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    • 5. 发明申请
    • 顕微ラマン分光装置
    • WO2023013325A1
    • 2023-02-09
    • PCT/JP2022/026204
    • 2022-06-30
    • 株式会社島津製作所
    • 篠山 智生
    • G01N21/65G01J3/06G01J3/44G02B21/00
    • 分光器の構造単純化によって小型化と低コスト化を実現することができるとともに、試料を常に高精度で分析することができる顕微ラマン分光装置を提供すること。 【課題】顕微ラマン分光装置1は、波長の異なる励起レーザ光(励起光)L1,L2を出射するレーザ発振器(励起用光源)2,3と、レーザ発振器2又は3からの励起レーザ光L1又はL2の照射によって試料Sから放射されるラマン散乱光R1又はR2を回折格子12又は13によって分光する分光器10と、該分光器10によって分光されたラマン散乱光R1又はR2を検出して光電変換するCCD検出器20を備え、分光器10は、入射開口11a,11bと、入射開口11a,11bから入射するラマン光R1又はR2を回折格子12又は13へと導く複数(2つ)の光学系I,IIを備え、回折格子12または13によって分光された複数の光束を1つの結像レンズ14にタンデムに入射させる。