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    • 1. 发明申请
    • ウェハ位置教示方法および教示治具装置
    • WAFER POSITION教学方法与教学工具
    • WO2007010725A1
    • 2007-01-25
    • PCT/JP2006/313027
    • 2006-06-29
    • 株式会社安川電機足立 勝川辺 満徳
    • 足立 勝川辺 満徳
    • B25J9/22B25J19/06B65G49/07H01L21/677
    • H01L21/67742G05B2219/50125H01L21/681
    •  処理装置の間口の狭い場合でも、干渉させることなくウェハ位置を精度良く自動的に教示する方法およびその外部教示治具を提供する。  本発明のウェハ搬送装置のウェハ位置教示方法は、収納容器と処理装置の間あるいは処理装置相互の間で半導体ウェハの搬送を行なうロボットに、収納容器あるいは処理装置の半導体ウェハを設置する位置に教示治具(16)を設置し、ロボットのウェハ把持部に設けたセンサで教示治具を検出することにより、ロボットに半導体ウェハの位置を教示するもので、教示治具(16)をセンサでセンシングする前に、処理装置の前面外壁に設置した外部教示治具(17)をセンサでセンシングにてセンシングを行い教示治具の位置をラフに推定し、その推定位置に基づいてセンサで教示治具にアプローチし、センシングして半導体ウェハの位置を求めるものである。
    • 即使在处理设备的正面狭窄的情况下,精确而自动地教导晶片位置也不会产生干扰的方法及其外部教学工具。 在用于在晶片承载系统中教导晶片位置的方法中,用于在容器和处理设备之间或处理设备的两个单元之间承载半导体晶片的机器人在教学工具(16)的位置安装有 容器或其中要设置半导体晶片的处理设备,并且通过设置在机器人的晶片夹持部分处的传感器检测示教工具来向机器人教导半导体晶片的位置。 在通过传感器感测教导工具(16)之前,通过传感器感测安装在处理设备的前外壁上的外部教学工具(17),并粗略地估计教学工具的位置。 基于估计的位置,接近和感测教导工具,从而确定半导体晶片的位置。
    • 2. 发明申请
    • ロボットへのワーク受渡し位置教示装置及び教示方法
    • 用于向机器人教学工作交付位置的装置和方法
    • WO2006117840A1
    • 2006-11-09
    • PCT/JP2005/007978
    • 2005-04-27
    • 平田機工株式会社松村 和幸
    • 松村 和幸
    • H01L21/68B25J9/22
    • H01L21/68707G05B19/421G05B2219/39021G05B2219/50036G05B2219/50125H01L21/682
    • 【課題】 安価で、短時間で教示を行うことができるロボットへのワーク受渡し位置教示装置及び教示方法を提供する。 【解決手段】 可動側のロボットハンド2と固定側のワーク載置台8との間でワークを受け渡すのに際して、ワークの中心位置がずれないようなワーク受渡し位置を予めロボットに教示しておくためのロボットへのワーク受渡し位置教示装置が、ロボットハンド2に装着され、可動側のワーク保持手段がワークを把持した時のワークの中心位置を示す第1の治具6と、ワーク載置台8に装着され、固定側のワーク保持手段がワーク載置台8上でワークを把持した時のワークの中心位置を示す第2の治具13と、第1の治具6が示すワークの中心位置と第2の治具13が示すワークの中心位置とが合致させられた時のロボットハンド2の位置をロボットの制御装置に教示する教示手段とを備えて成る。                                
    • 本发明提供一种能够在短时间内以低成本向机器人教导机器人的工作交付位置的装置和方法。 [解决问题的手段]用于向机器人讲授作业发送位置的装置向机器人预先教导当工件在可动侧机器人手( 2)和固定侧工作装载台(8)。 该装置包括装配到机器人手(2)上的第一工具(6),并且当可移动侧工件保持装置保持工件时指示工件的中心位置,安装在工件装载台(8)上的第二工具 ),并且当固定侧工作保持装置将作业保持在作业装载台(8)上时,指示作业的中心位置,以及教导装置向机器人控制器教导机器人手(2)的位置 由第一工具(6)指示的工件的中心位置与由第二工具(13)指示的工件的中心位置对准。
    • 4. 发明申请
    • AUTOMATED FIXTURE BUILDER SYSTEM
    • 自动化建筑物系统
    • WO1998027503A1
    • 1998-06-25
    • PCT/US1997024248
    • 1997-12-18
    • MSX INTERNATIONAL BUSINESS SYSTEMS, INC.
    • MSX INTERNATIONAL BUSINESS SYSTEMS, INC.ELLIOT, Steven
    • G06F19/00
    • G05B19/4097G05B2219/35043G05B2219/35218G05B2219/36315G05B2219/50125
    • A system and method for constructing fixtures for holding physical parts (30) for welding, checking, inspection, and other related activities. The physical parts include parts of cars as may appear in an automotive plant. The present invention selects the optimum L-unit components (36) based on the contour of the part (24) to be held, the principle locating points for the part (26), and the geometry of the various L-unit components. The principle locating points identify where on the part is a L-unit fixture to be placed. The program reads the part contour data and principle locating points data to construct the criteria by which to select the optimum L-unit components from a relational database. The program allows the user to preselect a L-unit component and then determine the other fixture components needed to adequately hold the part. The present invention also provides for multiple L-unit types including rest, pin, and clamp L-units, as well as combinations of the L-unit types.
    • 一种用于固定用于焊接,检查,检查和其他相关活动的物理部件(30)的固定装置的系统和方法。 物理部件包括可能出现在汽车工厂的汽车零件。 本发明基于要保持的部分(24)的轮廓,部分(26)的主要定位点和各种L单元部件的几何形状来选择最佳L单元部件(36)。 定位点的原理确定了哪个部分是要放置的L单元夹具。 该程序读取零件轮廓数据和原点定位点数据,以构建从关系数据库中选择最佳L单位分量的标准。 该程序允许用户预先选择一个L单元组件,然后确定充分保持零件所需的其他夹具组件。 本发明还提供了多种L单元类型,包括休息,引脚和钳位L单元,以及L单元类型的组合。
    • 9. 发明申请
    • MULTI-AXIS CONFIGURABLE FIXTURE
    • 多轴可配置的固定装置
    • WO2014144518A3
    • 2014-11-20
    • PCT/US2014028965
    • 2014-03-14
    • PAR SYSTEMS INC
    • JUNG THOMAS E
    • B25J9/16
    • B25J9/1682B25J9/0084G05B2219/39124G05B2219/39157G05B2219/40248G05B2219/45071G05B2219/50125
    • A holding assembly (17) and a method of holding a workpiece are provided. The assembly (17) and method include a plurality of multi-degree of freedom robotic devices (20), each device (20) having a workpiece engaging device (22) to hold a workpiece wherein and each robotic device (20) is configured to move the corresponding workpiece engaging device (22) to a desired position based on the workpiece to be held. A controller (60) is operably connected to each of the freedom robotic devices (20) to control each of multi-degree of freedom robotic devices (20) so as to move the corresponding workpiece engaging device (22) to a desired position based on the workpiece to be held.
    • 提供保持组件(17)和保持工件的方法。 该组件(17)和方法包括多个多自由度机器人装置(20),每个装置(20)具有工件接合装置(22)以保持工件,其中并且每个机器人装置(20)被配置为 基于待保持的工件将相应的工件接合装置(22)移动到期望的位置。 控制器(60)可操作地连接到每个自由机器人装置(20)以控制多个自由度机器人装置(20)中的每一个,以便将相应的工件接合装置(22)移动到期望的位置, 要保持的工件。
    • 10. 发明申请
    • MULTI-AXIS CONFIGURABLE FIXTURE
    • 多轴配置固定
    • WO2014144518A2
    • 2014-09-18
    • PCT/US2014/028965
    • 2014-03-14
    • PAR SYSTEMS, INC.
    • JUNG, Thomas, E.
    • B25J9/16
    • B25J9/1682B25J9/0084G05B2219/39124G05B2219/39157G05B2219/40248G05B2219/45071G05B2219/50125
    • A holding assembly (17) and a method of holding a workpiece are provided. The assembly (17) and method include a plurality of multi-degree of freedom robotic devices (20), each device (20) having a workpiece engaging device (22) to hold a workpiece wherein and each robotic device (20) is configured to move the corresponding workpiece engaging device (22) to a desired position based on the workpiece to be held. A controller (60) is operably connected to each of the freedom robotic devices (20) to control each of multi-degree of freedom robotic devices (20) so as to move the corresponding workpiece engaging device (22) to a desired position based on the workpiece to be held.
    • 提供保持组件(17)和保持工件的方法。 组件(17)和方法包括多个多自由度机器人装置(20),每个装置(20)具有用于保持工件的工件接合装置(22),并且每个机器人装置(20)被配置为 基于待保持的工件将相应的工件接合装置(22)移动到期望的位置。 控制器(60)可操作地连接到每个自由机器人装置(20),以控制多自由度机器人装置(20)中的每一个,以便基于相应的工件接合装置(22)将相应的工件接合装置(22)移动到期望的位置 要保持的工件。