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    • 6. 发明申请
    • サーバ装置、およびプログラム
    • 服务器设备和程序
    • WO2007129567A1
    • 2007-11-15
    • PCT/JP2007/058791
    • 2007-04-24
    • 東京エレクトロン株式会社猪川 匠小山 典昭
    • 猪川 匠小山 典昭
    • H01L21/02G05B19/418G05B23/02G06Q50/00H01L21/205H01L21/3065H01L21/66
    • G05B19/41875G05B2219/31331G05B2219/31432G05B2219/32179G05B2219/45031G06Q10/06Y02P90/14Y02P90/18Y02P90/22
    • 【課題】従来、製品ウェーハ枚数で測定された情報をフィルタリングして、チャートを構成することができなかった。 【解決手段】複数の製造装置で測定された情報についての時系列の情報であり、製品ウェーハ枚数と時刻情報を有する情報である測定情報を、複数格納しており、製品ウェーハ枚数を含むチャートの出力指示を受け付ける指示受付部と、指示受付部が出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む製品ウェーハ枚数条件に合致する複数の測定情報を読み出し、当該読み出した複数の測定情報が、条件情報に合致するか否かを判断する異常検知部と、異常検知部の判断結果に応じた出力情報を構成する出力情報構成部と、前記出力情報構成部が構成した出力情報を出力する出力部を具備するサーバ装置により、製品ウェーハ枚数で測定された情報をフィルタリングして、チャートを構成することができる。
    • [待解决的问题]通常,以产品晶片数量测量的信息的过滤不能构成图表。 解决问题的手段多个制造装置中的测量数据是时序信息。 测量数据具有产品晶片数量和时间信息。 服务器装置包括:用于存储多个测量数据的指令接收单元,以及用于接收包括产品晶片数量的图形指令的输出; 一个异常检测单元,用于根据输出指令中的所述产品晶片的数量的条件读出多个测量数据,并且用于当多个读出的测量数据符合指令接收时的条件信息时, 单元接收输出指令; 输出信息组合单元,用于根据异常检测单元的判断结果构成输出信息; 以及输出单元,用于输出由输出组合单元组成的输出,使得以产品晶片数量测量的信息的滤波可以组成图表。
    • 9. 发明申请
    • SYSTEM AND METHOD FOR MONITORING AND/OR DIAGNOSING OPERATION OF A PRODUCTION LINE OF AN INDUSTRIAL PLANT
    • 用于监测和/或诊断工业生产线运行的系统和方法
    • WO2014090310A1
    • 2014-06-19
    • PCT/EP2012/075397
    • 2012-12-13
    • ABB TECHNOLOGY AG
    • DRATH, RainerHOERNICKE, MarioKOCK, SönkeWINTERHALTER, Christoph
    • G05B17/02G05B23/02
    • G05B19/406G05B17/02G05B23/0243G05B2219/32179G05B2219/32301G05B2219/32342G05B2219/33286G05B2219/35308G05B2219/37616Y02P90/26Y02P90/86
    • Disclosed is a system and method for monitoring and/or diagnosing operation of a production line (8, 223) of an industrial plant which is controlled by an automation system (10, 226). The system comprises a remote data processing server (6, 200) installed outside of the industrial plant (228) which is arranged to receive a digital input signal (205) reflecting the at least one control input signal (12, 222), and a digital output signal (208) reflecting the second operational state (224), determine at least a first and a second modeled state (14', 207) corresponding to the at least first and second (224) operational states, respectively, by inputting the digital input (205) and the digital output (208) signals to a digital observer model (4, 202) of the production line (8, 223) and the automation system (6, 200) and by processing the digital observer model (4, 202), and to forward the at least first and second modeled states (14', 207) to an output interface (203) from where they can be accessed by modeling and/or diagnosing modules (210, 212).
    • 公开了一种用于监视和/或诊断由自动化系统(10,226)控制的工厂的生产线(8,223)的操作的系统和方法。 该系统包括安装在工业设备外部的远程数据处理服务器(6,200),其被布置为接收反映至少一个控制输入信号(12,222)的数字输入信号(205),以及 反映第二操作状态(224)的数字输出信号(208)分别通过输入对应于至少第一和第二(224)操作状态的至少第一和第二建模状态(14',207)来确定 数字输入(205)和数字输出(208)向生产线(8,223)和自动化系统(6,200)的数字观察者模型(4,202)发送信号,并且通过处理数字观察者模型(4) ,202),并且将所述至少第一和第二建模状态(14',207)转发到输出接口(203),从中可以通过建模和/或诊断模块(210,212)来访问它们。