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1. 发明申请

WO2010031885A1 MÉTODO DE ACTUACIÓN RESONANTE REALIMENTADO PARA ACTUADORES ELECTROESTÁTICOS MEMS 审中-公开
标题翻译：用于MEMS静电执行器的反馈谐振激励方法
公开(公告)号：WO2010031885A1
公开(公告)日：2010-03-25
申请号：PCT/ES2009/000457
申请日：2009-09-17
申请人： UNIVERSITAT POLITÈCNICA DE CATALUNYA , FERNÁNDEZ MARTINEZ, Daniel , MADRENAS BOADAS, Jordi
发明人： FERNÁNDEZ MARTINEZ, Daniel , MADRENAS BOADAS, Jordi
IPC分类号： H01H59/00 , H01H3/22
CPC分类号： H01H59/0009 , H01H2059/0036
摘要： Método de actuación resonante realimentado para actuadores electroestáticos MEMS. La invención consiste en conectar el actuador electroestático (1) a un circuito electrónico que funcione como sensor o estimador de la distancia o capacidad entre armaduras del actuador (2), obtener la velocidad a la que se mueven las armaduras mediante un derivador de dicha distancia o capacidad (3) y aplicar una señal eléctrica al actuador electroestático (4) que genere una fuerza eléctrica en el mismo sentido que la velocidad. Con esto, un actuador electroestático que inicialmente esté en la posición de reposo oscilará con cada vez mayor amplitud hasta llegar al colapso sin requerir tensiones elevadas de actuación.
摘要翻译：本发明涉及一种用于MEMS静电致动器的反馈谐振致动方法。本发明涉及将静电致动器（1）连接到作为传感器或估计器的电子电路，该电子电路用作致动器（2）的电枢之间的距离或电容的估计器，从而获得电枢通过所述电动机的微分器移动的速度距离或电容（3），并向静电致动器（4）施加电信号，该信号产生与速度相同的方向的电力，于是最初处于静止位置的静电致动器将随着永久地振荡 - 增加幅度直到崩溃而不需要高致动电压。

2. 发明申请

WO2005112126A1 ELECTROMECHANICAL NANOTUBE TUNNELING DEVICE COMPRISING SOURCE, DRAIN AND GATE 审中-公开
标题翻译：包含源，排水和门的机电纳米管隧道装置
公开(公告)号：WO2005112126A1
公开(公告)日：2005-11-24
申请号：PCT/SE2005/000691
申请日：2005-05-16
申请人： CHALMERS INTELLECTUAL PROPERTY RIGHTS AB , VIEFERS, Susanne , NORD, Tomas , KINARET, Jari , JONSSON, Magnus , AXELSSON, Sven
发明人： VIEFERS, Susanne , NORD, Tomas , KINARET, Jari , JONSSON, Magnus , AXELSSON, Sven
IPC分类号： H01L29/772
CPC分类号： H01L29/0665 , B82Y10/00 , G11C13/025 , G11C23/00 , H01H1/0094 , H01H2059/0036 , H01L29/0673 , H01L29/84 , H01L51/0048 , H01L51/0052 , H01L51/0508 , H03H9/462
摘要： The present invention relates to a nanotube device (100) comprising a nanotube with a longitudinal and a lateral extension, a structure for supporting at least a first part of the nanotube, and first means for exerting a force upon the nanotube in a first direction defined by its lateral extension. At least a second part of the nanotube protrudes beyond the support of said structure, so that when said force exceeds a certain level, the second part of the nanotube will flex in the direction of its lateral extension, and thereby close a first electrical circuit. Suitably, the first means for exerting said force upon the nanotube is an electrical means, the force being created by applying a voltage to the means. The device allows for quantum mechanics tunnel effects, both at a source and at a drain electrode.
摘要翻译：本发明涉及纳米管装置（100），其包括具有纵向和横向延伸的纳米管，用于支撑纳米管的至少第一部分的结构，以及用于在限定了第一方向的纳米管上施加力的第一装置通过其横向延伸。纳米管的至少第二部分突出超过所述结构的支撑，使得当所述力超过一定水平时，纳米管的第二部分将沿其横向延伸的方向弯曲，从而闭合第一电路。适当地，用于在纳米管上施加所述力的第一种方法是电气装置，该力通过向该装置施加电压而产生。该器件允许在源极和漏极处的量子力学隧道效应。

3. 发明申请

WO2004059679A1 MICROELECTROMECHANICAL RF SWITCH 审中-公开
标题翻译：微电子机电RF开关
公开(公告)号：WO2004059679A1
公开(公告)日：2004-07-15
申请号：PCT/US2003/040013
申请日：2003-12-17
申请人： NORTHROP GRUMMAN CORPORATION
发明人： BLUZER, Nathan
IPC分类号： H01H59/00
CPC分类号： H01H59/0009 , H01H2001/0089 , H01H2059/0018 , H01H2059/0036 , H01H2059/0072
摘要： A MEMS switch with a bridge having three symmetric arms each having one end connected to a support arrangement and another end integral with a common central bridge portion. First and second conductors are deposited on a substrate, with the first conductor having an end with an open area which encompasses a pull down electrode which is also on the substrate, and of a height less than that of the conductor. A control voltage applied to the pull down electrode causes downward movement of the bridge, to present a relatively low impedance, thereby allowing a signal to propagate between the first and second conductors, without the bridge touching the pull down electrode. Each of the arms is slotted to reduce curl-induced stiffness.
摘要翻译：具有三个对称臂的桥的MEMS开关，每个臂具有连接到支撑装置的一端和与公共中心桥接部分成一体的另一端。第一和第二导体沉积在衬底上，其中第一导体具有开口区域的端部，该开口区域也包围也在衬底上的下拉电极，并且具有比导体的高度的高度。施加到下拉电极的控制电压引起桥的向下移动，以呈现相对低的阻抗，从而允许信号在第一和第二导体之间传播，而桥不接触下拉电极。每个臂都开槽以减少卷曲引起的刚度。

4. 发明申请

WO2005078752A1 DISPOSITIF DE TYPE MICROSYSTEME ELECTROMECANIQUE A FILM MINCE PIEZOELECTRIQUE 审中-公开
标题翻译：压电薄膜电化学微结构器件
公开(公告)号：WO2005078752A1
公开(公告)日：2005-08-25
申请号：PCT/EP2005/000430
申请日：2005-01-12
申请人： CSEM Centre Suisse d'Electronique et de Microtechnique SA - Recherche et Développement , DUBOIS, Marc-Alexandre
发明人： DUBOIS, Marc-Alexandre
IPC分类号： H01H1/00
CPC分类号： H01H59/0009 , H01H1/0036 , H01H2001/0063 , H01H2059/0036 , H01H2201/02
摘要： Dispositif de type microsystème électromécanique (MEMS) ô film mince piézoélectrique 18 comportant un commutateur RF-MEMS 14 et un résonateur RF ô film mince piézoélectrique 10 ô ondes acoustiques de volume monté sur un substrat 12 pourvu d'un miroir acoustique 28. le résonateur comporte une portion 16 du film mince disposée entre les deux électrodes métalliques 20 et 24. Le commutateur 14 comporte une poutre bi-couche présentant une couche d'isolant 38 associée ô une autre portion 36 du film piézoélectrique 18 et portant un contact métalliques mobile 50 destiné ô venir en appui sur des contacts métalliques fixes 46, 48 par déformation de la poutre sous l'action d'une tension sur les électrodes de commande 40, 42.
摘要翻译：一种压电薄膜机电微系统（MEMS）装置（18），包括RF-MEMS开关（14）和安装在设置有声反射镜的基板（12）上的体声波压电薄膜RF谐振器（10） 28）。谐振器包括在两个金属电极（20,24）之间的薄膜部分（16）。开关（14）包括具有与压电膜（18）的不同部分（36）组合的绝缘体层（38）的双层交叉臂，并且具有可与固定金属触头（46）接合的活动金属触头（50），48）当所述十字臂被所述控制电极（40,42）上的电压弯曲时。

5. 发明申请

WO2005069330A1 ELECTRO-MECHANICAL MICRO-SWITCH DEVICE 审中-公开
标题翻译：电子机械式微动开关装置
公开(公告)号：WO2005069330A1
公开(公告)日：2005-07-28
申请号：PCT/US2004/036357
申请日：2004-11-01
申请人： MASSACHUSETTS INSTITUTE OF TECHNOLOGY , PIRELLI & C.S.P.A. , NEILSON, Gregory, N. , BARBASTATHIS, George
发明人： NEILSON, Gregory, N. , BARBASTATHIS, George
IPC分类号： H01H59/00
CPC分类号： H01H59/0009 , H01H2001/0042 , H01H2057/006 , H01H2059/0036 , H01H2059/0063
摘要： The electro-mechanical micro-switch device includes first and second fixed electrodes. A movable electrode is positioned with respect to the first and second fixed electrodes so that the position of the movable electrode can be selectively placed in one of two opposing states defined by the fixed electrodes. Thc stored elastic potential energy of the movable electrode and its flexible supporting structure is used for switching between the two states. An electrostatic hold voltage is used to hold the movable electrode in the two switch states.
摘要翻译：机电微开关装置包括第一和第二固定电极。可移动电极相对于第一固定电极和第二固定电极定位，使得可动电极的位置可以选择性地放置在由固定电极限定的两个相对状态之一中。使用可移动电极及其柔性支撑结构存储的弹性势能用于在两种状态之间切换。静电保持电压用于将可动电极保持在两个开关状态。

6. 发明申请

WO2010107876A1 MOVING A FREE-STANDING STRUCTURE BETWEEN HIGH AND LOW ADHESION STATES 审中-公开
标题翻译：移动高粘度和低粘结状态之间的自由结构
公开(公告)号：WO2010107876A1
公开(公告)日：2010-09-23
申请号：PCT/US2010/027603
申请日：2010-03-17
申请人： CAVENDISH KINETICS, INC. , SMITH, Charles, Gordon , KNIPE, Richard, L.
发明人： SMITH, Charles, Gordon , KNIPE, Richard, L.
IPC分类号： H01H1/00 , H01H59/00 , G11C23/00
CPC分类号： H01H59/0009 , G11C23/00 , H01H1/0036 , H01H2001/0047 , H01H2059/0036 , H01H2059/0054 , H01H2059/0063
摘要： Embodiments disclosed herein generally solve a stiction problem in switching devices by using a series of pulses of force which take the switch from being strongly adhered to a landing electrode to the point where it is only weakly adhered. Once in the low adhesion state, the switch can then be pulled away from contact with a lower force provided by either the spring constant of the switch and/or the electrostatic forces resulting from low voltages applied to nearby electrodes.
摘要翻译：本文公开的实施例通过使用一系列将开关牢固地粘附到着陆电极到其仅弱附着的位置的力脉冲来解决开关器件中的静电问题。一旦处于低附着状态，则可以用由开关的弹簧常数提供的较小的力和/或施加到附近的电极的低电压产生的静电力将开关拉离开接触。

7. 发明申请

WO01080266A1 METHOD AND ARRANGEMENT FOR CONTROLLING MICROMECHANICAL ELEMENT 审中-公开
标题翻译：用于控制微电子元件的方法和装置
公开(公告)号：WO01080266A1
公开(公告)日：2001-10-25
申请号：PCT/FI2001/000369
申请日：2001-04-12
IPC分类号： B81B3/00 , H01H47/00 , H01H47/32 , H01H59/00 , H01H1/00
CPC分类号： H01H47/325 , H01H59/0009 , H01H2059/0036 , H01H2059/0063
摘要： The invention relates to a controlling of micromechanical elements. Especially the invention relates to the controlling of the micromechanical switches. According to a method for controlling at least one micromechanical element a first control signal and a second control signal are fed to the micromechanical element. The second control signal is arranged to set the micromechanical element to an active state and the first control signal is arranged to hold the micromechanical element in the active state. An arrangement for controlling at least one micromechanical element (402) contains at least means for generating at least a first control signal and a second control signal, means for raising a voltage level of at least the second control signal and means for feeding the first control signal and the second control signal with raised voltage level to the micromechanical element. By means of the invention lower voltage levels can be used in micromechanical applications.
摘要翻译：本发明涉及微机械元件的控制。特别地，本发明涉及微机械开关的控制。根据用于控制至少一个微机械元件的方法，第一控制信号和第二控制信号被馈送到微机械元件。第二控制信号被布置成将微机械元件设置为有效状态，并且第一控制信号被布置成将微机械元件保持在活动状态。用于控制至少一个微机械元件（402）的装置至少包含用于产生至少第一控制信号和第二控制信号的装置，用于提高至少第二控制信号的电压电平的装置和用于馈送第一控制信号的装置信号和具有升高的电压水平的微机电元件的第二控制信号。通过本发明，可以在微机械应用中使用较低的电压电平。

8. 发明申请

WO2005078752A8 PIEZOELECTRIC THIN-FILM ELECTROMECHANICAL MICROSYSTEM DEVICE 审中-公开
标题翻译：压电薄膜电化学微结构器件
公开(公告)号：WO2005078752A8
公开(公告)日：2005-10-20
申请号：PCT/EP2005000430
申请日：2005-01-12
申请人： SUISSE ELECTRONIQUE MICROTECH , DUBOIS MARC-ALEXANDRE
发明人： DUBOIS MARC-ALEXANDRE
IPC分类号： H01H1/00 , H01H59/00 , H03H3/007
CPC分类号： H01H59/0009 , H01H1/0036 , H01H2001/0063 , H01H2059/0036 , H01H2201/02
摘要： A piezoelectric thin-film electromechanical microsystem (MEMS) device (18) comprising an RF-MEMS switch (14) and a bulk acoustic wave piezoelectric thin-film RF resonator (10) mounted on a substrate (12) provided with an acoustic mirror (28). The resonator comprises a thin film portion (16) between the two metal electrodes (20, 24). The switch (14) comprises a two-layer crossarm with an insulator layer (38) combined with a different portion (36) of the piezoelectric film (18) and having a movable metal contact (50) engageable with stationary metal contacts (46, 48) when the crossarm is bent by a voltage across the control electrodes (40, 42).
摘要翻译：一种压电薄膜机电微系统（MEMS）装置（18），包括RF-MEMS开关（14）和安装在设置有声反射镜的基板（12）上的体声波压电薄膜RF谐振器（10） 28）。谐振器包括在两个金属电极（20,24）之间的薄膜部分（16）。开关（14）包括具有与压电膜（18）的不同部分（36）组合的绝缘体层（38）的双层交叉臂，并具有可动金属接触件（50），可动金属触头（50）当所述十字臂被所述控制电极（40,42）上的电压弯曲时，

9. 发明申请

WO2003083886A1 SWITCH DEVICE 审中-公开
标题翻译：开关装置
公开(公告)号：WO2003083886A1
公开(公告)日：2003-10-09
申请号：PCT/GB2003/001304
申请日：2003-03-26
申请人： QINETIQ LIMITED , BRUNSON, Kevin, Michael , COMBES, David, Jonathan , KINGS, David, Oury
发明人： COMBES, David, Jonathan , KINGS, David, Oury
IPC分类号： H01H59/00
CPC分类号： H01H59/0009 , H01H47/325 , H01H2059/0036 , H01H2059/0063
摘要： The present invention relates to a switch device (10) comprising a first actuation electrode (11) and a second actuation electrode (12) and a first contact electrode (16) and a second contact electrode (17), the first actuation electrode (11) and first contact electrode (16) being mounted on at least part of, or forming at least part of, a resiliently flexible arm (13), the switch further comprising an electrical actuation means (21, 22, 23) for, when in use, applying a first inter-electrode potential difference between the first electrode (11) and the second electrode (12); characterised in that the electrical actuation means further comprises a resonance means for, when in use, varying the first inter-electrode potential difference in such a manner that mechanical resonance is caused to occur in the resiliently flexible arm (13). The resonance means comprises an electrical feedback circuit.
摘要翻译：本发明涉及包括第一致动电极（11）和第二致动电极（12）和第一接触电极（16）和第二接触电极（17）的开关装置（10），第一致动电极（11））和第一接触电极（16）安装在弹性柔性臂（13）的至少一部分或至少部分形成弹性柔性臂（13），所述开关还包括电致动装置（21,22,23），用于当处于使用在第一电极（11）和第二电极（12）之间施加第一电极间电位差; 其特征在于，电致动装置还包括谐振装置，用于在使用时改变第一电极间电位差，使得在弹性柔性臂（13）中发生机械共振。谐振装置包括电反馈电路。

10. 发明申请

WO1994027308A1 BI-STABLE MEMORY ELEMENT 审中-公开
标题翻译：双稳态存储元件
公开(公告)号：WO1994027308A1
公开(公告)日：1994-11-24
申请号：PCT/GB1994000977
申请日：1994-05-06
申请人： SMITH, Charles, Gordon
IPC分类号： H01H01/00
CPC分类号： H01H1/0036 , G11C11/50 , G11C23/00 , H01H1/20 , H01H1/66 , H01H59/0009 , H01H2001/0042 , H01H2059/0036 , H01H2059/0063
摘要： A bi-stable memory element (1) comprises a base contact (3), and a bridging contact (8), both made from an electrically conductive material. The bridging contact (8) is dimensioned so as to have two stable positions, in one of which the bridging contact (8) is in contact with the base contact (3), and in the other of which the bridging contact (8) is spaced apart from the base contact (3). Deflection means (4, 5) deflects the bridging contact (8) from one stable position to the other.
摘要翻译：双稳态存储元件（1）包括由导电材料制成的基极触点（3）和桥接触头（8）。桥接触点（8）的尺寸设计成具有两个稳定的位置，其中桥接触点（8）中的一个与基极触点（3）接触，而另一个桥接触点（8）是与基部触点（3）间隔开。偏转装置（4,5）将桥接接触件（8）从一个稳定位置偏转到另一个。

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