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1. 发明申请

WO2009106122A1 PROJEKTOR ZUM PROJIZIEREN EINES BILDES UND ENTSPRECHENDES VERFAHREN 审中-公开
标题翻译：投影机投的图像及相应方法
公开(公告)号：WO2009106122A1
公开(公告)日：2009-09-03
申请号：PCT/EP2008/052253
申请日：2008-02-25
申请人： OSRAM GESELLSCHAFT MIT BESCHRÄNKTER HAFTUNG , REHN, Henning
发明人： REHN, Henning
IPC分类号： G02B17/06 , G03B21/28 , H04N9/31 , G02B26/10
CPC分类号： G03B21/28 , G02B17/0615
摘要： Die Erfindung betrifft einen Projektor (1) zum Projizieren eines Bilds (6), mit: einer Lichtquelle (2) zum Erzeugen eines Lichtbündels (12); einer schwenkbaren Ablenkeinheit (3), welche zum Ablenken des von der Lichtquelle (2) erzeugten Lichtbündels (12) hin auf eine Projektionsfläche (5) ausgebildet ist; und einer Abbildungseinrichtung (7, 8, 9) zum Abbilden einer Apertur der Ablenkeinheit (3) auf die Projektionsfläche (5); wobei die Abbildungseinrichtung (7, 8, 9) ein Spiegelobjektiv (7) mit mindestens zwei Spiegelelementen (8, 9) umfasst. Die Erfindung betrifft überdies ein entsprechendes Verfahren.
摘要翻译：本发明涉及的投影仪（1）用于投影图像（6），包括：光源（2），用于产生光束（12）; 被可枢转的偏转单元（3），其产生的光束从光源（2）（12）投影到投影表面（5）偏转的光的形成; 和成像装置（7,8，9），用于在投影（5）对所述偏转单元（3）的开口; 其中，所述成像装置（7，8，9），反射镜物镜（7）具有至少两个反射镜元件（8,9）。本发明还涉及一种相应的方法。

2. 发明申请

WO2008097302A1 COMMON-APERTURE OPTICAL SYSTEM INCORPORATING A LIGHT SENSOR AND A LIGHT SOURCE 审中-公开
标题翻译：共同光源系统，并入光传感器和光源
公开(公告)号：WO2008097302A1
公开(公告)日：2008-08-14
申请号：PCT/US2007/024935
申请日：2007-12-05
申请人： RAYTHEON COMPANY
发明人： CHEN, Chungte W. , ANDERSON, John S.
IPC分类号： G02B17/06 , G02B23/10 , F41G1/35
CPC分类号： G02B23/105 , F41G1/38 , F41G3/065 , F41G3/326 , G01S7/4812 , G02B17/0615
摘要： A common-aperture optical system (20) includes a reflective telescope (22) having a common boresight (24), an entrance pupil (26), an exit pupil (28), and a beam path (30) extending from the entrance pupil (26) to and beyond the exit pupil (28). A beam splitter (32) intersects the beam path (30) so that the beam path (30) is incident upon the beam splitter (32). A light sensor (34) is positioned to receive an input light beam (36) traveling along the beam path (30) after the beam path (30) intersects the beam splitter (32) and passes the exit pupil (28) of the reflective telescope (22). A light source (38) produces an output light beam (40) incident upon the beam splitter (32) and positioned to inject the output light beam (40) into an inverse of the beam path (30) and toward the entrance pupil (26) of the reflective telescope (22). A diverger (42) corrects at least one of the input light beam (36) and the output light beam (40).
摘要翻译：公共孔径光学系统（20）包括具有公共视轴（24）的反射望远镜（22），入射光瞳（26），出射光瞳（28）和从入射光瞳延伸的光束路径（30）（26）到出射光瞳（28）之外。分束器（32）与光束路径（30）相交，使得光束路径（30）入射到分束器（32）上。光传感器（34）被定位成在光束路径（30）与分束器（32）相交并通过反射器（32）的出射光瞳（28）之后，接收沿着光束路径（30）行进的输入光束（36）望远镜（22）。光源（38）产生入射在分束器（32）上的输出光束（40），并定位成将输出光束（40）注入到光束路径（30）的反向并朝向入射光瞳（26））的反射望远镜（22）。分路器（42）校正输入光束（36）和输出光束（40）中的至少一个。

3. 发明申请

WO2005114551A3 IMAGE LOCKING SYSTEM FOR DNA MICRO-ARRAY SYNTHESIS 审中-公开
标题翻译：用于DNA微阵列合成的图像锁定系统
公开(公告)号：WO2005114551A3
公开(公告)日：2006-07-27
申请号：PCT/US2005010116
申请日：2005-03-25
申请人： WISCONSIN ALUMNI RES FOUND , CERRINA FRANCESCO , LI MO-HUANG , KIM CHANG-HAN
发明人： CERRINA FRANCESCO , LI MO-HUANG , KIM CHANG-HAN
IPC分类号： G06K9/00 , B01J19/00 , G02B7/182 , G02B17/00 , G02B26/08 , G02F1/33 , G06K9/68
CPC分类号： G02B26/0833 , B01J19/0046 , B01J2219/00439 , B01J2219/0054 , B01J2219/00608 , B01J2219/00612 , B01J2219/00626 , B01J2219/00693 , B01J2219/00722 , G02B7/1827 , G02B17/008 , G02B17/0615 , G02B19/0023 , G02B19/0047 , G02B19/0095
摘要： An image locking system for DNA micro-array synthesis provides a feedback system to stabilize or lock the image with respect to an image capture device, such as a camera and/or microscope. The image locking system includes the use of detection or reference marks. When a shift in image position is detected, a correction signal is sent to one of two mirrors, moving the image to correct for the shift in image position. The system comprises a first light beam directed towards a micromirror device that forms an alignment pattern on a reaction cell and a second light beam directed towards the micromirror device that forms a micro-array image on an active surface of the reaction cell. A camera captures the alignment pattern and an alignment mark. A computer calculates a correction signal to realign the alignment pattern with the alignment mark when movement is detected.
摘要翻译：用于DNA微阵列合成的图像锁定系统提供反馈系统以相对于诸如相机和/或显微镜的图像捕获装置来稳定或锁定图像。图像锁定系统包括使用检测或参考标记。当检测到图像位置偏移时，将校正信号发送到两个反射镜中的一个，移动图像以校正图像位置的偏移。该系统包括朝向微反射镜装置的第一光束，该微镜装置在反应单元上形成对准图案，以及朝向微反射镜装置的第二光束，其在反应池的活性表面上形成微阵列图像。相机捕获对准图案和对准标记。当检测到移动时，计算机计算校正信号以使对准图案与对准标记重新对准。

4. 发明申请

WO2016088314A1 PROJECTION OPTICAL SYSTEM, EXPOSURE APPARATUS, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD 审中-公开
标题翻译：投影光学系统，曝光装置和装置制造方法
公开(公告)号：WO2016088314A1
公开(公告)日：2016-06-09
申请号：PCT/JP2015/005744
申请日：2015-11-17
申请人： CANON KABUSHIKI KAISHA
发明人： SASAKI, Yasuhito , SEKI, Mitsuru , NAKAJIMA, Takeshi
IPC分类号： G03F7/20 , G02B5/08 , G02B17/00 , H01L21/027
CPC分类号： G03F7/702 , G02B17/0605 , G02B17/0615 , G03B21/28 , G03F7/70233 , G03F7/709
摘要： There is provided a projection optical system that projects an image of an object onto an image plane. The projection optical system includes an imaging optical system including a first concave mirror, a convex mirror, and a second concave mirror; an optical member having a first reflecting surface and a second reflecting surface each redirecting an optical path; and a supporting member that supports the convex mirror. The first reflecting surface, the first concave mirror, the convex mirror, the second concave mirror, and the second reflecting surface are provided in that order in a direction of travel of light from an object plane. The optical member has a through hole having an opening on a side facing the convex mirror. The supporting member extends through the through hole and from the opening to the convex mirror.
摘要翻译：提供了将物体的图像投影到图像平面上的投影光学系统。投影光学系统包括：成像光学系统，包括第一凹面镜，凸面镜和第二凹面镜; 光学构件，其具有第一反射面和第二反射面，每个重新定向光路; 以及支撑凸面镜的支撑构件。第一反射面，第一凹面镜，凸面镜，第二凹面镜，以及第二反射面按照从物体的光的行进方向依次设置。光学构件具有在面向凸面镜的一侧具有开口的通孔。支撑构件延伸穿过通孔并且从开口延伸到凸面镜。

5. 发明申请

WO2005116773A1 OPTIKMODUL FÜR EIN OBJEKTIV 审中-公开
标题翻译：光学模块的透镜
公开(公告)号：WO2005116773A1
公开(公告)日：2005-12-08
申请号：PCT/EP2005/005600
申请日：2005-05-24
申请人： CARL ZEISS SMT AG , KUGLER, Jens , SORG, Franz
发明人： KUGLER, Jens , SORG, Franz
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G02B19/0023 , G02B7/00 , G02B7/021 , G02B7/023 , G02B7/026 , G02B7/182 , G02B17/0605 , G02B17/0615 , G03F7/70825
摘要： Optikmodul für ein Objektiv, insbesondere für eine Mikrolithographieeinrichtung, umfassend eine erste Halteeinrichtung (2) mit einem inneren Umfang (2.1), der sich in einer ersten Umfangsrichtung (2.2) erstreckt, und wenigstens eine an dem inneren Umfang (2.1) der ersten Halteeinrichtung (2) befestigte erste Stützeinrichtung (3.1) zum Stützen eines ersten optischen Elements (5.1), wobei durch einmalig umlaufende Verschiebung der ersten Stützeinrichtung (3.1) entlang der ersten Umfangsrichtung (2.2) ein ringartig umlaufender erster Bauraum (3.18) definiert ist, und wobei wenigstens eine an dem inneren Umfang (2.1) der ersten Halteeinrichtung (2) befestigte zweite Stützeinrichtung (3.2) zum Stützen eines zwei ten optischen Elements (5.2) vorgesehen ist, durch einmalig umlaufende Verschiebung der zweiten Stützeinrichtung (3.2) entlang der ersten Umfangsrichtung (2.2) ein ringartig umlaufender zweiter Bauraum (3.28) definiert ist, und der erste Bauraum (3.18) den zweiten Bauraum (3.28) schneidet.
摘要翻译：用于透镜的光学模块，特别是用于微光刻设备包括具有内周（2.1），其延伸在第一周向（2.2）的第一保持装置（2），和至少一个在所述第一保持装置的内周面（2.1）（ 2）安装于用于支承第一光学元件（5.1），其中，通过沿所述第一周向的第一支撑装置（3.1）的独特周向位移（2.2）的环形周向第一空间（3.18）第一支承装置（3.1）的定义，并且其中至少固定有（2）上的第二支撑装置（3.2）设有用于支撑两个光学元件（5.2），通过沿着第一圆周方向上的第二支撑装置（3.2）的独特周向位移的第一保持装置的内周（2.1）（2.2）的环形圆周的第二空间（28.3）被定义，并且第一空间（3.18）第二巴 uraum（3.28），相交。

6. 发明申请

WO2002100113A2 ANORDNUNG ZUM PROJIZIEREN EINES BILDES AUF EINE PROJEKTIONSFLÄCHE 审中-公开
标题翻译：安排将图像投影到的投影
公开(公告)号：WO2002100113A2
公开(公告)日：2002-12-12
申请号：PCT/EP2002/006124
申请日：2002-06-04
申请人： CARL ZEISS JENA GMBH , MÜHLHOFF, Dirk , RUDOLPH, Günter , PIEHLER, Eberhard
发明人： MÜHLHOFF, Dirk , RUDOLPH, Günter , PIEHLER, Eberhard
IPC分类号： H04N9/31
CPC分类号： G02B17/008 , G02B13/16 , G02B17/0615 , G02B17/0812 , G02B17/0856 , G02B17/086 , G02B27/1026 , G02B27/149 , H04N5/7416 , H04N9/3105
摘要： Bei einer Anordnung zum Projizieren eines Bildes auf eine Projektionsfläche, mit einer Lichtquelle (1), die Licht abgibt, mit dem ein leuchtendes Feld (3) erzeugbar ist, einem reflektiven Lichtmodulator (12; 13; 14), der mit vom leuchtenden Feld (3) ausgehenden Licht beaufschlagbar ist und dieses zum Erzeugen eines Bildes moduliert, und weiter mit einer dem Lichtmodulator (12; 13; 14) nachgeschalteten Projektionsoptik (16), die mit dem modulierten Licht beaufschlagbar ist, um das Bild auf die Projektionsfläche (17) zu projizieren, ist dem Lichtmodulator (12; 13; 14) eine Optikeinrichtung (7; 23; 31; 33; 34) vorgeschaltet, die einerseits das vom leuchtenden Feld (3) kommende Licht auf den Lichtmodulator ( 12; 13; 14) und andererseits das mittels des Lichtmodulators (12; 13; 14) modulierte Licht in eine der Projektionsoptik (16) vorgeschaltete Zwischenbildebene (ZE) abbildet, um in der Zwischenbildebene (ZE) ein Zwischenbild zu erzeugen, das von der Projektionsoptik auf die Projektionsfläche projiziert werden kann.
摘要翻译：在用于将图像投影到投影表面上，包括：光源（1），其发射与发光区域（3）可以产生光，反射光调制器（12; 13; 14）的装置（与亮场 3）的出射光可被作用，并调节这对形成的图像，并且还包括在所述光调制器（12; 13;下游14）投影光学器件（16），其经调制光作用于图象（在屏幕17上）项目，是在光调制器（12; 13; 14）的光学装置（7; 23; 31; 33; 34）的上游连接，在一方面，所述发光区域（3）来的光到光调制器（12; 13; 14）和在另一方面由光调制器的装置（12; 13; 14）调制的光的投影光学系统中的一个（16）上游的中间像平面（ZE）映射到在中间像平面（ZE），以在投影生成投影光学系统的中间图像表面可以被投影。

7. 发明申请

WO2015056628A1 光学測定装置及び光学系を備える装置审中-公开
标题翻译：光学测量设备和光学系统提供的设备
公开(公告)号：WO2015056628A1
公开(公告)日：2015-04-23
申请号：PCT/JP2014/077088
申请日：2014-10-09
申请人：独立行政法人産業技術総合研究所
发明人：川手　悦男
IPC分类号： G01N21/47 , G01N21/59
CPC分类号： G01N21/47 , G01N21/474 , G01N21/65 , G01N2021/556 , G01N2201/0637 , G01N2201/065 , G02B17/0615 , G02B17/0657 , G02B19/0085
摘要：　試料からの散乱光の光強度とその空間分布を測定可能な、感度の優れた光学測定装置や光学系を備える装置を提供する。装置において、第１の物体から放射された光が、第２の物体に達する間に、２回以上の偶数回、楕円面鏡で反射される構造とすることにより、像の歪みを抑制する。２つの楕円面鏡を、互いの１つの焦点を共通焦点として、残りの２つの焦点が前記共通焦点に対して互いに反対側で一列に並ぶ配置とし、共通焦点をブランクにして、第１の物体を一方の焦点に、第２の物体を他方の焦点に配置することにより、像の歪みを抑制する。
摘要翻译：本发明提供了一种光学测量装置和具有光学系统的装置，其具有优异的灵敏度并且可以测量来自样本的散射光的强度和空间分布。在该装置中，通过使用从第一物体发出的光在到达第二物体之前偶数次反射的次数，至少为2次的结构，使图像失真最小化。对准两个椭球镜以便共享一个焦点，其余两个焦点位于共享焦点的相对侧上，从而形成一条线。通过将共享焦点留空，将第一个对象放置在其他焦点之一，并将第二个对象放置在剩余的焦点上，图像失真最小化。

8. 发明申请

WO2009002537A1 OPTICAL ARRAY DEVICE AND METHODS OF USE THEREOF FOR SCREENING, ANALYSIS AND MANIPULATION OF PARTICLES 审中-公开
标题翻译：光学阵列设备及其使用方法用于筛选，分析和操作颗粒
公开(公告)号：WO2009002537A1
公开(公告)日：2008-12-31
申请号：PCT/US2008/007976
申请日：2008-06-25
申请人： TUFTS UNIVERSITY , WALT, David, R. , FAUSTOV, Alexei, R.
发明人： WALT, David, R. , FAUSTOV, Alexei, R.
IPC分类号： H01S1/00
CPC分类号： G21K1/006 , G02B17/0615 , G02B17/0636
摘要： Methods and devices are provided for the trapping, including optical trapping; analysis; and selective manipulation of particles on an optical array. A device parcels a light source into many points of light transmitted through a microlens optical array and an Offner relay to an objective, where particles may be trapped. Preferably the individual points of light are individually controllable through a light controlling device. Optical properties of the particles may be determined by interrogation with light focused through the optical array. The particles may be manipulated by immobilizing or releasing specific particles, separating types of particles, etc .
摘要翻译：提供了捕获的方法和装置，包括光学捕获; 分析; 以及选择性地操纵光学阵列上的颗粒。器件将光源包裹到通过微透镜光学阵列传输的许多光点中，并将光源继电器包裹到物镜，其中可能会捕获颗粒。优选地，各个光点可以通过光控制装置单独控制。颗粒的光学性质可以通过光聚焦的光学阵列询问来确定。可以通过固定或释放特定颗粒，分离颗粒等来操纵颗粒。

9. 发明申请

WO2007005624A2 DUAL PARABOLOID REFLECTOR AND DUAL ELLIPSOID REFLECTOR SYSTEMS WITH OPTIMIZED MAGNIFICATION 审中-公开
标题翻译：双抛物面反射镜和双椭圆反射镜系统的优化放大
公开(公告)号：WO2007005624A2
公开(公告)日：2007-01-11
申请号：PCT/US2006/025608
申请日：2006-06-29
申请人： WAVIEN, INC. , LI, Kenneth, K.
发明人： LI, Kenneth, K.
IPC分类号： G02B5/10
CPC分类号： G02B17/0615 , G02B19/0023 , G02B19/0047
摘要： A condensing and collecting optical system comprises two asymmetric reflectors. The first and second reflectors comprise a portion of an ellipsoid or paraboloid of revolution having parallel optical axis. A source of electromagnetic radiation is placed at one of the focal points of the first reflector to produce radiation that is received by the second reflector, which focuses the radiation toward a target. To achieve maximum output coupling efficiency, the second reflector has a different focal length than the first reflector such that the radiation inputted to the target has lower angle of incidence.
摘要翻译：聚光和聚光光学系统包括两个不对称反射器。第一和第二反射器包括具有平行光轴的一部分椭球或回转抛物面。电磁辐射源被放置在第一反射器的焦点之一处，以产生由第二反射器接收的辐射，该辐射将辐射聚焦到目标。为了实现最大输出耦合效率，第二反射器具有与第一反射器不同的焦距，使得输入到目标的辐射具有较低的入射角。

10. 发明申请

WO02100113A3 ASSEMBLY FOR PROJECTING AN IMAGE ONTO A PROJECTION SURFACE 审中-公开
标题翻译：安排将图像投影到的投影
公开(公告)号：WO02100113A3
公开(公告)日：2003-05-01
申请号：PCT/EP0206124
申请日：2002-06-04
申请人： ZEISS CARL JENA GMBH , MUEHLHOFF DIRK , RUDOLPH GUENTER , PIEHLER EBERHARD
发明人： MUEHLHOFF DIRK , RUDOLPH GUENTER , PIEHLER EBERHARD
IPC分类号： G02B27/28 , G03B21/00 , H04N5/74 , H04N9/31
CPC分类号： G02B17/008 , G02B13/16 , G02B17/0615 , G02B17/0812 , G02B17/0856 , G02B17/086 , G02B27/1026 , G02B27/149 , H04N5/7416 , H04N9/3105
摘要： The invention relates to an assembly for projecting an image onto a projection surface. Said assembly comprises a light source (1), which emits light and can be used to create a luminous field (3), a reflective light modulator (12; 13; 14), which can be exposed to light that exits the luminous field (3) and which modulates said light to create an image and a projection optical system (16) connected downstream of the light modulator (12; 13; 14), which can be impinged by the modulated light, to project the image onto the projection surface (17). The invention is characterised in that an optical device (7; 23; 31; 33; 34) is connected upstream of the light modulator (12; 13; 14), said device both focussing the light emanating from the luminous field (3) onto the light modulator ( 12; 13; 14) and also focussing the light modulated by the light modulator (12; 13; 14) onto an intermediate plane (ZE) located upstream of the projection optical system (16), in order to create on said plane (ZE) an intermediate image that can be projected by the projection optical system onto the projection surface.
摘要翻译：在用于将图像投影到投影表面上，包括：光源（1），其发射与发光区域（3）可以产生光，反射光调制器（12; 13; 14）的装置（与亮场 3）的出射光可被作用，并调节这对形成的图像，并且还包括在所述光调制器（12; 13;下游14）投影光学器件（16），其经调制光作用于图象（在屏幕17上）项目，是在光调制器（12; 13; 14）的光学装置（7; 23; 31; 33; 34）的上游连接，在一方面，所述发光区域（3）来的光到光调制器（12; 13; 14）和在另一方面由光调制器的装置（12; 13; 14）调制的光的投影光学系统中的一个（16）上游的中间像平面（ZE）映射到在中间像平面（ZE），以在投影生成投影光学系统的中间图像表面可以被投影。

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