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1. 发明申请

WO2017053325A1 INCREASING DYNAMIC RANGE OF A HEIGHT SENSOR FOR INSPECTION AND METROLOGY 审中-公开
标题翻译：增加检测和度量传感器的动态范围
公开(公告)号：WO2017053325A1
公开(公告)日：2017-03-30
申请号：PCT/US2016/052714
申请日：2016-09-20
申请人： KLA-TENCOR CORPORATION
发明人： LI, Shifang
IPC分类号： G01B11/06 , G02B27/14 , G02B27/10
CPC分类号： G01B11/0608 , G01B2210/56 , G02B21/0032 , G02B21/0096 , G02B27/0025
摘要： A system includes a first beam splitter, a second beam splitter, and a mirror. The second beam splitter can produce two lines of light, which are received by at least one sensor. The two lines of light have different focal heights on the wafer. A distance between the second beam splitter and the mirror can be configured to change a focal height on the wafer. A height of an illuminated region on a surface of the wafer relative to a normal surface of the wafer can be determined using the two lines of light.
摘要翻译：系统包括第一分束器，第二分束器和反射镜。第二分束器可以产生由至少一个传感器接收的两条光线。两条光线在晶圆上具有不同的焦点高度。第二分束器和反射镜之间的距离可以被配置成改变晶片上的焦点高度。可以使用两条光线来确定晶片表面上相对于晶片的法线表面的照明区域的高度。

2. 发明申请

WO2016174963A1 顕微鏡装置审中-公开
标题翻译： MICROSCOPE设备
公开(公告)号：WO2016174963A1
公开(公告)日：2016-11-03
申请号：PCT/JP2016/059005
申请日：2016-03-22
申请人：住友電気工業株式会社
发明人：菅沼　寛 , 奥野　拓也 , 翁　由奈 , 本村　麻子 , 杉山　陽子
IPC分类号： G02B21/00 , G01N21/27
CPC分类号： G01J3/2823 , G01J3/0208 , G01J3/108 , G01N21/27 , G01N21/359 , G01N33/487 , G01N2201/0633 , G02B13/22 , G02B21/0064 , G02B21/0096 , G02B21/02 , G02B21/06 , G02B21/365
摘要：本発明の顕微鏡装置は、(1)近赤外領域を含む波長帯域の照明光を出力する光源１０と、(2)前記光源から出力された照明光を観察対象物９０に照射する照明光学系３０と、(3)前記観察対象物への照明光の照射によって前記観察対象物で生じた透過光もしくは散乱光を入力し分光する分光部を含み、分光された透過光もしくは散乱光に基づいて像を形成する結像光学系４０と、(4)前記結像光学系により形成された像を取得する撮像部５０Ａと、を備える。前記観察対象物のうち前記照明光により照射される面積は、前記結像光学系４０による視野面積より大きく該視野面積の１０倍以下である。
摘要翻译：该显微镜装置设置有：（1）输出包括近红外区域的波长带的照明光的光源10; （2）照明光学系统30，其利用从光源输出的照明光照射被观察物体90; （3）图像形成光学系统40，其包括分光单元，其输入通过用照明光照射被观察物体而在待观察对象物中产生的透射光或散射光，并分散透射光或散射光并且基于分散的透射光或散射光形成图像; 以及（4）摄像单元50A，其获取由图像形成光学系统形成的图像。用被观察物体的照明光照射的面积大于成像光学系统40的视场面积，并且小于或等于视场面积的十倍。

3. 发明申请

WO2015100421A1 MULTI-FOCI MULTIPHOTON IMAGING SYSTEMS AND METHODS 审中-公开
标题翻译：多重成像多光子成像系统及方法
公开(公告)号：WO2015100421A1
公开(公告)日：2015-07-02
申请号：PCT/US2014/072368
申请日：2014-12-24
申请人： TISSUEVISION, INC. , RAGAN, Timothy , YEW, Elijah
发明人： RAGAN, Timothy , YEW, Elijah
IPC分类号： G02B21/00 , G01N21/64
CPC分类号： G01N21/6458 , G01J1/44 , G01J2001/442 , G01J2001/4453 , G01N1/06 , G01N21/6486 , G02B21/0032 , G02B21/004 , G02B21/0048 , G02B21/006 , G02B21/0076 , G02B21/0096 , G02B21/361 , G02B2207/114
摘要： Multi-foci multiphoton imaging systems and methods are provided herein which advantageously implement an excitation system that avoids aberrations and a restricted field of view while utilizing a non-descanned detection system with interlaced scanning that reduces crosstalk and provides for improved imaging of tissue. The non-descanned detection system can employ a high-efficiency fiber coupled detection.
摘要翻译：本文提供了多焦点多光子成像系统和方法，其有利地实现了避免像差和受限视场的激励系统，同时利用具有减少串扰并提供组织改进成像的具有隔行扫描的非下行检测系统。非下行检测系统可以采用高效光纤耦合检测。

4. 发明申请

WO2012146398A1 TRAGBARES OPTISCHES ANALYSEGERÄT 审中-公开
标题翻译：便携式光学分析仪
公开(公告)号：WO2012146398A1
公开(公告)日：2012-11-01
申请号：PCT/EP2012/001887
申请日：2012-04-27
申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. , GROSSER, Volker , GERRITZEN, Andreas , JUNG, Erik
发明人： GROSSER, Volker , GERRITZEN, Andreas , JUNG, Erik
IPC分类号： G01N21/64 , A61B1/04 , A61B1/06 , A61B5/00
CPC分类号： G01N21/6456 , A61B5/0062 , A61B5/0071 , A61B5/0075 , A61B5/0084 , G01N21/31 , G01N21/6408 , G01N21/6445 , G01N21/6486 , G01N21/65 , G01N21/94 , G01N2021/6484 , G02B21/0096
摘要： Beschrieben wird ein mobiles optisches Analysegerät (1), umfassend eine erste Lichtquelle (2) zum Beleuchten eines ersten Bereiches (3) mit erstem Beleuchtungslicht, eine zweite Lichtquelle (4) zum Beleuchten eines zweiten Bereiches (5) mit zweitem Beleuchtungslicht, wobei der zweite Bereich (5) ein Teilbereich des ersten Bereiches (3) ist, eine Vorrichtung zur Aufnahme eines Bildes des ersten Bereiches, einen Analysedetektor (8) zum Analysieren von aus dem zweiten Bereich (5) gestreutem und/oder reflektierten und/oder emittiertem Analyselicht, mindestens eine zwischen dem zweiten Bereich (5) und dem Analysedetektor (8) angeordnetes erstes lichtleitendes Element, das eingerichtet ist, das Analyselicht auf einem Weg von dem zweiten Bereich (5) zum Analysedetektor (8) wenigstens teilweise zu führen, eine Datenverarbeitungseinheit (10), die eingerichtet ist, mit dem Bilddetektor (7) und/oder mit dem Analysedetektor (8) aufgenommene Daten wenigstens zeitweise zu speichern und/oder weiterzuleiten und/oder auszuwerten, sowie ein Gehäuse (11), innerhalb dessen oder an dem die erste Lichtquelle (2), die zweite Lichtquelle (4), die Vorrichtung zur Aufnahme des Bildes des ersten Bereiches, das erste lichtleitende Element und die Datenverarbeitungseinheit (10) jeweils angeordnet sind.
摘要翻译：公开了一种用于用于照明第二区域（5）与第二照明光照射的第一区域（3）与第一照明光，一个第二光源（4）的移动的光分析装置（1），包括第一光源（2），其中，所述第二区域（5）是（3），用于取所述第一区域的图像的装置，分析检测器（8），用于从所述第二区域（5）散射和/或反射和/或发射的分析光分析所述第一区域的一部分，执行第二区域（5）和（8）布置，其被布置在第一导光元件，沿从所述第二区域（5），用于分析检测器（8）至少部分地，数据处理单元的路径分析光的分析检测器之间的至少一个（10 ），其被设置（与图像检测器7）和/或（与分析检测器8）的记录的数据至少临时存储和/或进一步发送和/或评估，并且在其内或在其上的壳体（11）的第一光源（2），第二光源（4），该装置用于捕获所述第一区域，所述第一导光元件和所述数据处理单元的图像（ 10）被布置在每一种情况下。

5. 发明申请

WO1990007723A1 SPECTROMICROSCOPE WITH PHOTOMETER 审中-公开
标题翻译：光谱仪的光谱仪
公开(公告)号：WO1990007723A1
公开(公告)日：1990-07-12
申请号：PCT/DE1989000772
申请日：1989-12-14
申请人： WILD LEITZ GMBH , NEUMANN, Burkhard
发明人： WILD LEITZ GMBH
IPC分类号： G02B21/00
CPC分类号： G02B21/0096
摘要： The beam path (17) in a microscope with a Köhler-type illuminating device is at least approximately infinite. An optical transmission grid (12) is arranged in the infinite beam path (17) downstream of an optical slit (6) located in the plane (LF) of the condenser diaphragm. The zero- or first-order diffracted images formed are reproduced simultaneously or consecutively as desired on a sensor (13). Evaluation devices connected to the sensor (13) determine the spectral and densitometric distribution of a preselected object (10a). It is therefore possible to determine, for example, the width and height of an object simultaneously, from its densitometric and spectral distributions, respectively.
摘要翻译：具有Köhler型照明装置的显微镜中的光束路径（17）至少近乎无限大。在位于聚光镜的平面（LF）中的光学狭缝（6）的下游的无限光束路径（17）中布置有光传输网格（12）。形成的零级或一级衍射图像在传感器（13）上根据需要同时或连续再现。连接到传感器（13）的评估装置确定预选物体（10a）的光谱和光密度分布。因此，可以分别从其光密度和光谱分布确定对象的宽度和高度。

6. 发明申请

WO2017039620A1 SPECTRAL MICROSCOPE 审中-公开
标题翻译：光谱显微镜
公开(公告)号：WO2017039620A1
公开(公告)日：2017-03-09
申请号：PCT/US2015/047774
申请日：2015-08-31
申请人： HEWLETT-PACKARD DEVELOPMENT COMPANY, L.P.
发明人： AIETA, Francesco , SANTORI, Charles M. , ROGACS, Anita
IPC分类号： G01N21/64 , G01J3/30
CPC分类号： G01J3/30 , G01J3/0208 , G01J3/0248 , G01J3/0256 , G01J3/2803 , G01J3/4406 , G01N15/1434 , G01N15/147 , G01N21/6458 , G01N21/658 , G01N2015/0053 , G01N2015/1006 , G01N2015/149 , G01N2021/6421 , G02B21/0008 , G02B21/0096 , G02B21/16
摘要： In one implementation, a spectral microscope may comprise a substrate with a planar lens, the planar lens including a phase profile including an axial focus and an oblique focus, a light source to excite a signal of a particle among a plurality of particles, and a detector to receive light generated from the light source from the axial focus of the planar lens and a spectral color component of the excited signal of the particle from the oblique focus of the planar lens.
摘要翻译：在一个实施方式中，光谱显微镜可以包括具有平面透镜的基板，所述平面透镜包括包括轴向焦点和倾斜焦点的相位轮廓，激发多个粒子之间的粒子的信号的光源，以及检测器，从平面透镜的轴向焦点接收从光源产生的光，并从平面透镜的倾斜焦点接收粒子的激发信号的光谱颜色分量。

7. 发明申请

WO2013132734A1 観測装置、観測プログラム及び観測方法审中-公开
标题翻译：观察装置，观察方案和观察方法
公开(公告)号：WO2013132734A1
公开(公告)日：2013-09-12
申请号：PCT/JP2013/000253
申请日：2013-01-21
申请人：ソニー株式会社
发明人：堂脇　優 , 松居　恵理子 , 辰田　寛和 , 玉井　正信 , 中川　和博
IPC分类号： G01N21/27 , G01J3/44 , G01N21/65
CPC分类号： G02B21/365 , G01J3/44 , G01N21/31 , G01N21/6458 , G01N21/65 , G02B21/0092 , G02B21/0096 , G02B21/16
摘要：【課題】観測対象物の検出及びその観測に適した観測装置、観測プログラム及び観測方法を提供すること【解決手段】本技術に係る観測装置は、顕微鏡光学系と、撮像部と、分光部と、検出部とを具備する。撮像部は、顕微鏡光学系を介して画像を撮像する。分光部は、顕微鏡光学系を介して紫外、可視または赤外領域における吸収スペクトル又はラマンスペクトルを取得する。検出部は、吸収スペクトル又はラマンスペクトルを用いて観測試料における観測対象物を検出する。
摘要翻译： [问题]提供一种适用于检测观察对象的观察装置，观察程序和观察方法。 [解决方案]观察装置包括显微镜光学系统，图像拾取单元，分光单元和检测单元。摄像单元使用显微镜光学系统拍摄图像。分光单元使用显微镜光学系统获得紫外线，可见光或红外区域的吸收光谱或拉曼光谱。检测单元通过使用吸收光谱或拉曼光谱来检测观察样本中的观察对象。

8. 发明申请

WO2012176235A1 画像表示装置审中-公开
标题翻译：图像显示设备
公开(公告)号：WO2012176235A1
公开(公告)日：2012-12-27
申请号：PCT/JP2011/003557
申请日：2011-06-22
申请人：日立コンシューマエレクトロニクス株式会社 , 平田浩二 , 谷津雅彦
发明人：平田　浩二 , 谷津　雅彦
IPC分类号： G02B26/10
CPC分类号： G02B26/101 , G02B17/08 , G02B17/0852 , G02B21/0096 , G02B26/0833
摘要：装置を大型化することなく、線形性に優れた走査特性を有する画像表示装置を提供する。当該画像表示装置は、光源から出射した光を、当該光の反射面の往復の回転運動により、像面の第１の方向及び第２の方向に走査する光走査部と、走査された光の走査角度を拡大する光学系を備え、当該光学系は、光走査部側に自由曲面レンズを有し、像面側に自由曲面ミラーを有する。第１の方向の長さは、第２の方向の長さよりも長く、光走査部が走査範囲の中央で静止している場合の自由曲面ミラーにおける入射光線と反射光線で定義される第１の平面に対して、第１の方向が略平行となるように自由曲面ミラーが配置されるようにしてもよい。
摘要翻译：提供一种图像显示装置，其具有良好的线性度的扫描特性，而不会增大装置的尺寸。该图像显示装置设置有光扫描单元，其通过光的反射面的往复旋转运动而从光源发射的光在第一方向和第二方向上进行扫描，并且光学系统这扩大了进行扫描的光的扫描角度，光学系统包括在光扫描单元侧的自由形式的表面透镜，并且在像面侧包括自由曲面反射镜。第一方向上的长度可以比第二方向上的长度长，并且自由曲面反射镜可以被布置成使得第一方向变得大致平行于由入射光线和反射光线限定的第一平面当光扫描单元静止在扫描范围的中间时，在自由曲面镜中。

9. 发明申请

WO2008141919A2 VORRICHTUNG ZUR LICHTDETEKTION IN EINEM SCANMIKROSKOP 审中-公开
标题翻译： DEVICE FOR光探测在扫描显微镜
公开(公告)号：WO2008141919A2
公开(公告)日：2008-11-27
申请号：PCT/EP2008/055537
申请日：2008-05-06
申请人： Leica Microsystems CMS GmbH , BIRK, Holger , SEYFRIED, Volker
发明人： BIRK, Holger , SEYFRIED, Volker
IPC分类号： G01J1/44 , G01J1/46 , G01J3/28
CPC分类号： G01J1/44 , G01J1/46 , G01J3/2803 , G02B21/0032 , G02B21/0096 , H01L31/107
摘要： Es wird ein Lichtdetektor (110) für den Einsatz in einem Scanmikroskop (142) vorgeschlagen, welcher insbesondere in einem Zeilenscanmikroskop eingesetzt werden kann. Der Lichtdetektor (110) umfasst ein Zeilenarray (112) von Avalanche-Halbleiterdetektoren (114) und eine elektronische Ansteuerschaltung (116), welche ausgestaltet ist, um die Avalanche- Halbleiterdetektoren (114) in einem Geiger-Modus mit interner Ladungsverstärkung und/oder in einem linearen Modus zu betreiben. Die Ansteuerschaltung (116) weist weiterhin einen Parallelzähler (118) auf, wobei der Parallelzähler (118) ausgestaltet ist, um durch die Avalanche- Halbleiterdetektoren (114) detektierte Lichtpulse parallel auszulesen. Weiterhin ist der Parallelzähler (118) eingerichtet, um während einer vorgegebenen Zählzeit die von den Avalanche-Halbleiterdetektoren (114) detektierten Lichtpulse zu summieren.
摘要翻译：提出了一种用于在一个扫描显微镜（142），其可以特别地在线路扫描显微镜被用于使用光检测器（110）。所述光检测器（110）包括雪崩半导体检测器的线性阵列（112）（114）以及设置在盖革模式下内部电荷的增益和/或适应于雪崩半导体检测器（114）的电子驱动电路（116）进行操作的线性模式。所述驱动电路（116）还包括一个并行计数器（118），所述平行计数器（118）被配置为通过（114）检测到的在平行光脉冲雪崩半导体探测器读出。此外，并行计数器（118）适于在所述雪崩半导体检测器（114）的光脉冲的预定计数时间总结所检测到的。

10. 发明申请

WO2008055656A1 METHOD AND APPARATUS FOR MEASURING OPTICAL POWER OF A LIGHT BEAM PRODUCED IN A MICROSCOPE 审中-公开
标题翻译：用于测量微波产生的光束的光功率的方法和装置
公开(公告)号：WO2008055656A1
公开(公告)日：2008-05-15
申请号：PCT/EP2007/009612
申请日：2007-11-06
申请人： INSTITUT CURIE , CENTRE NATIONAl DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE , AMBLARD, François
发明人： AMBLARD, François
IPC分类号： G02B21/00 , G01J1/42
CPC分类号： G02B21/0096 , G01J1/30 , G01J1/4257
摘要： The invention relates to a method for measuring optical power of a light beam produced in a microscope, said microscope being equipped in standard with a slot intended to receive interposition slides; the method comprising the step of measuring the optical power by inserting a removable measuring probe in said slot, near the back pupil of the microscope objective. Moreover, the power available on a sample reached by the light beam is determined as a function of the optical power detected by said measuring probe together with the pupil diameter and the transmission coefficient of the objective.
摘要翻译：本发明涉及一种用于测量在显微镜中产生的光束的光功率的方法，所述显微镜标配有用于接收插入片的狭槽; 该方法包括通过在显微镜物镜的后瞳孔附近在所述槽中插入可拆卸的测量探针来测量光焦度的步骤。此外，由光束达到的样品上可用的功率被确定为由所述测量探测器检测的光功率以及物镜的光瞳直径和透射系数的函数。

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