（124）之间的电子束路径处的磁调节透镜（116），由电线圈激励的磁调节透镜和位于电子源磁调节透镜将电子束聚焦到样品表面上，永磁体透镜由一个或多个永久环形磁体激发，除了通过磁场导体在底表面外。可以激励磁调节透镜以消除永磁体透镜的磁场泄漏。

9. 发明申请

WO2012057166A1 電子レンズおよび電子ビーム装置审中-公开
标题翻译：电子镜头和电子束装置
公开(公告)号：WO2012057166A1
公开(公告)日：2012-05-03
申请号：PCT/JP2011/074588
申请日：2011-10-25
申请人：株式会社PARAM , 安田洋
发明人：安田　洋
IPC分类号： H01J37/143 , H01J37/141 , H01J37/305 , H01L21/027
CPC分类号： H01J3/24 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J3/20 , H01J37/143 , H01J37/3007 , H01J37/3174 , H01J37/3177 , H01J2237/002 , H01J2237/1405
摘要：永久磁石を用い、微細なパターンを効率的に描画する。Ｚ軸を中心軸とした円筒型強磁性体からなる外側円筒（２０１）と、前記外側円筒の内側に配置された、Ｚ軸方向に着磁された円筒型永久磁石（２０２）と、前記円筒型永久磁石の内側に、前記円筒型永久磁石と間隙をおいて配置され、前記円筒型永久磁石によるＺ軸方向の磁界強度を調整する補正用コイル（２０４）と、前記円筒型永久磁石と、前記補正用コイルとの間隙に配置され、内部に冷媒が流通されて、前記円筒型永久磁石の温度変化を抑制する冷媒流路（２０３）と、を有する。
摘要翻译：使用永久磁铁有效地画出精细图案。提供有：以从Z轴为中心的圆柱形磁体形成的外筒（201）设置在所述外筒内并在Z轴方向上被磁化的圆柱形永磁体（202）校正线圈（204），其设置在所述圆筒形永磁体的内侧的所述圆筒形永久磁铁内的空间内，并调整所述圆筒形永久磁铁的Z轴方向的磁场强度; 并且设置在圆筒形永磁体和校正线圈之间的空间中的制冷剂流路203具有制冷剂流入内部，并且抑制圆筒形永磁体的温度变化。

10. 发明申请

WO2006018840A2 ELECTRON MICROSCOPE ARRAY FOR INSPCETION AND LITHOGRAPHY 审中-公开
标题翻译：电子显微镜阵列用于插值和平移
公开(公告)号：WO2006018840A2
公开(公告)日：2006-02-23
申请号：PCT/IL2005000885
申请日：2005-08-14
申请人： ELLUMINA VISION LTD , IZKOIVITCH MORDECHAI , KOLARIK VLADIMIR , GOLAN GILAD , KARIN JACOB
发明人： IZKOIVITCH MORDECHAI , KOLARIK VLADIMIR , GOLAN GILAD , KARIN JACOB
IPC分类号： H01J1/50
CPC分类号： H01J37/143 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J37/3177 , H01J2237/244 , H01J2237/2444 , H01J2237/28 , H01J2237/2817
摘要： A system and method for rapidly processing a specimen. The method includes generating a plurality of charged-particle beams travelling substantially along respective axes of an array of charged-particle beam columns by providing each beam column with two permanent magnets having at least one magnetic dipole disposed in a plane perpendicular to the axis. The trajectory of the beams is independently controlled and the beam is focussed onto the specimen using additional correctional coils. The beams are deflected while maintaining incidence of the beam on the specimen parallel to the axis. Preferably, the charged particle beams include non-crossover charged particle beams. Preferably, the method further includes detecting charged particles scattered from the specimen using a detector at least partially immersed in a magnetic field, by utilizing at least in part the magnetic field.
摘要翻译：一种用于快速处理样品的系统和方法。该方法包括通过为每个光束柱提供两个具有设置在垂直于该轴的平面中的至少一个磁偶极子的永磁体，生成基本沿着带电粒子束列的阵列的各个轴线行进的多个带电粒子束。光束的轨迹被独立地控制，并且使用附加的校正线圈将光束聚焦在样本上。梁保持偏转，同时保持试样平行于轴线的梁的入射。优选地，带电粒子束包括非交叉带电粒子束。优选地，该方法还包括通过至少部分地利用磁场来检测使用至少部分浸没在磁场中的检测器从样品散射的带电粒子。

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